Клапан регулирующий с электроприводом C53 iComLine
Код товара 374917Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
2/2-ходовой мембранный седельный клапан C53 iComLine был разработан для высокоточного и сложного применения в производстве полупроводниковых приборов. Принцип уплотнения клапана основан на проверенной PDтехнологии, которая предусматривает разделение привода и рабочей среды шаровым регулирующим плунжером из PTFE. Благодаря возможности настройки контура шарового регулирующего плунжера, хода привода и размеров соединения согласно спецификации заказчика C53 iComLine отвечает практически всем требованиям по регулированию и контролю расхода в высокотехнологичной полупроводниковой промышленности. Комбинация высокоточного шагового двигателя и высокочистых материалов корпуса нового клапана делает его оптимально подходящим для процессов литографии, CMP-обработки и травления, а также для применения в аналитических целях на любом производстве полупроводниковых приборов.
Преимущества
- Регулирующий клапан для высокочистого применения в производстве полупроводников
- Линейный привод с большой разрешающей способностью, с шаговым электродвигателем
- Мембранный седельный клапан на основе серии iComLine
- Испытанная технология Plug Diaphragm
- Все детали, вступающие в контакт с рабочей средой, изготовлены из PFA или PTFE
- 1 млн. аттестованных циклов переключений
- Изготовление в чистом помещении (вариант HP), соответствует требованиям SEMI F 57
Характеристики
| Характеристика | Значение |
|---|---|
| Формы корпуса | Проходной корпус |
| Макс. рабочее давление | 6 бар |
|
Температура среды |
10 - 150°C |
|
Класс защиты |
IP65 |
|
Виды соединения |
PrimeLock® l Super 300 Type Pillar® l Соединение типа Flare |
|
Размеры соединения |
1/4'' до 3/4'' |
|
Матриалы корпуса |
PFA l PTFE TFM™ |
|
Материал уплотнения |
PTFE TFM™ |
|
Напряжение электропитания |
24 В= |
|
Входные сигналы |
0–10 В l 4–20 мA |
|
Скорость позиционирования |
макс. 2 мм/с |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ASEPTOMAGRV OD ¾"
-
-
HRAR D LE DN65
-
-
VARIVENT MXAO DN 50
-
-
VARIVENTWP IPS4"
-
-
VARIVENTXU IPS2"
-
-
-
-
-
-
D17(EXDRP130000001)
-
-
D63 2 PN16(301 04 0632)
-
-
D75 2 1/2PN16 (33730 075 2)
-
-
D90 PN16(301 08 0902)
-
-
D110 4 PN16(339 00 1102)
-
-
D315 PN10(200 20 3152)
-
-
D25 3/4PN16 (EX234200 25 2)
-
-
D63 PN10(403 00 0632)
-
-
D32 PN25(815 02 0322)
-
-
214040409
-
-
-
EM4-15-2.5
-
-
AlphaA219PS
-
-
AlphaA239SD-120-N
-
-
AlphaA331SP-000-A
-
-
AlphaA331SP-240-A
-
-
AlphaA333SD-012-D
-
-
AlphaA439SP-240-L
-
-
AlphaA439SS-120-D
-
-
AlphaA722SS-120-N
-
-
AlphaA833SP-240-D
-
-
AlphaA839SD-024-A
-
-
AlphaA842SP-024-A
-
-
AlphaA923SD-024-D
-
-
AlphaA932SD-000-D
-
-
AlphaA942SD-012-D
-
-
4040 DN20
SCHUBERT SALZER4040 DN20 Кран шаровый секторный
-
-
1364187