Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
MICRO MOTION
CMFS040M Сенсор кориолисовый
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
РС950П-3726010
-
-
-
-
-
АРМ18-45.0219.000Ц
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB150-Y0Y0080R0
-
-
CoriolisMasterFCB330-S1Y0050R0
-
-
SensyMasterFMT230Y0H3A1D3B1M2B
-
-
SensyMasterFMT230Y0H3A3D3T1M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0C2A2D3T1M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P1B2D3B2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P3A3D3B2M2B
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-2D111
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.V.P070
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.R.0900
-
-
FXF2000(COPA-XF)DF23K
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.065.P.5
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.100.P.5
-
-
ProcessMaster600FEP631.A2.S1.0125
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.D2.0400
-
-
ProcessMaster600FEP631.S1.D1.0025
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.D2.0065
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P2.2000
-
-
WaterMasterFEW121.200
-
-
WaterMasterFEW325.040
-
-
WaterMasterFEW381.015
-
-
PitoMasterFPD550-M1.200.G.S6
-
-
SwirlMasterFSS450.F8.C2.F100R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S6.R1.F050R0
-
-
VortexMasterFSV450.F3.C2.F200R0
-
-
Purgemaster10A610010A6131EB2B
-
-
VA MasterFAM544A2B1S1
-
-
VA MasterFAM544E1B1S1