Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
TECFLUID
6001 Ротаметр стеклянный
-
TECFLUID
AM-500 Ротаметр металлический
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
PRESSOL
12655810 Шланг
-
PRESSOL
12755 Шланг
-
PRESSOL
13085003 Переходник
-
-
PRESSOL
23154 Шланг для биодизеля
-
PRESSOL
23225 Арматура соединительная
-
PRESSOL
25662 Шланг заборный
-
ТЕХПРИБОР
РП-02-1,6-ЖУЗ Ротаметр пневматический
-
ТЕХПРИБОР
РПФ-03-16-ЖУЗ Ротаметр пневматический
-
-
-
-
YOKOGAWA
ROTA RAQN02 Ротаметр пластиковый
-
-
-
-
-
Rosemount585M
-
ТЕХНО-АС
Лебедь КР-06 Расходомер жидкости
-
-
МастерФлоуМФ-5 В Ду15
-
-
МастерФлоуМФ-5.2 Б Ду25
-
ТЕХПРИБОР
РМ-04-6,3-ГУЗ (450мм) Ротаметр
-
-
-
-
-
-
KTC-10-TF-FG-VI-DIN
-
-
KTC-65-PP-FG-VI-DIN
-
-
MC-262M
FOTEKMC-262M Счетчик цифровой
-
-
MFE600интеллект
-
-
MagFlow1300