Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
СПЕЦСИСТЕМА
ИСТОК-ПАР-07 Система учета пара
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
KS-01-50 kg Датчик высокой нагрузки
-
-
-
-
-
-
-
FLUKE CALIBRATION
5615-6-A Термометр сопротивления платиновый
-
FLUKE CALIBRATION
5616-12-P Термометр сопротивления платиновый
-
-
-
-
KOBOLD
REG-3216D Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB150-F2Y0080E1
-
-
CoriolisMasterFCB450-F1U1150R2
-
-
CoriolisMasterFCH330-F1A1050R0
-
-
CoriolisMasterFCH350-S2Y0050R0
-
-
SensyMasterFMT430Y0C1A3D3S2
-
-
SensyMasterFMT430Y0C2A1D3D2
-
-
SensyMasterFMT450Y0C2A2F1
-
-
SensyMasterFMT450Y0P3B1D3
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.006.P.1
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.S2.1200
-
-
ProcessMaster600FEP631.Y0.S1.2000
-
-
FET321-3A0A1C4B1
-
-
FET321-4C0A1Y3C1
-
-
FET525-3A0A1B
-
-
FPD150.P1.A2.C3
-
-
VortexMasterFSV430.A4.C2.F250R0
-
-
VortexMasterFSV430.F3.C1.W050R0
-
-
VortexMasterFSV430.N2.R1.F250R0
-
-
VortexMasterFSV430.S1.R2.F200R0
-
-
VortexMasterFSV450.F8.R1.W040R0
-
-
Purgemaster10A610010A6133MB1H
-
-
FCIV020P1M0100
-
-
FCIV025T3M0060M
-
-
FCIV032P5X0125
-
-
FCIV032T5M0015
-
-
FCIV032T5M0260M
-
-
FSIV025P5X0350M
-
-
FSIV032T3M0100M
-
-
FSIV050T2M1500M
-
-
ПРЭМ-32 ГСКл. D12/24В
-
-
923508-500MG
-
-
HAK31080-6T
METAL MASTERHAK31080-6T Датчик кодовый электромагнитный