Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
BRONKHORST
F-111AI Расходомер газа промышленный
-
BRONKHORST
D-6371/003AI Регулятор расхода газа
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
HONSBERG
TS-1M015 Тройник для датчика потока
-
PRESSOL
12755819 Шланг
-
PRESSOL
23177952 Трубка заборная
-
HENKE SASS WOLF
DW-T-15 Реле потока
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-A2A1100E1
-
-
CoriolisMasterFCB330-S2A2150R2
-
-
CoriolisMasterFCB450-A1Y0050R0
-
-
CoriolisMasterFCB450-Y0A1080R1
-
-
CoriolisMasterFCH430-A2U1050R0
-
-
SensyMasterFMT250Y0H3A1F1B2M2B
-
-
SensyMasterFMT450Y0P2B4F1
-
-
FSM4000-SE41FS4F
-
-
FSM4000-SE41FZ2H
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.004.P.1
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.F2.A2.0
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A2.0020
-
-
ProcessMaster600FEP632.S2.A1.0750
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.A1.0080
-
-
WaterMasterFER181.300
-
-
FET105-1A0M1A1G1
-
-
FET321-1B0A1Y2C1
-
-
FET321-1C0A1B2B1
-
-
FET321-2C0A1B2C1
-
-
FET525-3C0L1C
-
-
SwirlMasterFSS430.N3.R2.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S8.R1.F150R0
-
-
SwirlMasterFSS450.Y0.C2.F100R0
-
-
VortexMasterFSV430.F3.R2.W080R0
-
-
VortexMasterFSV430.S8.C2.W050R0
-
-
VortexMasterFSV430.Y0.C2.F050R0
-
-
VortexMasterFSV450.F3.C1.F100R0
-
-
VortexMasterFSV450.F8.R2.W150R0
-
-
VortexMasterFSV450.F9.C1.F300R0
-
-
FSIV050P1X4000
-
-
FSIV075D0M0140
-
-
FLS PH431CD
-
-
BIFXM020012F
-
-
РДЭ-Пл-10-2.2
EXTRA АКВАКОНТРОЛЬРДЭ-Пл-10-2.2 Реле давления воды электронное для полива