Клапан регулирующий с электроприводом C53 iComLine
Код товара 374917Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
2/2-ходовой мембранный седельный клапан C53 iComLine был разработан для высокоточного и сложного применения в производстве полупроводниковых приборов. Принцип уплотнения клапана основан на проверенной PDтехнологии, которая предусматривает разделение привода и рабочей среды шаровым регулирующим плунжером из PTFE. Благодаря возможности настройки контура шарового регулирующего плунжера, хода привода и размеров соединения согласно спецификации заказчика C53 iComLine отвечает практически всем требованиям по регулированию и контролю расхода в высокотехнологичной полупроводниковой промышленности. Комбинация высокоточного шагового двигателя и высокочистых материалов корпуса нового клапана делает его оптимально подходящим для процессов литографии, CMP-обработки и травления, а также для применения в аналитических целях на любом производстве полупроводниковых приборов.
Преимущества
- Регулирующий клапан для высокочистого применения в производстве полупроводников
- Линейный привод с большой разрешающей способностью, с шаговым электродвигателем
- Мембранный седельный клапан на основе серии iComLine
- Испытанная технология Plug Diaphragm
- Все детали, вступающие в контакт с рабочей средой, изготовлены из PFA или PTFE
- 1 млн. аттестованных циклов переключений
- Изготовление в чистом помещении (вариант HP), соответствует требованиям SEMI F 57
Характеристики
| Характеристика | Значение |
|---|---|
| Формы корпуса | Проходной корпус |
| Макс. рабочее давление | 6 бар |
|
Температура среды |
10 - 150°C |
|
Класс защиты |
IP65 |
|
Виды соединения |
PrimeLock® l Super 300 Type Pillar® l Соединение типа Flare |
|
Размеры соединения |
1/4'' до 3/4'' |
|
Матриалы корпуса |
PFA l PTFE TFM™ |
|
Материал уплотнения |
PTFE TFM™ |
|
Напряжение электропитания |
24 В= |
|
Входные сигналы |
0–10 В l 4–20 мA |
|
Скорость позиционирования |
макс. 2 мм/с |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
ТЕПЛОКОНТРОЛЬ
СНИЦ.423 117.012 Орган регулирующий
-
ТЕПЛОКОНТРОЛЬ
ЮД8.230.005 Фланец обратный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
D-TEC N/DVEPDM OD 4"
-
-
LOTO
-
-
RV D AENIRO DN 40
-
-
RV E AE DN10
-
-
RV E AENIRO DN 32
-
-
VARIVENTQAM D-FORCEIPS 2"
-
-
VARIVENTQBW D-FORCEIPS 2"
-
-
VARIVENTWN IPS2"
-
-
VARIVENTWP DN65
-
-
VESTA HBAPOD 1.5”
-
-
VESTAVR/P DN25
-
-
D110 PN16(336 50 1102)
-
-
D25 3/4PN16 (EX233100 25 2)
-
-
D50 PN10(400 00 0502)
-
-
D75 PN16(214 00 0752)
-
-
-
AlphaA239SD-240-A
-
-
AlphaA241SD-024-N
-
-
AlphaA322SD-012-L
-
-
AlphaA323SP-012-A
-
-
AlphaA341SD-000-L
-
-
AlphaA341SD-240-D
-
-
AlphaA411SP-012-N
-
-
AlphaA711SP-012-D
-
-
AlphaA713SS-120-A
-
-
AlphaA719SP-024-A
-
-
AlphaA723SP-000-D
-
-
AlphaA733SS-012-A
-
-
AlphaA833SS-120-A
-
-
AlphaA912SP-000-A
-
-
AlphaA913SS-012-L
-
-
AlphaA942SS-240-D
-
-
MaxAirTB12JB-024-D
-
-
MaxAirTB12JB-120-A
-
-
PremairP251SS-012-E
-
-
1341981