Клапан регулирующий с электроприводом C53 iComLine
Код товара 374917Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
2/2-ходовой мембранный седельный клапан C53 iComLine был разработан для высокоточного и сложного применения в производстве полупроводниковых приборов. Принцип уплотнения клапана основан на проверенной PDтехнологии, которая предусматривает разделение привода и рабочей среды шаровым регулирующим плунжером из PTFE. Благодаря возможности настройки контура шарового регулирующего плунжера, хода привода и размеров соединения согласно спецификации заказчика C53 iComLine отвечает практически всем требованиям по регулированию и контролю расхода в высокотехнологичной полупроводниковой промышленности. Комбинация высокоточного шагового двигателя и высокочистых материалов корпуса нового клапана делает его оптимально подходящим для процессов литографии, CMP-обработки и травления, а также для применения в аналитических целях на любом производстве полупроводниковых приборов.
Преимущества
- Регулирующий клапан для высокочистого применения в производстве полупроводников
- Линейный привод с большой разрешающей способностью, с шаговым электродвигателем
- Мембранный седельный клапан на основе серии iComLine
- Испытанная технология Plug Diaphragm
- Все детали, вступающие в контакт с рабочей средой, изготовлены из PFA или PTFE
- 1 млн. аттестованных циклов переключений
- Изготовление в чистом помещении (вариант HP), соответствует требованиям SEMI F 57
Характеристики
| Характеристика | Значение |
|---|---|
| Формы корпуса | Проходной корпус |
| Макс. рабочее давление | 6 бар |
|
Температура среды |
10 - 150°C |
|
Класс защиты |
IP65 |
|
Виды соединения |
PrimeLock® l Super 300 Type Pillar® l Соединение типа Flare |
|
Размеры соединения |
1/4'' до 3/4'' |
|
Матриалы корпуса |
PFA l PTFE TFM™ |
|
Материал уплотнения |
PTFE TFM™ |
|
Напряжение электропитания |
24 В= |
|
Входные сигналы |
0–10 В l 4–20 мA |
|
Скорость позиционирования |
макс. 2 мм/с |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
ЭНЕРПРЕД
Д2П Кран многоходовой
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ASEPTOMAGUV DN 65
-
-
HRAR E AEDN 10"
-
-
RV D FL DN32
-
-
VARIVENTNE DN25
-
-
VARIVENTQAM D-FORCEIPS 4"
-
-
VARIVENTQLW D-FORCEOD ½"
-
-
VESTAHCAP DN25
-
-
-
-
D90 PN16(300 01 0902)
-
-
D50 1 1/2PN16 (20270 050 2)
-
-
D17x3/4(DRP11000002)
-
-
D32 1 PN10(405 40 0322)
-
-
D110 PN10(428 07 1102)
-
-
229100902
-
-
D25 PN16(214 10 0252)
-
-
-
FLхВР 11/4" (Ду32мм) ок
-
-
AlphaA213SP-024-D
-
-
AlphaA221SD-012-L
-
-
AlphaA312SP-240-L
-
-
AlphaA713SP-012-N
-
-
AlphaA731SP-120-A
-
-
AlphaA743SS-240-N
-
-
AlphaA813SS-000-D
-
-
AlphaA832SD-012-A
-
-
AlphaA911PS
-
-
AlphaA933SS-024-A
-
-
AlphaA949SD-120-A
-
-
MaxAirM214SS-012-N
-
-
MaxAirM251PS
-
-
MaxAirM314SS-012-N
-
-
Optibal DN100 ВР-ВР
-
-
Optibal TWDN 25 Rp 1x R 1