VTI1242305 Коллектор распределительный
Клапан регулирующий с электроприводом C53 iComLine
Код товара 374917Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
2/2-ходовой мембранный седельный клапан C53 iComLine был разработан для высокоточного и сложного применения в производстве полупроводниковых приборов. Принцип уплотнения клапана основан на проверенной PDтехнологии, которая предусматривает разделение привода и рабочей среды шаровым регулирующим плунжером из PTFE. Благодаря возможности настройки контура шарового регулирующего плунжера, хода привода и размеров соединения согласно спецификации заказчика C53 iComLine отвечает практически всем требованиям по регулированию и контролю расхода в высокотехнологичной полупроводниковой промышленности. Комбинация высокоточного шагового двигателя и высокочистых материалов корпуса нового клапана делает его оптимально подходящим для процессов литографии, CMP-обработки и травления, а также для применения в аналитических целях на любом производстве полупроводниковых приборов.
Преимущества
- Регулирующий клапан для высокочистого применения в производстве полупроводников
- Линейный привод с большой разрешающей способностью, с шаговым электродвигателем
- Мембранный седельный клапан на основе серии iComLine
- Испытанная технология Plug Diaphragm
- Все детали, вступающие в контакт с рабочей средой, изготовлены из PFA или PTFE
- 1 млн. аттестованных циклов переключений
- Изготовление в чистом помещении (вариант HP), соответствует требованиям SEMI F 57
Характеристики
| Характеристика | Значение |
|---|---|
| Формы корпуса | Проходной корпус |
| Макс. рабочее давление | 6 бар |
|
Температура среды |
10 - 150°C |
|
Класс защиты |
IP65 |
|
Виды соединения |
PrimeLock® l Super 300 Type Pillar® l Соединение типа Flare |
|
Размеры соединения |
1/4'' до 3/4'' |
|
Матриалы корпуса |
PFA l PTFE TFM™ |
|
Материал уплотнения |
PTFE TFM™ |
|
Напряжение электропитания |
24 В= |
|
Входные сигналы |
0–10 В l 4–20 мA |
|
Скорость позиционирования |
макс. 2 мм/с |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
END-ARMATUREN
-
-
-
-
LAMBORGHINI
Z301127650 Электродная группа
-
ЭНЕРГОТЕХНОМАШ
АЛШ 6.617.00 Коллектор распределительный
-
-
-
-
-
-
-
-
D20x3/4PN16(EX70002401M)
-
-
D25x1/2PN16(EX70002402)
-
-
D32x1 1/4PN16(EX70002007)
-
-
D40x1 1/2PN10(GR70002010)
-
-
D40x1 1/4PN16(EX70002409)
-
-
D40x1 PN10(GR70002408)
-
-
D90x3 PN16(EX70002418M)
-
-
D110x3 PN10(GR70002419)
-
-
D110x4 PN16(EX70002420)
-
-
D75x63(DRP96000029)
-
-
D90x63(DRP96000002)
-
-
D125x90(DRP95000013)
-
-
D140x110(DRP95000018)
-
-
D140x140(DRP96000020)
-
-
D50 1 1/2(231 00 7384)
-
-
D75 2 1/2(231 00 3324)
-
-
D32 25 PN16(EXBS57800032252)
-
-
D40 20 PN16(EXBS57800040202)
-
-
D20 1/2PN10(EX70001000)
-
-
D50 2 PN10(EX70001014)
-
-
D75 2 1/2PN10(EX70001019M)
-
-
D20 3/4 20PN16(EX70002301M)
-
-
D25 1 25PN16(EX70002304)
-
-
D25 1 25PN16(EX70002304M)
-
-
D40 1 1/240 PN10(GR70001912)
-
-
D40 1 40PN16(EX70001910)
-
-
D40 25 40PN16(EX70001703)
-
-
D63 1 1/463 PN10(GR70002314)
-
-
D63 2 63PN10(GR70001919)
-
-
D75 2 1/275 PN16(EX70002318M)
-
-
D90 3 PN10(GR70001925)
-
-
D110 PN16(EX70001308)
-
-
D25x1 PN16(EX70001104)
-
-
D25x1 PN10(GR70001104)
-
-
D25x3/4PN16 (24200 025 2)
-
-
D32x32 PN10(GR70001202)
-
-
D40x1 1/2PN16(EX70001111)
-
-
D75x2 1/2PN10(GR70001119)
-
-
D75x3 PN10(GR70001020)
-
-
D90x2 1/2PN10(GR70001121)
-
-
D110x2 PN16(EX70001125)
-
-
-
-
-
-
INDOKOR
Коллектор для IR-1954-18
-
-
Скарабей-мини