D-16 Расходомер газа массовый
Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
-
-
-
-
-
-
-
PRESSOL
02854 Цилиндр насоса
-
-
-
-
-
-
-
ЛАПЛАС Установка
-
-
SFAB-200U-HQ10-PNLK-PNVBA-M12
-
-
SFTE-5U-M5F-B-2.5K
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB130-Y0Y0015R1
-
-
CoriolisMasterFCB330-S2Y0100R2
-
-
CoriolisMasterFCB350-A2A2015E1
-
-
CoriolisMasterFCB350-Y0A1100R2
-
-
CoriolisMasterFCB450-F1A1050R1
-
-
CoriolisMasterFCH330-A1A2050R1
-
-
SensyMasterFMT250Y0C2B2F1T1M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P3A2F1B1M2B
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-1E122
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.F.0125
-
-
FSM4000-SE21EP08
-
-
FSM4000-SE41FC5H
-
-
FSM4000-SE41FE2F
-
-
FSM4000-SE41FE4F
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.050.P.5
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.F1.A1.0
-
-
ProcessMaster600FEP631.S1.D1.2000
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A1.1500
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A1.0300
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A2.0300
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P1.1200
-
-
WaterMasterFEW325.100
-
-
TorbarFPD350.T5.E2.504
-
-
FPD150.P1.A1.E3
-
-
SwirlMasterFSS430.B8.R1.F100R0
-
-
SwirlMasterFSS430.B9.R1.F080R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N8.C2.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.Y0.C1.W050R0
-
-
VortexMasterFSV450.B9.C2.F050R0
-
-
VortexMasterFSV450.F3.C2.F050R0
-
-
VortexMasterFSV450.N8.C2.F100R0
-
-
VortexMasterFSV450.Y0.C2.F050R0
-
-
Purgemaster10A610010A6134NB1D
-
-
VA MasterFAM545E2F4F1
-
-
FCIV025T1M0200M
-
-
FLSF3.05.06
-
-
BIRXC032100F
-
-
ZZ0432
IFM ELECTRONICZZ0432 Датчик потока магнитно-индуктивный
-
-
A553 0166
-
-
ATC-2N-50-08-RS
-
-
КРОНВУЗ Автомобиль-мастерская