МПРП-100 FS 11 Реле потока калориметрическое
Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
МЕРАПРИБОР
-
-
-
-
-
-
-
ELETTA
TIVG 80F-1 Индикатор потока
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ТЕХПРИБОР
РМ-06-25 ГУЗ Ротаметр
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-6209 Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCH330-S2A2080R1
-
-
CoriolisMasterFCH350-A2A2025R2
-
-
CoriolisMasterFCH450-F2A2080R1
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC27A3
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.F.2100
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.V.0065
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.R.0080
-
-
FSM4000-SE21XN01
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.020.P.5
-
-
HygienicMasterFEH500FEH515.032.P.1
-
-
ProcessMaster600FEP612.Y0.P1.F.0125
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
WaterMasterFEW385.040
-
-
FET321-1B0A1Y4C1
-
-
FET321-3A0A1C3B1
-
-
FET432-RY0
-
-
FET525-1B0A1Y
-
-
SRV500-H0A1B1YOYOYM5
-
-
VortexMasterFSV430.F3.C2.W080R0
-
-
VortexMasterFSV450.N3.R2.W080R0
-
-
Purgemaster10A610010A6134AB2G
-
-
FSIV025T1M0450
-
-
ODBC032
-
-
ПРЭМ-80 ГФКл. А12/24В Bt
-
-
ПРЭМ-80 ГФКл. A112/24В (К0)
-
-
ПРЭМ-40 ГФКл. B112/24В Bt
-
-
42.00.258s
-
-
StreamLux Расходомер