Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
BRONKHORST
D-6383/BJ-1 Регулятор расхода газа
-
-
-
-
-
АБАКАН
7КВИ ДУ 100 Расходомер
-
-
-
-
-
LIQUID CONTROLS
MSC-15 Расходомер механический
-
-
-
-
MCCROMETER
RG1 400 Датчик уровня дождя
-
-
-
-
-
-
МастерФлоуМФ-10Межфланцевый
-
-
YSRW-20-34
-
-
-
KOBOLD
REG-5202 Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB350-F2Y0050E1
-
-
CoriolisMasterFCB450-F1U2015E1
-
-
CoriolisMasterFCH430-F2A2080E1
-
-
SensyMasterFMT250Y0P1A4F1B2M2B
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.F.1800
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.R.0700
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.V.0300
-
-
FSM4000-SE21SP08
-
-
FXE4000(COPA-XE)-DE23Q
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.006.P.5
-
-
HygienicMasterFEH500FEH511.015.P.5
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.F1.A2.0
-
-
ProcessMaster300FEP311-032
-
-
ProcessMaster500FEP515-020
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.S1.0010
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.S2.0003
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A2.0040
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.A1.0032
-
-
WaterMasterFEW125.450
-
-
FET125-1A0Y1Y1A1
-
-
FET525-3C0M1B
-
-
FXC4000-55XC4.0.2.0
-
-
FPD150.P3.A2.E2
-
-
SwirlMasterFSS430.N1.C1.F032R0
-
-
SwirlMasterFSS450.A9.C1.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS450.B9.C2.F080R0
-
-
VortexMasterFSV430.B9.C1.W050R0
-
-
VortexMasterFSV430.N3.C1.W080R0
-
-
VortexMasterFSV430.N3.C1.W150R0
-
-
VortexMasterFSV430.N8.C1.W025R0
-
-
VortexMasterFSV450.F4.R1.W080R0
-
-
VortexMasterFSV450.F9.C2.F080R0
-
-
VA MasterFAM544D1A9S1
-
-
VortexFlow