Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
BURKERT
8035T Расходомер жидкостей
-
-
-
АБАКАН
7КВ ДУ 125 Расходомер
-
-
-
-
-
-
-
MICRO MOTION
T075F Расходомер массовый
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB130-A1Y0080E1
-
-
CoriolisMasterFCH130-A2Y0080R1
-
-
CoriolisMasterFCH150-A2Y0050R1
-
-
CoriolisMasterFCH350-F2A1080R1
-
-
SensyMasterFMT250Y0C2A2G2B1M2B
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-01142011
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02221011
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.V.1400
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.032.P.5
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.F1.A1.0
-
-
ProcessMaster300FEP315-900
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A2.0080
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A1.1400
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A2.0350
-
-
ProcessMaster600FEP632.S2.A2.0150
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
WaterMasterFEW321.200
-
-
FET525-2B0M1A
-
-
IOMasterFPD510-M2.040.L.4
-
-
PitoMasterFPD550-V1.600.S.S6
-
-
TorbarFPD350.T4.E2.350
-
-
SwirlMasterFSS430.B1.C1.F200R0
-
-
SwirlMasterFSS450.A4.R1.F025R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F1.C1.F015R0
-
-
VortexMasterFSV430.B1.R1.F050R0
-
-
VortexMasterFSV430.N8.R1.F250R0
-
-
VortexMasterFSV450.F1.C1.F015R0
-
-
ПРЭМ-100 ГФКл. C112/24В (К0)
-
-
РМ-1К3Л-RS232-1200ФЛ