Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
ЭЛЬСТЕР ГАЗЭЛЕКТРОНИКА
СГ16МТ-1600-Р-3 Счетчик газа турбинный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MCCROMETER
MLI1 Головка измерительная в сборе
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
SensyMasterFMT250Y0C2A3G2T2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0H3B1G2T1M2B
-
-
SensyMasterFMT450Y0H3A2G2
-
-
SensyMasterFMT450Y0P3A3F1
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02233011
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-7D112
-
-
FSM4000-SE21FP32
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.065.P.5
-
-
ProcessMaster300FEP325-250
-
-
ProcessMaster600FEP632.S2.A2.0500
-
-
ProcessMasterWaferFEM610
-
-
FET101-1A0G1F2A1
-
-
FET101-1A0P1D2A1
-
-
FET321-3B0A1A4B1
-
-
SwirlMasterFSS450.S6.C2.F400R0
-
-
VortexMasterFSV450.F3.C1.W100R0
-
-
VortexMasterFSV450.N8.C1.F300R0
-
-
FCIV032P2M0900M
-
-
ВИС.Т2-ТС-03
-
-
00-00005380