Клапан регулирующий с электроприводом C53 iComLine
Код товара 374917Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
2/2-ходовой мембранный седельный клапан C53 iComLine был разработан для высокоточного и сложного применения в производстве полупроводниковых приборов. Принцип уплотнения клапана основан на проверенной PDтехнологии, которая предусматривает разделение привода и рабочей среды шаровым регулирующим плунжером из PTFE. Благодаря возможности настройки контура шарового регулирующего плунжера, хода привода и размеров соединения согласно спецификации заказчика C53 iComLine отвечает практически всем требованиям по регулированию и контролю расхода в высокотехнологичной полупроводниковой промышленности. Комбинация высокоточного шагового двигателя и высокочистых материалов корпуса нового клапана делает его оптимально подходящим для процессов литографии, CMP-обработки и травления, а также для применения в аналитических целях на любом производстве полупроводниковых приборов.
Преимущества
- Регулирующий клапан для высокочистого применения в производстве полупроводников
- Линейный привод с большой разрешающей способностью, с шаговым электродвигателем
- Мембранный седельный клапан на основе серии iComLine
- Испытанная технология Plug Diaphragm
- Все детали, вступающие в контакт с рабочей средой, изготовлены из PFA или PTFE
- 1 млн. аттестованных циклов переключений
- Изготовление в чистом помещении (вариант HP), соответствует требованиям SEMI F 57
Характеристики
Характеристика | Значение |
---|---|
Формы корпуса | Проходной корпус |
Макс. рабочее давление | 6 бар |
Температура среды |
10 - 150°C |
Класс защиты |
IP65 |
Виды соединения |
PrimeLock® l Super 300 Type Pillar® l Соединение типа Flare |
Размеры соединения |
1/4'' до 3/4'' |
Матриалы корпуса |
PFA l PTFE TFM™ |
Материал уплотнения |
PTFE TFM™ |
Напряжение электропитания |
24 В= |
Входные сигналы |
0–10 В l 4–20 мA |
Скорость позиционирования |
макс. 2 мм/с |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ПРОМГАЗЭНЕРГО
ПКН-200 Клапан предохранительный запорный
-
-
HRAR D AENIRO DN 10
-
-
HRAR E AENIRO DN1/8"
-
-
HVLOTO-DL-BFV-9
-
-
RV D FL DN1/8"
-
-
RV E LE DN10
-
-
VARIVENTXZ IPS4"
-
-
SMART INSTALL
57101S Кран шаровой латунный ВР/ВР 1/2" рычаг красный
-
-
ф25хф75х3
НОВАТОРф25хф75х3 Прокладка трубопровода
-
-
D32 PN16(300 07 0322)
-
-
D40 PN16(301 10 0402)
-
-
D63 PN16(336 50 0632)
-
-
D90 3 PN16(EX234 10090 3)
-
-
D50 PN10(413 60 0502)
-
-
D20x3/4PN16 (81200 2025 2)
-
-
D90 PN10(221 07 0902)
-
-
893.095.000
SANDPIPER893.095.000 Клапан VALVE, SOLENOID
-
-
-
-
AlphaA233SP-000-L
-
-
AlphaA233SS-120-N
-
-
AlphaA243SP-012-L
-
-
AlphaA349SS-240-L
-
-
AlphaA422PS
-
-
AlphaA432SD-024-L
-
-
AlphaA713SD-000-D
-
-
AlphaA722PS
-
-
AlphaA739SP-012-L
-
-
AlphaA823SD-012-D
-
-
AlphaA849SD-024-L
-
-
AlphaA919SS-120-L
-
-
AlphaA922SD-000-A
-
-
AlphaA932SS-012-D
-
-
AlphaA949SD-000-N
-
-
MaxAirM312SD-120-N
-
-
MaxAirTB022B-000-N