Стандарт загрязнения калибровочных пластин Cal-Dep TSI MSP 2200-01-5067

MSP наносит стандарты размера частиц на непрозрачные кремниевые пластины размером 200 и 300 мм с низкой матовостью с точным контролем размера и количества частиц для получения стандартов загрязнения калибровочных пластин Cal-Dep ™. Эти сертифицированные стандарты для инструментов контроля пластин представляют собой высокоточные стандарты с конкурентоспособной ценой, основанные на четко определенных, принятых в отрасли рецептах. Они гарантируют, что ваша система контроля пластин работает в соответствии с вашими требованиями, что помогает вам максимизировать выход продукции.

Модальные диаметры стандартов размера PSL и SiO которые соответствуют точкам калибровки OEM обычных устаревших систем контроля / метрологии пластин, контролируются с помощью системы прослеживаемости SI с использованием технологии дифференциального анализатора подвижности (DMA) MSP, подразделения TSI. MSP наносит собственную серию сфер SiO (стандарты размера MSP NanoSilica) с номинальным размером до 200 нм. Стандарты размеров SiO более 200 нм и все стандарты размеров PSL получены от других поставщиков. Большинство стандартов размеров имеют сертифицированные средние или модальные диаметры, измеренные с возможностью прослеживания SI. Когда используются частицы без прослеживаемости, применение калибровок прямого доступа к памяти с отслеживанием SI и надлежащий контроль прямого доступа к памяти обеспечивают желаемую прослеживаемость SI.

MSP проверяет все кремниевые пластины без покрытия диаметром 200 и 300 мм до и после осаждения частиц с помощью системы сканирования поверхности (SSIS) с чувствительностью ~ 35 нм (KLA Surfscan SP2). Результаты проверки представлены в сводке по осаждению, прилагаемой к стандарту загрязнения пластины, включая сканированное изображение с информацией о размере частиц и приблизительным подсчетом для каждого отложения.

Преимущества

• Прослеживаемая калибровка инструмента для контроля пластин
• Прослеживаемая калибровка инструмента для проверки сетки
• Соответствие производительности инструмента для осмотра
• Входящая проверка пластины