Клапан регулирующий с электроприводом C53 iComLine
Код товара 374917Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
2/2-ходовой мембранный седельный клапан C53 iComLine был разработан для высокоточного и сложного применения в производстве полупроводниковых приборов. Принцип уплотнения клапана основан на проверенной PDтехнологии, которая предусматривает разделение привода и рабочей среды шаровым регулирующим плунжером из PTFE. Благодаря возможности настройки контура шарового регулирующего плунжера, хода привода и размеров соединения согласно спецификации заказчика C53 iComLine отвечает практически всем требованиям по регулированию и контролю расхода в высокотехнологичной полупроводниковой промышленности. Комбинация высокоточного шагового двигателя и высокочистых материалов корпуса нового клапана делает его оптимально подходящим для процессов литографии, CMP-обработки и травления, а также для применения в аналитических целях на любом производстве полупроводниковых приборов.
Преимущества
- Регулирующий клапан для высокочистого применения в производстве полупроводников
- Линейный привод с большой разрешающей способностью, с шаговым электродвигателем
- Мембранный седельный клапан на основе серии iComLine
- Испытанная технология Plug Diaphragm
- Все детали, вступающие в контакт с рабочей средой, изготовлены из PFA или PTFE
- 1 млн. аттестованных циклов переключений
- Изготовление в чистом помещении (вариант HP), соответствует требованиям SEMI F 57
Характеристики
| Характеристика | Значение |
|---|---|
| Формы корпуса | Проходной корпус |
| Макс. рабочее давление | 6 бар |
|
Температура среды |
10 - 150°C |
|
Класс защиты |
IP65 |
|
Виды соединения |
PrimeLock® l Super 300 Type Pillar® l Соединение типа Flare |
|
Размеры соединения |
1/4'' до 3/4'' |
|
Матриалы корпуса |
PFA l PTFE TFM™ |
|
Материал уплотнения |
PTFE TFM™ |
|
Напряжение электропитания |
24 В= |
|
Входные сигналы |
0–10 В l 4–20 мA |
|
Скорость позиционирования |
макс. 2 мм/с |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ASEPTOMAGLV DN 32
-
-
HVLOTO-AL-M
-
-
RV D AENIRO DN 6"
-
-
RVZ FL DN200
-
-
VARIVENT XXOD 1 ½"
-
-
VARIVENTXZ OD1"
-
-
WVR FLNIRO DN40
-
-
МФ5 Ду 40
ПРОМПРИБОРМФ5 Ду 40 Вставка монтажная
-
-
МФ5 КМЧ безПУ Ду 300
-
-
-
-
D75 PN16(306 10 0752)
-
-
D20 1/2PN10 (40120 020 2)
-
-
D32 1 PN10(411 10 0322)
-
-
D40 PN10(403 20 0402)
-
-
D50 PN10(403 20 0502)
-
-
D63 2 PN10(401 60 0632)
-
-
D32 PN10(413 20 0322)
-
-
221024002
-
-
7581630509
-
-
D40 PN16(216 01 0402)
-
-
-
-
INDOKOR Клапан
INDOKORКлапан упаковщика IVP-500/T 13
-
-
-
-
-
AlphaA231SD-024-L
-
-
AlphaA233SD-120-A
-
-
AlphaA243SD-240-A
-
-
AlphaA423SP-000-A
-
-
AlphaA423SP-012-L
-
-
AlphaA432SS-024-N
-
-
AlphaA433SP-000-D
-
-
AlphaA711SS-012-A
-
-
AlphaA719SS-000-A
-
-
AlphaA739SD-240-N
-
-
AlphaA813SD-024-L
-
-
AlphaA821SS-000-A
-
-
AlphaA932SD-000-N
-
-
MaxAirM314SD-120-A
-
-
1045158
-
-
1072560