Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS GP200
Код товара 623042Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GP200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
BRONKHORST
F-130MI Расходомер газа промышленный
-
BRONKHORST
MVM-060-PA Расходомер жидкостный магнитный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ГЛАВНЕФТЕСНАБ
УН-80 Узел наполнения
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.008.P.5
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.050.P.5
-
-
ProcessMaster600FEP611.Y0.V1.F.0350
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P2.0004
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
WaterMasterFEW381.125
-
-
FET321-4B0A1C3B1
-
-
TorbarFPD350.H6.E1.999
-
-
FPD150.P3.A1.C1
-
-
SwirlMasterFSS450.A9.R1.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F4.R1.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS450.Y0.C1.F015R0
-
-
VortexMasterFSV450.B9.C1.W150R0
-
-
VortexMasterFSV450.N3.R1.F100R0
-
-
VortexMasterFSV450.N3.R2.F080R0
-
-
VortexMasterFSV450.S1.C1.F080R0
-
-
VortexMasterFSV450.S2.C2.F050R0
-
-
VA MasterFAM541A3Y0F2
-
-
SensyTempIS R-iZV10646-1PA9
-
-
FSIV025T5M0145M
-
-
FSIV075T5M3800
-
-
FLSF3.01.H.10
-
-
00000006586
-
-
MN80597.1
-
-
КАРАТ-523-С-СП-32-2-Т150-НП-RS