Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
ПРОМПРИБОР
СЖ-ППВ-100/6,4-СУ Счетчик жидкости винтовой
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
PRESSOL
23295 Счетчик цифровой NEF
-
PRESSOL
23155979 Шланг для дизтоплива
-
-
-
MCCROMETER
TR04-2 Датчик импульсов электронный
-
-
-
МастерФлоуМФ-2 В Ду40
-
-
-
-
-
-
Flow-X/P
-
-
CoriolisMasterFCB330-F1A2080R1
-
-
CoriolisMasterFCB350-S1A1015R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-A2U2150R2
-
-
CoriolisMasterFCB450-A2A1150E2
-
-
CoriolisMasterFCB450-F1A1025R0
-
-
CoriolisMasterFCB450-F2A2080E1
-
-
CoriolisMasterFCH150-A2Y0080R1
-
-
CoriolisMasterFCH450-F1A2080R0
-
-
SensyMasterFMT250Y0P1B3F1T2M2B
-
-
SensyMasterFMT430Y0P1A3G2D2
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.F.9999
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.A2.A2.0
-
-
ProcessMaster600FEP612.Y0.P2.F.0080
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.S1.1500
-
-
WaterMasterFEW315.351
-
-
FET321-4A0A1B2B1
-
-
S4-AKA02110
-
-
TorbarFPD350.H8.E1.002
-
-
TorbarFPD350.L7.E2.400
-
-
SwirlMasterFSS430.S1.C1.F032R0
-
-
SwirlMasterFSS450.Y0.C2.F150R0
-
-
VortexMasterFSV450.S1.R1.F300R0
-
-
PurgemasterFGM6100-A6124C
-
-
PurgemasterFGM6100-A6184B
-
-
VA MasterFAM541F2F4F1
-
-
VA MasterFGM1190-97D10A11.97.X.A.1
-
-
FCIV032T3M0090
-
-
FSIV075T3X0012M
-
-
QBM17450
-
-
SWODBD140DN125
-
-
GASTROMIX Переключатель
GASTROMIXПереключатель MG-22B
-
-
KTX
-
-
ПРЭМ-50 ГФКл. B112/24В
-
-
ТЕРМОТРОНИК Участок
ТЕРМОТРОНИКУчасток присоединительный 125х100