Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
ULB-Ex-04-1000 Датчик нагрузки
-
-
-
-
-
ПРИБОР-М
РМС-А-0.16 ГУЗ Ротаметр газовый
-
-
-
5627A-DIA-L
FLUKE CALIBRATION5627A-DIA-L Термометр сопротивления платиновый
-
ROSEMOUNT
Rosemount 1495 Диафрагма измерительная
-
-
Rosemount2210
-
-
МастерФлоуМФ-2 Р В Ду32
-
-
A4340BS0008
-
-
SFAW-100T-X-E-PNLK-PNVBA-M12
-
KOBOLD
DVZ-4 Расходомер вихревой
-
-
CoriolisMasterFCB450-A2A1025R2
-
-
SensyMasterFMT250Y0H3A2G2T1M2B
-
-
SensyMasterFMT450Y0C1A3G2
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-DB122
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.R.0350
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.A.0050
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.F.2200
-
-
FXF2000(COPA-XF)DF23Q
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.003.P.5
-
-
ProcessMaster600FEP631.A1.D1.0125
-
-
ProcessMaster600FEP631.A1.D2.0750
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P2.0065
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
TorbarFPD350.T4.E2.602
-
-
VortexMasterFSV430.B1.C1.W100R0
-
-
VortexMasterFSV450.S2.R1.W150R0
-
-
VA MasterFAM544C4A4S2
-
-
GOLDSAP-4015D
-
-
-
FCIV016P3X0085M
-
-
FLSM9.02.15
-
-
65116607
-
-
00000007279
-
-
IB5804002
-
-
SM8604
IFM ELECTRONICSM8604 Датчик потока для жидких сред
-
-
ПРЭМ-20 ГСКл. А12/24В
-
-
ПРЭМ-65 ГСКл. E12/24В Bt
-
-
ПРЭМ-300 ГФКл. C1L0/-/F
-
-
РМ-1К3Л-RS232-1600ФЛ
-
-
7201363