Клапан регулирующий с электроприводом C53 iComLine
Код товара 374917Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
2/2-ходовой мембранный седельный клапан C53 iComLine был разработан для высокоточного и сложного применения в производстве полупроводниковых приборов. Принцип уплотнения клапана основан на проверенной PDтехнологии, которая предусматривает разделение привода и рабочей среды шаровым регулирующим плунжером из PTFE. Благодаря возможности настройки контура шарового регулирующего плунжера, хода привода и размеров соединения согласно спецификации заказчика C53 iComLine отвечает практически всем требованиям по регулированию и контролю расхода в высокотехнологичной полупроводниковой промышленности. Комбинация высокоточного шагового двигателя и высокочистых материалов корпуса нового клапана делает его оптимально подходящим для процессов литографии, CMP-обработки и травления, а также для применения в аналитических целях на любом производстве полупроводниковых приборов.
Преимущества
- Регулирующий клапан для высокочистого применения в производстве полупроводников
- Линейный привод с большой разрешающей способностью, с шаговым электродвигателем
- Мембранный седельный клапан на основе серии iComLine
- Испытанная технология Plug Diaphragm
- Все детали, вступающие в контакт с рабочей средой, изготовлены из PFA или PTFE
- 1 млн. аттестованных циклов переключений
- Изготовление в чистом помещении (вариант HP), соответствует требованиям SEMI F 57
Характеристики
Характеристика | Значение |
---|---|
Формы корпуса | Проходной корпус |
Макс. рабочее давление | 6 бар |
Температура среды |
10 - 150°C |
Класс защиты |
IP65 |
Виды соединения |
PrimeLock® l Super 300 Type Pillar® l Соединение типа Flare |
Размеры соединения |
1/4'' до 3/4'' |
Матриалы корпуса |
PFA l PTFE TFM™ |
Материал уплотнения |
PTFE TFM™ |
Напряжение электропитания |
24 В= |
Входные сигналы |
0–10 В l 4–20 мA |
Скорость позиционирования |
макс. 2 мм/с |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
АНАЛИТПРИБОР
КТЗ Клапан термозапорный
-
-
-
ЭФФЕКТИВНЫЙ ИНЖИНИРИНГ
Головка термостатическая с жидкостным термостатом
-
-
ГК ЗАПЧАСТИ КПО
П-КРМ Клапан редукционный к прессам КВ, КГ, КД
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
HRAR E SE DN10
-
-
RV D AE DN80
-
-
RV E AENIRO DN 4"
-
-
VARIVENTNE OD3"
-
-
VARIVENTQCW D-FORCEDN 40
-
-
VARIVENTQCW D-FORCEDN 65
-
-
VARIVENT UDDN 125
-
-
VARIVENT WUOD 1 ½"
-
-
VARIVENTWU OD6"
-
-
VESTA HTAPISO 17.2
-
-
МФ5 КМЧ безПУ Ду 25
-
-
D17x12(EXDRP110000001)
-
-
D40 PN16(208 00 0402)
-
-
D50 1 1/2PN16 (30410 050 2)
-
-
D63 PN10(405 70 0632)
-
-
201150759
-
-
202040632
-
-
202110902
-
-
700006326
-
-
-
60001583
-
-
-
-
-
AlphaA233SP-240-D
-
-
AlphaA319SD-000-A
-
-
AlphaA322SS-024-L
-
-
AlphaA711PS
-
-
AlphaA713SS-120-D
-
-
AlphaA721SP-120-A
-
-
AlphaA743SS-024-N
-
-
AlphaA749SS-012-N
-
-
AlphaA812SD-024-A
-
-
AlphaA823SD-024-D
-
-
AlphaA829SS-120-D
-
-
AlphaA831SP-024-A
-
-
AlphaA832SS-024-A
-
-
AlphaA932SP-024-A
-
-
AlphaA943SS-000-L
-
-
AlphaA943SS-012-D
-
-
MaxAirM254SD-012-D