Стандарт загрязнения калибровочных пластин Cal-Dep TSI MSP 2200-01-5065
Код товара 661768Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
MSP наносит стандарты размера частиц на непрозрачные кремниевые пластины размером 200 и 300 мм с низкой матовостью с точным контролем размера и количества частиц для получения стандартов загрязнения калибровочных пластин Cal-Dep ™. Эти сертифицированные стандарты для инструментов контроля пластин представляют собой высокоточные стандарты с конкурентоспособной ценой, основанные на четко определенных, принятых в отрасли рецептах. Они гарантируют, что ваша система контроля пластин работает в соответствии с вашими требованиями, что помогает вам максимизировать выход продукции.
Модальные диаметры стандартов размера PSL и SiO которые соответствуют точкам калибровки OEM обычных устаревших систем контроля / метрологии пластин, контролируются с помощью системы прослеживаемости SI с использованием технологии дифференциального анализатора подвижности (DMA) MSP, подразделения TSI. MSP наносит собственную серию сфер SiO (стандарты размера MSP NanoSilica) с номинальным размером до 200 нм. Стандарты размеров SiO более 200 нм и все стандарты размеров PSL получены от других поставщиков. Большинство стандартов размеров имеют сертифицированные средние или модальные диаметры, измеренные с возможностью прослеживания SI. Когда используются частицы без прослеживаемости, применение калибровок прямого доступа к памяти с отслеживанием SI и надлежащий контроль прямого доступа к памяти обеспечивают желаемую прослеживаемость SI.
MSP проверяет все кремниевые пластины без покрытия диаметром 200 и 300 мм до и после осаждения частиц с помощью системы сканирования поверхности (SSIS) с чувствительностью ~ 35 нм (KLA Surfscan SP2). Результаты проверки представлены в сводке по осаждению, прилагаемой к стандарту загрязнения пластины, включая сканированное изображение с информацией о размере частиц и приблизительным подсчетом для каждого отложения.
Преимущества
- Прослеживаемая калибровка инструмента для контроля пластин
- Прослеживаемая калибровка инструмента для проверки сетки
- Соответствие производительности инструмента для осмотра
- Входящая проверка пластины
Характеристики

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
CONDIX4623-C0,5-G1A-MB-00 Преобразователь проводимости цифровой
-
MARTENS ELEKTRONIK
LF2653-C0.1-G1A-00 Ячейка проводимости измерительная
-
MARTENS ELEKTRONIK
LF3623-C0.5-G1A-03 Ячейка проводимости измерительная
-
MARTENS ELEKTRONIK
LF3733-C0.4-DN25-03 Ячейка проводимости измерительная
-
MARTENS ELEKTRONIK
LF3733-C0.4-DN50-00 Ячейка проводимости измерительная
-
MARTENS ELEKTRONIK
LF4003-C0.5-2-00 Ячейка проводимости измерительная
-
MARTENS ELEKTRONIK
LF4213-C0.5-03 Ячейка проводимости измерительная
-
HACH LANGE
LZW9711.99 Стандарт проводимости 1413мкСм/см
-
-
-
-
-
HACH LANGE
210542 Раствор стандартный проводимости
-
HACH LANGE
2974449 Раствор стандартный проводимости
-
HACH LANGE
2974826 Раствор стандартный проводимости
-
HACH LANGE
C20C280 Раствор стандартный проводимости
-
HACH LANGE
LZW9721.99 Раствор стандартный проводимости
-
HACH LANGE
S51M004 Раствор стандартный проводимости
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CONTROLS
26-T0320/9 Диск калибровочный
-
CONTROLS
26-WF0321/9 Диск калибровочный
-
-
-
АЭРОМИР
581_638 Удлинитель Стандарт 50 м
-
-
-
-
-
-
-
-
QBAV100
-
-
QBIC050
-
-
GLFV012
-
-
PIPEF33160
-
-
PIPEF33280
-
-
EutechTN100CALKIT
THERMOFISHER SCIENTIFICEutech TN100CALKIT Набор калибровочных комплектов
-
-
RemelR20411
THERMOFISHER SCIENTIFICRemel R20411 Стандарт мутности 1,0
-
-
Nanosphere3040A
THERMOFISHER SCIENTIFICNanosphere 3040A Стандарт размеров наносфер 15 мл, диаметр 40 нм
-
-
Nanosphere3050A
THERMOFISHER SCIENTIFICNanosphere 3050A Стандарт размеров наносфер 15 мл, диаметр 50 нм
-
-
Nanosphere3400A
THERMOFISHER SCIENTIFICNanosphere 3400A Стандарт размеров наносфер 15 мл, диаметр 400 нм