F-201CM-5K0 Регулятор расхода газа
Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
ТУРБУЛЕНТНОСТЬ-ДОН
Turbo Flow TFG-SM ду 400 Расходомер газа переносной
-
-
-
-
-
ЭЛЬСТЕР ГАЗЭЛЕКТРОНИКА
TRZ G1000/1,6 Ду200 У Счетчик газа турбинный
-
AQUAMETRO
VZF II 20 FL 180/25 Счетчик топлива
-
-
-
ELETTA
TIVG 300F-1 Индикатор потока
-
-
-
-
LIQUID CONTROLS
MSB-15 Расходомер механический
-
-
-
-
ЭЛЕКТРОН
ДРС.М-300 Датчик расхода воды
-
-
-
-
-
HONSBERG
TZ1M2-050EM Датчик потока лопастной
-
-
-
MCCROMETER
EA401 Датчик импульсов электронный
-
-
-
-
-
-
SFAM-90-10000L-TG112-2SA-M12
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB450-A1U1080R1
-
-
CoriolisMasterFCH350-A2Y0080R1
-
-
SensyMasterFMT430Y0P1A3G2D2
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.A.0200
-
-
FSM4000-SE41FH4F
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.025.P.1
-
-
HygienicMasterFEH500FEH511.111.P.5
-
-
ProcessMaster600FEP631.S1.D1.0020
-
-
ProcessMaster600FEP632.S1.A2.0750
-
-
FET121-1A0Y1A1M1
-
-
FET525-2C0R1Y
-
-
TorbarFPD350.T5.E1.706
-
-
FPD150.P3.A2.U1
-
-
StackFlowMasterFPD580FPD581.Y0.G3.
-
-
SwirlMasterFSS430.A4.C1.F050R0
-
-
SwirlMasterFSS430.S6.R2.F080R0
-
-
VortexMasterFSV430.N3.R2.W080R0
-
-
VortexMasterFSV450.A4.C1.F025R0
-
-
VortexMasterFSV450.N8.R2.F250R0
-
-
VortexMasterFSV450.S6.C1.F080R0
-
-
VA MasterFAM546A1Y0F1
-
-
FSIV032T5X0675
-
-
FSIV075P3X0165
-
-
FD-MZ100ATK
KEYENCEFD-MZ100ATK Блок измерительный