Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
ULB-Ex-03-100 Датчик нагрузки
-
MARTENS ELEKTRONIK
DF9648-1-00 Датчик расхода роторный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
5615-BEND-I
FLUKE CALIBRATION5615-BEND-I Термометр сопротивления платиновый
-
-
A190000009
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB130-F1Y0025E1
-
-
CoriolisMasterFCB350-A1Y0150R2
-
-
CoriolisMasterFCB450-Y0U1015R1
-
-
CoriolisMasterFCB450-Y0Y0150E2
-
-
SensyMasterFMT430Y0C1A4G2Y0
-
-
SensyflowFMT400-VTCSV14222-1600401
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-01111011
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-01112021
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-1D121
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.032.P.1
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.100.P.5
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.D1.0150
-
-
ProcessMaster600FEP631.Y0.D1.0900
-
-
ProcessMaster600FEP632.S1.A1.2000
-
-
WaterMasterFEF121.125
-
-
FET321-4C0A1Y3C1
-
-
FET521-4C0R1Y
-
-
FET525-1B0A1Y
-
-
FPD175.F5.100
-
-
SwirlMasterFSS430.F8.C1.F150R0
-
-
VortexMasterFSV430.F1.R2.F150R0
-
-
VortexMasterFSV430.F4.R1.F080R0
-
-
VortexMasterFSV430.Y0.C1.F040R0
-
-
VortexMasterFSV450.N3.R2.F050R0
-
-
ВИС.Т3 ВСДу 250 безиндикации