Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
ПРОМПРИБОР
СЖ-ППТ-80-6,4 Счетчик жидкости турбинный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ТЭСМАРТ
ИД-И Датчик избыточного давления
-
MARTENS ELEKTRONIK
TA1010 Индикатор измерительный
-
VALCO
FPA-025GS Датчик потока
-
VALCO
ZV-015 Датчик потока
-
-
PRESSOL
04543 Сито
-
PRESSOL
12511 Туба со смазкой
-
PRESSOL
18028 Шланг для смазки
-
PRESSOL
19897 Клапан магнитный
-
-
PRESSOL
25606 Арматура для мочевины
-
PRESSOL
25615 Арматура для мочевины
-
-
ТЕХПРИБОР
РМФ-04-10-ГУЗ Ротаметр
-
-
-
-
-
-
-
-
ПРИБОР-М
РМС-2.5 ЖУЗ Ротаметр жидкостной
-
-
-
SPIRAX SARCO
M410 DN450 Расходомер с диафрагменной пластиной
-
-
МастерФлоуМФ-5 В Ду20
-
-
МастерФлоуМФ-10 Б Ду20
-
-
-
-
-
-
-
839E-DC1BA2A2D4
-
-
GASTROMIX Переключатель
GASTROMIXПереключатель для B 40C/B 30C 3Ф NEW
-
-
РДЭ-4Д-230-75-1/0-10
-
-
ЭБУН-6Д-4.0-85-10
-
-
БРД-ФН-3-2.5
EXTRA АКВАКОНТРОЛЬБРД-ФН-3-2.5 Реле управления насосом для фильтрации бассейнов безыскровое