Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
ЭЛЬСТЕР ГАЗЭЛЕКТРОНИКА
TRZ G250/1.6 Ду80 Счетчик газа турбинный
-
ЭЛЬСТЕР ГАЗЭЛЕКТРОНИКА
SM-RI-X G1600 Расходомер-счетчик газа турбинный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ПРОМГАЗЭНЕРГО
ПУГ-Ш-40 Пункт учета расхода газа
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
SensyMasterFMT230Y0H3A4F1B1M2B
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02132031
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02133021
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.R.0700
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.R.1400
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.F.0300
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.F.0600
-
-
ProcessMaster300FEP315-010
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A2.0008
-
-
WaterMasterFEV121.150
-
-
WaterMasterFEW325.040
-
-
FET321-1B0A1Y4C1
-
-
FET321-2A0A1C2C1
-
-
PitoMasterFPD550-V2.250.S.S6
-
-
TorbarFPD350.T3.E2.125
-
-
WedgeMasterFPD570-M1.150.S
-
-
SwirlMasterFSS430.N9.C1.F020R0
-
-
VortexMasterFSV430.F3.C2.W100R0
-
-
VortexMasterFSV450.S2.R1.W025R0
-
-
VA MasterFAM544E4A9S2
-
-
FSIV025P3M0115
-
-
-
РУЗ 3-6,3-2