Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
BRONKHORST
M54 Расходомер кориолисовый
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ТЕХПРИБОР
РМ-06-2,5 ЖУЗ Ротаметр
-
-
-
-
-
-
-
-
МастерФлоуМФ-5 В Ду150
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-F2A1050R1
-
-
CoriolisMasterFCB330-S2A1015R0
-
-
CoriolisMasterFCH450-A2U2080R0
-
-
SensyMasterFMT250Y0H3A2G2B2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P2A4D3T1M2B
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-FC121
-
-
AquaMaster3FEV200FEV221.150
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.040.P.5
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.006.P.1
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.A2.A1.0
-
-
ProcessMaster500FEP515-300
-
-
ProcessMaster600FEP631.S1.D1.0080
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P1.0350
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P1.0450
-
-
FET101-1A0M1Y1A1
-
-
FET121-1A0Y1A1G1
-
-
FET125-1A0Y1D1A1
-
-
CalMaster1V/CM1
-
-
OriMasterFPD500-М60G1
-
-
StackFlowMasterFPD580FPD585.M1.F3.
-
-
SwirlMasterFSS430.N2.C1.F015R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F4.C1.F100R0
-
-
VA MasterFAM541D2Y0F2
-
-
VA MasterFAM544C2F3S2
-
-
FCIV016P5X0040
-
-
QHVX020F
-
-
SM7100
IFM ELECTRONICSM7100 Датчик потока для жидких сред
-
-
ATC-2N-50-08-RS
-
-
MC-342
FOTEKMC-342 Счетчик цифровой
-
-
ACT1H100N0