Стандарт загрязнения калибровочных пластин Cal-Dep TSI MSP 2200-01-5066
Код товара 661769Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
MSP наносит стандарты размера частиц на непрозрачные кремниевые пластины размером 200 и 300 мм с низкой матовостью с точным контролем размера и количества частиц для получения стандартов загрязнения калибровочных пластин Cal-Dep ™. Эти сертифицированные стандарты для инструментов контроля пластин представляют собой высокоточные стандарты с конкурентоспособной ценой, основанные на четко определенных, принятых в отрасли рецептах. Они гарантируют, что ваша система контроля пластин работает в соответствии с вашими требованиями, что помогает вам максимизировать выход продукции.
Модальные диаметры стандартов размера PSL и SiO которые соответствуют точкам калибровки OEM обычных устаревших систем контроля / метрологии пластин, контролируются с помощью системы прослеживаемости SI с использованием технологии дифференциального анализатора подвижности (DMA) MSP, подразделения TSI. MSP наносит собственную серию сфер SiO (стандарты размера MSP NanoSilica) с номинальным размером до 200 нм. Стандарты размеров SiO более 200 нм и все стандарты размеров PSL получены от других поставщиков. Большинство стандартов размеров имеют сертифицированные средние или модальные диаметры, измеренные с возможностью прослеживания SI. Когда используются частицы без прослеживаемости, применение калибровок прямого доступа к памяти с отслеживанием SI и надлежащий контроль прямого доступа к памяти обеспечивают желаемую прослеживаемость SI.
MSP проверяет все кремниевые пластины без покрытия диаметром 200 и 300 мм до и после осаждения частиц с помощью системы сканирования поверхности (SSIS) с чувствительностью ~ 35 нм (KLA Surfscan SP2). Результаты проверки представлены в сводке по осаждению, прилагаемой к стандарту загрязнения пластины, включая сканированное изображение с информацией о размере частиц и приблизительным подсчетом для каждого отложения.
Преимущества
- Прослеживаемая калибровка инструмента для контроля пластин
- Прослеживаемая калибровка инструмента для проверки сетки
- Соответствие производительности инструмента для осмотра
- Входящая проверка пластины
Характеристики

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
HACH LANGE
LCA333 Стандарт ПАВ для LCK333 1г/л
-
HACH LANGE
5796600 Пакет калибровочный
-
-
-
26-WF0326/9
CONTROLS26-WF0326/9 Диск калибровочный
-
-
-
РУСПРИБОР
Гиря калибровочная 1кг, кл. F2
-
-
-
1653117
-
-
RemelR20411
THERMOFISHER SCIENTIFICRemel R20411 Стандарт мутности 1,0
-
-
082-5042
THERMOFISHER SCIENTIFIC082-5042 Стандарт вязкости для калибровки реометров, 100 мл, 5 мПа·с (20°C)
-
-
ValidCheckCOD 40 мг/л+ TOC 16
-
-
ValidCheckNitrate 10мг/л
-
-
ValidCheckNitrite 0.4мг/л
-
-
ValidCheckSulfat 75мг/л
-
-
T-CAL <0,1NTU 500 мл
-
-
T-CAL 100NTU 125 мл
-
-
T-CAL 1000NTU 500 мл
-
-
T-CAL 200NTU 500 мл
-
-
T-CAL 4000NTU 125 мл
-
-
T-CAL 800NTU 125 мл
-
-
T-CAL 800NTU 500 мл
-
-
T-CAL Plus0,30 NTU
-
-
T-CAL Plus1,00 NTU
-
-
136970
-
-
ГК ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКТИВЫ Калибровочный
ГК ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКТИВЫКалибровочный стандарт - бензойная кислота 5 г (1 упак)
-
-
001-092568
SCHARLAB001-092568 Стандарт для нитрита
-
-
LO48371625
-
-
MNG-914820