T-A Шпиндель измерительный
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
BROOKFIELD
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
S1010 Индикатор измерительный
-
MARTENS ELEKTRONIK
RC3-Ex-01-100 Датчик нагрузки большой мощности
-
MARTENS ELEKTRONIK
SB8-00-02-10-00 Датчик нагрузки лучевой
-
-
-
-
-
ТЕПЛОКОНТРОЛЬ
РР Затвор водяной для регулятора расхода
-
-
-
-
-
-
-
5606-CLEN-D
FLUKE CALIBRATION5606-CLEN-D Термометр сопротивления платиновый
-
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-92R402 Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCH350-F1A2025R2
-
-
CoriolisMasterFCH430-Y0Y0080R1
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC2Y3
-
-
SensyMasterFMT250Y0H3B1D3T1M2B
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02212021
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-DE132
-
-
AquaMaster4FEW400FEW431.V.0100
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.V.0350
-
-
ProcessMaster300FEP325-100
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A1.0750
-
-
WaterMasterFEW111.025
-
-
WaterMasterFEW385.351
-
-
FET321-1B0A1C4B1
-
-
SRV500-S2B1C1YOYOYM5
-
-
TorbarFPD350.T4.E2.902
-
-
FPD150.P2.A1.U2
-
-
SwirlMasterFSS430.Y0.C1.F400R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F3.R2.F100R0
-
-
VortexMasterFSV430.N1.R1.F025R0
-
-
VortexMasterFSV430.N2.R1.W100R0
-
-
PurgemasterFGM6200-A6272B
-
-
VA MasterFAM545B2F4F1