Модуль водяного пара BROOKS VDM300
Код товара 623148Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Модуль подачи паров Brooks VDM300 представляет собой автономный модуль для высокоточной подачи неразбавленного деионизированного (DI) водяного пара сверхвысокой чистоты. Энергоэффективная конструкция позволяет производить низкотемпературный пар сверхвысокой чистоты без газа-носителя. VDM300 использует проверенную технику подачи пара и сочетает ее с передовым цифровым управлением и встроенными функциями диагностики в небольшом удобном корпусе. Разработанный для усовершенствованных процессов пассивации полосы и травления металла после травления, VDM300 обеспечивает повышенную точность, широкий диапазон регулирования и более низкое энергопотребление по сравнению с системами мгновенного испарения. Основанный на проверенных методах измерения теплового массового расхода, VDM300 производит пар в пассивированном титановом сосуде на ступени пара без перегрева, снижая агрессивное воздействие деионизированной воды, повышая надежность и чистоту работы. VDM300 предлагает как аналоговый (по умолчанию), так и EtherCAT (дополнительно) интерфейсы связи. Кроме того, он обеспечивает удобные функции регистрации данных и диагностики через независимый сервисный порт Micro USB и интуитивно понятный графический интерфейс пользователя.
BROOKS
Характеристики
Характеристика |
Значение |
---|---|
Диапазон расхода (полная емкость) |
3000 sccm (DIW Vapor) |
Потребляемая мощность | 208-230 В переменного тока, 50/60 Гц, номинальная мощность 290 Вт |
Точность |
|
Диапазон управления | 20:1 |
Давление подачи | 10 - 40 фунтов на квадратный дюйм |
Линейность | <0,5% от FS |
Максимальное давление | 200 торр |
Ориентация установки | Вертикальный (вход вниз) |
Повторяемость | <±0.2% FS |
Время отклика |
<2 сек |
Аналоговая связь |
от 0 до 5-24 В постоянного тока |
Цифровая связь |
|
Отзывы и вопросы о товаре
- 5 0%
- 4 0%
- 3 0%
- 2 0%
- 1 0%