T20 Регулятор расхода газа
Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
KROMSCHRODER
DM 650Z150-40 Расходомер с механическим отображением
-
SPIRAX SARCO
R25 Турбинка погружного расходомера
-
ТЕРМОТРОНИК
УИ-20/20 Участок измерительный для расходомеров
-
-
МФ5 КМЧ безПУ Ду 100
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB350-A2A2100E1
-
-
CoriolisMasterFCB450-F2A1050R1
-
-
SensyMasterFMT250Y0H3A3F1T2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0H3A4F1T1M2B
-
-
SensyMasterFMT430Y0C2A2F1S1
-
-
SensyMasterFMT430Y0C2A2G2Y0
-
-
FSM4000-SE21PP50
-
-
FSM4000-SE41FF40
-
-
FSM4000-SE41FH25
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.A1.A2.0
-
-
WaterMasterFEW181.125
-
-
WaterMasterFEW321.002
-
-
FET321-4A0A1Y1C1
-
-
OriMasterFPD500-М80G2
-
-
SwirlMasterFSS430.N9.C1.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F1.C1.F150R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N2.R1.F032R0
-
-
VortexMasterFSV430.F3.C2.F050R0
-
-
VortexMasterFSV430.N8.R1.W040R0
-
-
VortexMasterFSV450.A9.R2.F150R0
-
-
VortexMasterFSV450.B1.R1.W050R0
-
-
VortexMasterFSV450.B9.R2.F100R0
-
-
VA MasterFAM545A1A9F1
-
-
FSIV050P5M0800M
-
-
FSIV075P3M6000
-
-
FLSM9.05.W2
-
-
COOLEQ Датчик
-
-
РМ-4К1Л-RS232-032СВ