Клапан регулирующий с электроприводом C53 iComLine
Код товара 374917Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
2/2-ходовой мембранный седельный клапан C53 iComLine был разработан для высокоточного и сложного применения в производстве полупроводниковых приборов. Принцип уплотнения клапана основан на проверенной PDтехнологии, которая предусматривает разделение привода и рабочей среды шаровым регулирующим плунжером из PTFE. Благодаря возможности настройки контура шарового регулирующего плунжера, хода привода и размеров соединения согласно спецификации заказчика C53 iComLine отвечает практически всем требованиям по регулированию и контролю расхода в высокотехнологичной полупроводниковой промышленности. Комбинация высокоточного шагового двигателя и высокочистых материалов корпуса нового клапана делает его оптимально подходящим для процессов литографии, CMP-обработки и травления, а также для применения в аналитических целях на любом производстве полупроводниковых приборов.
Преимущества
- Регулирующий клапан для высокочистого применения в производстве полупроводников
- Линейный привод с большой разрешающей способностью, с шаговым электродвигателем
- Мембранный седельный клапан на основе серии iComLine
- Испытанная технология Plug Diaphragm
- Все детали, вступающие в контакт с рабочей средой, изготовлены из PFA или PTFE
- 1 млн. аттестованных циклов переключений
- Изготовление в чистом помещении (вариант HP), соответствует требованиям SEMI F 57
Характеристики
| Характеристика | Значение |
|---|---|
| Формы корпуса | Проходной корпус |
| Макс. рабочее давление | 6 бар |
|
Температура среды |
10 - 150°C |
|
Класс защиты |
IP65 |
|
Виды соединения |
PrimeLock® l Super 300 Type Pillar® l Соединение типа Flare |
|
Размеры соединения |
1/4'' до 3/4'' |
|
Матриалы корпуса |
PFA l PTFE TFM™ |
|
Материал уплотнения |
PTFE TFM™ |
|
Напряжение электропитания |
24 В= |
|
Входные сигналы |
0–10 В l 4–20 мA |
|
Скорость позиционирования |
макс. 2 мм/с |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
40520
NIOB FLUID40520 Кран шаровой P-C
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
AVR D DN 4"
-
-
D-TEC N/DVTEFASEP/VMQDN 15
-
-
HRAR E AENIRO DN 6"
-
-
VARIVENTNL OD2"
-
-
VARIVENTWG DN25
-
-
VARIVENTWG IPS6"
-
-
VARIVENTWP IPS3"
-
-
VARIVENTWW IPS3"
-
-
VARIVENTWX DN40
-
-
VARIVENTWX IPS4"
-
-
VARIVENTXG IPS2"
-
-
VESTAHTAP DN80
-
-
-
-
D32 PN16(336 50 0322)
-
-
D90 3 PN16(336 60 0902)
-
-
D225 PN10(428 06 2252)
-
-
D315 PN10(428 01 3152)
-
-
202090501
-
-
AZ30-7BSI/AZ50-12BSIwaterinlent va
-
-
GND3thermostaticexpansion
-
-
AlphaA242SS-000-N
-
-
AlphaA333SD-000-A
-
-
AlphaA412SP-012-A
-
-
AlphaA412SP-024-A
-
-
AlphaA419SS-000-A
-
-
AlphaA442PS
-
-
AlphaA443SD-240-L
-
-
AlphaA713SD-000-D
-
-
AlphaA723SP-240-A
-
-
AlphaA741SD-120-L
-
-
AlphaA749SS-000-D
-
-
AlphaA813SP-120-N
-
-
AlphaA819SP-240-D
-
-
AlphaA829SP-012-D
-
-
AlphaA832SS-240-L
-
-
AlphaA849SS-024-N
-
-
AlphaA912SD-000-L
-
-
AlphaA913SD-024-N
-
-
AlphaA913SS-024-N
-
-
AlphaA929SS-000-N
-
-
AlphaA939SS-024-N
-
-
AlphaA942SD-120-D
-
-
MaxAirTB14JB-024-D
-
-
5040-10
-
-
1052108