Модуль водяного пара BROOKS VDM300

Модуль подачи паров Brooks VDM300 представляет собой автономный модуль для высокоточной подачи неразбавленного деионизированного (DI) водяного пара сверхвысокой чистоты. Энергоэффективная конструкция позволяет производить низкотемпературный пар сверхвысокой чистоты без газа-носителя. VDM300 использует проверенную технику подачи пара и сочетает ее с передовым цифровым управлением и встроенными функциями диагностики в небольшом удобном корпусе. Разработанный для усовершенствованных процессов пассивации полосы и травления металла после травления, VDM300 обеспечивает повышенную точность, широкий диапазон регулирования и более низкое энергопотребление по сравнению с системами мгновенного испарения. Основанный на проверенных методах измерения теплового массового расхода, VDM300 производит пар в пассивированном титановом сосуде на ступени пара без перегрева, снижая агрессивное воздействие деионизированной воды, повышая надежность и чистоту работы. VDM300 предлагает как аналоговый (по умолчанию), так и EtherCAT (дополнительно) интерфейсы связи. Кроме того, он обеспечивает удобные функции регистрации данных и диагностики через независимый сервисный порт Micro USB и интуитивно понятный графический интерфейс пользователя.