Стандарт загрязнения калибровочных пластин Cal-Dep TSI MSP 2200-01-5067
Код товара 661770Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
MSP наносит стандарты размера частиц на непрозрачные кремниевые пластины размером 200 и 300 мм с низкой матовостью с точным контролем размера и количества частиц для получения стандартов загрязнения калибровочных пластин Cal-Dep ™. Эти сертифицированные стандарты для инструментов контроля пластин представляют собой высокоточные стандарты с конкурентоспособной ценой, основанные на четко определенных, принятых в отрасли рецептах. Они гарантируют, что ваша система контроля пластин работает в соответствии с вашими требованиями, что помогает вам максимизировать выход продукции.
Модальные диаметры стандартов размера PSL и SiO которые соответствуют точкам калибровки OEM обычных устаревших систем контроля / метрологии пластин, контролируются с помощью системы прослеживаемости SI с использованием технологии дифференциального анализатора подвижности (DMA) MSP, подразделения TSI. MSP наносит собственную серию сфер SiO (стандарты размера MSP NanoSilica) с номинальным размером до 200 нм. Стандарты размеров SiO более 200 нм и все стандарты размеров PSL получены от других поставщиков. Большинство стандартов размеров имеют сертифицированные средние или модальные диаметры, измеренные с возможностью прослеживания SI. Когда используются частицы без прослеживаемости, применение калибровок прямого доступа к памяти с отслеживанием SI и надлежащий контроль прямого доступа к памяти обеспечивают желаемую прослеживаемость SI.
MSP проверяет все кремниевые пластины без покрытия диаметром 200 и 300 мм до и после осаждения частиц с помощью системы сканирования поверхности (SSIS) с чувствительностью ~ 35 нм (KLA Surfscan SP2). Результаты проверки представлены в сводке по осаждению, прилагаемой к стандарту загрязнения пластины, включая сканированное изображение с информацией о размере частиц и приблизительным подсчетом для каждого отложения.
Преимущества
- Прослеживаемая калибровка инструмента для контроля пластин
- Прослеживаемая калибровка инструмента для проверки сетки
- Соответствие производительности инструмента для осмотра
- Входящая проверка пластины
Характеристики

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
DELTA OHM
STCAL 4 Стандарт калибровочный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CONTROLS
26-WF0321/9 Диск калибровочный
-
-
-
-
-
RemelR20415
THERMOFISHER SCIENTIFICRemel R20415 Стандарт мутности 5,0
-
-
ValidCheckCopper
-
-
ValidCheckNitrite 0.4мг/л
-
-
ValidCheckPhosphate 1мг/л
-
-
T-CAL <0,1+ 20 NTU2x1000 мл
-
-
T-CAL <0,1NTU 125 мл
-
-
T-CAL0.02/10/1000NTU TB250
-
-
T-CAL 1NTU 1000мл
-
-
T-CAL 10NTU 125 мл
-
-
T-CAL10/20/100/800NTU 500 мл