Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
KR-02-1000 kg Датчик нагрузки большой мощности
-
MARTENS ELEKTRONIK
FS222-1-4-1-00 Датчик потока жидкости роторный
-
-
-
-
-
-
-
EPM1
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-3201D Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB150-A2Y0050E1
-
-
CoriolisMasterFCB450-Y0U1050E1
-
-
SensyMasterFMT230Y0H3A4G2T1M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0C2B1G2T2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P2B2D3B1M2B
-
-
SensyMasterFMT450Y0P3A2D3
-
-
FXE4000(COPA-XE)-DE23V
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.050.P.5
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.040.P.5
-
-
ProcessMaster300FEP321-025
-
-
ProcessMaster300FEP321-700
-
-
ProcessMaster600FEP631.A1.D2.0800
-
-
ProcessMaster600FEP632.S1.A2.0500
-
-
FET125-1A0G1A2A1
-
-
FET525-1C0A1A
-
-
OriMasterFPD500-V40G1
-
-
FS4000-ST4A
-
-
SwirlMasterFSS430.B9.C2.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS430.F4.C1.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS430.S9.R1.F020R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F4.R1.F020R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S6.C2.F100R0
-
-
SwirlMasterFSS450.Y0.C1.F015R0
-
-
VortexMasterFSV450.F1.C2.W150R0
-
-
VA MasterFAM541A4Y0F2
-
-
VA MasterFAM544D2B1S2
-
-
FCIV016P1M0100M
-
-
FCIV025D0M0003M
-
-
FCIV025T1M0200
-
-
SV7150
IFM ELECTRONICSV7150 Датчик потока магнитно-индуктивный
-
-
ПРЭМ-20 ГФКл. A112/24В (К0)
-
-
ПРЭМ-40 ГСКл. D12/24В
-
-
668400-5G