Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
BROOKFIELD
T-E Шпиндель измерительный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ТЕХПРИБОР
РПФ-02-6,3-ЖУЗ Ротаметр пневматический
-
-
-
-
-
-
-
5622-05-J
FLUKE CALIBRATION5622-05-J Термометр сопротивления платиновый
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB350-F1A2100R2
-
-
CoriolisMasterFCB450-Y0U2100E1
-
-
CoriolisMasterFCH150-A2Y0025R2
-
-
CoriolisMasterFCH430-A1A2080E1
-
-
SensyMasterFMT250Y0H3A3F1T2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P3B2G2T1M2B
-
-
AquaMaster4FEW400FEW431.R.0600
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.V.2200
-
-
FSM4000-SE21KP03
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.A1.A1.0
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.A1.A2.0
-
-
ProcessMaster500FEP511-020
-
-
ProcessMaster600FEP632.S1.A2.0020
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.A2.1000
-
-
WaterMasterFEW315.200
-
-
FET301-1A0A9Z3E0
-
-
FET525-1C0P1A
-
-
FET525-3C0M1C
-
-
FET632.A1.W2.70.C.2
-
-
TorbarFPD350.H7.E1.302
-
-
TorbarFPD350.T5.E1.604
-
-
FPD160.F3.S1.C2
-
-
StackFlowMasterFPD580FPD585.M1.F4.
-
-
VortexMasterFSV430.S1.C1.W080R0
-
-
VortexMasterFSV450.F8.R1.F050R0
-
-
Purgemaster10A610010A6131FB1H
-
-
VA MasterFAM544C3B1S2
-
-
VA MasterFAM544D1B1S2
-
-
ПРЭМ-80 ГСКл. E12/24В Bt
-
-
РМ-1К1Л-RS232-150СВ