D-11 Расходомер газа массовый
Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
-
-
-
-
MICRO MOTION
CMF050H Сенсор кориолисовый
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
KS-04-20 t Датчик высокой нагрузки
-
-
-
-
ЭЛЕКТРОТЕХ
РЭМ-3 Расходомер электромагнитный
-
-
-
-
-
-
-
SensyMasterFMT230Y0C1A1F1B2M2B
-
-
SensyMasterFMT430Y0C1A3F1D2
-
-
SensyMasterFMT430Y0C2A1G2D1
-
-
AquaMaster3FER200FER221.200
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.A.0400
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.F.2000
-
-
AquaMaster4FEW400FEW431.A.P070
-
-
FSM4000-SE21BP80
-
-
FSM4000-SE21TP10
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.050.P.1
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.Y0.D2.0
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.Y0.S2.0
-
-
ProcessMaster600FEP631.A2.S2.0080
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.A1.0010
-
-
FET521-2B0R1A
-
-
FET632.F2.F2.70.A.2
-
-
IOMasterFPD510-M1.020.G.6
-
-
TorbarFPD350.T5.E2.107
-
-
SwirlMasterFSS430.A9.R1.F050R0
-
-
SwirlMasterFSS430.B8.C2.F400R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N1.C2.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.N2.C1.W080R0
-
-
VortexMasterFSV430.N3.R1.F025R0
-
-
VortexMasterFSV430.N8.R1.F150R0
-
-
VortexMasterFSV450.F3.R1.W050R0
-
-
VortexMasterFSV450.S2.C1.W100R0
-
-
Purgemaster10A610010A6132EB1H
-
-
PurgemasterFGM6100-A6152A
-
-
PurgemasterFGM6200-A6224B
-
-
FSIV050P3M1000M
-
-
SA4310
IFM ELECTRONICSA4310 Датчик потока для жидких сред
-
-
MN80597.602
-
-
ВИС.Т1-ВСДу 100