Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ELETTA
PR1 DN 80 Реле протока
-
-
-
-
-
-
HONSBERG
UR1-025VKA Реле потока лопастное
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-A1A1080R0
-
-
CoriolisMasterFCB330-A2A2015E1
-
-
CoriolisMasterFCB450-A1Y0050R0
-
-
CoriolisMasterFCB450-F2A2100R0
-
-
CoriolisMasterFCH330-A2A2080R0
-
-
CoriolisMasterFCH430-F2Y0050R0
-
-
SensyMasterFMT230Y0C1A3G2T2M2B
-
-
SensyMasterFMT230Y0C2A3G2B1M2B
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02122011
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-AA122
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.R.1800
-
-
FSM4000-SE21BN02
-
-
ProcessMaster600FEP631.S1.D2.0050
-
-
ProcessMaster600FEP631.Y0.D2.1200
-
-
ProcessMaster600FEP632.F1.A2.0150
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P1.0040
-
-
WaterMasterFEW325.200
-
-
WaterMasterFEW385.300
-
-
FET101-1A0P1B2G1
-
-
FET121-1A0M1B2M1
-
-
FET321-2B0A1A1B1
-
-
FET521-1B0A1C
-
-
PitoMasterFPD550-V2.450.G.C1
-
-
TorbarFPD350.T4.E2.999
-
-
TorbarFPD350.T5.E1.705
-
-
SwirlMasterFSS430.N3.C2.F200R0
-
-
SwirlMasterFSS430.S2.R1.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS430.S9.R1.F032R0
-
-
VortexMasterFSV430.N2.R1.W150R0
-
-
VortexMasterFSV430.S9.C1.F150R0
-
-
VortexMasterFSV450.F8.C2.W100R0
-
-
VortexMasterFSV450.F9.R1.F150R0
-
-
PurgemasterFGM6200-A6223B
-
-
RatoSightFGM223510A2235A-OA
-
-
SF3410
IFM ELECTRONICSF3410 Датчик потока для жидких сред
-
-
KTC-10-ST-BU-VI-DIN