Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
PRESSOL
18022 Шланг для смазки
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB130-Y0Y0025E1
-
-
CoriolisMasterFCB330-F1A2150E2
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC21T2
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC23O4
-
-
SensyMasterFMT430Y0C1A3G2D1
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02133011
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-HB122
-
-
AquaMaster3FEV200FEV271.150
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.A.1100
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.F.P050
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.080.P.5
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.004.P.1
-
-
ProcessMaster300FEP315-002
-
-
ProcessMaster500FEP525-801
-
-
ProcessMaster600FEP611.Y0.V1.F.0900
-
-
ProcessMaster600FEP631.A1.D2.0008
-
-
ProcessMaster600FEP631.S1.D2.0300
-
-
ProcessMaster600FEP631.Y0.D1.1500
-
-
ProcessMasterWaferFEM610
-
-
FET321-1A0A1C2C1
-
-
FET321-3A0A1Y3C1
-
-
PitoMasterFPD550-V2.100.L.S6
-
-
1330L Z03
-
-
SwirlMasterFSS430.A9.R1.F025R0
-
-
SwirlMasterFSS430.S8.C2.F100R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F4.C1.F200R0
-
-
VortexMasterFSV430.F4.C2.F050R0
-
-
VortexMasterFSV430.S1.C1.W040R0
-
-
VortexMasterFSV450.B8.R2.F080R0
-
-
VortexMasterFSV450.N1.C1.F025R0
-
-
Purgemaster10A610010A6131CB1B
-
-
Purgemaster10A610010A6133MB1D
-
-
PurgemasterFGM6200-A6234A
-
-
VA MasterFAM544D1A9S2
-
-
FLSF6.30.07
-
-
DIS-G, 1-D2-D, W-H