Стандарт загрязнения калибровочных пластин Cal-Dep TSI MSP 2200-01-5066
Код товара 661769Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
MSP наносит стандарты размера частиц на непрозрачные кремниевые пластины размером 200 и 300 мм с низкой матовостью с точным контролем размера и количества частиц для получения стандартов загрязнения калибровочных пластин Cal-Dep ™. Эти сертифицированные стандарты для инструментов контроля пластин представляют собой высокоточные стандарты с конкурентоспособной ценой, основанные на четко определенных, принятых в отрасли рецептах. Они гарантируют, что ваша система контроля пластин работает в соответствии с вашими требованиями, что помогает вам максимизировать выход продукции.
Модальные диаметры стандартов размера PSL и SiO которые соответствуют точкам калибровки OEM обычных устаревших систем контроля / метрологии пластин, контролируются с помощью системы прослеживаемости SI с использованием технологии дифференциального анализатора подвижности (DMA) MSP, подразделения TSI. MSP наносит собственную серию сфер SiO (стандарты размера MSP NanoSilica) с номинальным размером до 200 нм. Стандарты размеров SiO более 200 нм и все стандарты размеров PSL получены от других поставщиков. Большинство стандартов размеров имеют сертифицированные средние или модальные диаметры, измеренные с возможностью прослеживания SI. Когда используются частицы без прослеживаемости, применение калибровок прямого доступа к памяти с отслеживанием SI и надлежащий контроль прямого доступа к памяти обеспечивают желаемую прослеживаемость SI.
MSP проверяет все кремниевые пластины без покрытия диаметром 200 и 300 мм до и после осаждения частиц с помощью системы сканирования поверхности (SSIS) с чувствительностью ~ 35 нм (KLA Surfscan SP2). Результаты проверки представлены в сводке по осаждению, прилагаемой к стандарту загрязнения пластины, включая сканированное изображение с информацией о размере частиц и приблизительным подсчетом для каждого отложения.
Преимущества
- Прослеживаемая калибровка инструмента для контроля пластин
- Прослеживаемая калибровка инструмента для проверки сетки
- Соответствие производительности инструмента для осмотра
- Входящая проверка пластины
Характеристики

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
DELTA OHM
STCAL 3 Стандарт калибровочный
-
HACH LANGE
LZW9711.99 Стандарт проводимости 1413мкСм/см
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CONTROLS
35-T0130/8 Контейнер калибровочный
-
CONTROLS
26-T0320/9 Диск калибровочный
-
-
-
PERAQUA
pH 7, 90 ml Раствор буферный
-
-
1004001
-
-
31915
-
-
OrionAQUAfastAC301S
THERMOFISHER SCIENTIFICOrion AQUAfast AC301S Набор стандартов мутности
-
-
RemelR20413
THERMOFISHER SCIENTIFICRemel R20413 Стандарт мутности 3,0
-
-
RemelR20414
THERMOFISHER SCIENTIFICRemel R20414 Стандарт мутности 4,0
-
-
ValidCheckFluoride0.3 мг/л
-
-
ValidCheckKalium 10мг/л
-
-
T-CAL<0,1/20/100/800NTU 125 мл
-
-
T-CAL<0,1/20/200/1000/4000NTU 500
-
-
T-CAL10/20/100/800NTU 125 мл
-
-
T-CAL10/20/100/800NTU 500 мл
-
-
T-CAL Plus0,30 NTU
-
-
130500
-
-
130501
-
-
343000