Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
BROOKFIELD
SC4-25 Шпиндель измерительный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
PR9648 Индикатор производительности
-
-
-
ПРИБОР-М
РМС-02-0.016 ЖУЗ Ротаметр жидкостной
-
-
-
5628-15-A
FLUKE CALIBRATION5628-15-A Термометр сопротивления платиновый
-
-
SFAH-0.1U-Q4S-PNLK-PNVBA-M8
-
-
-
-
MTT2-I-D-10+AMI
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB430-F1A1100R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-F1A2015E1
-
-
CoriolisMasterFCB450-A2U2100R2
-
-
SensyMasterFMT250Y0C1A3G2T1M2B
-
-
SensyMasterFMT430Y0P1A3G2S1
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-HE112
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.R.0300
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.V.1650
-
-
FSM4000-SE21PK01
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.008.P.5
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.A2.D2.0
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.F1.D1.9
-
-
ProcessMaster500FEP525-004
-
-
ProcessMaster600FEP631.F1.D2.0032
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.D1.0100
-
-
WaterMasterFEW311.100
-
-
FET105-1A0P1B2G1
-
-
FET121-1A0P1F1A1
-
-
FET325-3C0M1
-
-
PitoMasterFPD550-V1.100.L.C1
-
-
1330L Z25
-
-
VortexMasterFSV430.F4.C1.F250R0
-
-
VortexMasterFSV450.F3.C2.W150R0
-
-
VortexMasterFSV450.F8.C1.F040R0
-
-
997629
-
-
РМ-3К1Л-RS232-700СВ