D-6211 Регулятор расхода газа
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
-
-
-
-
-
-
-
МЕРАПРИБОР
МПР-200 Расходомер жидкости электромагнитный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
KS-01-10 t Датчик высокой нагрузки
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
5608-9-A
FLUKE CALIBRATION5608-9-A Термометр сопротивления платиновый
-
-
5608-12-D
FLUKE CALIBRATION5608-12-D Термометр сопротивления платиновый
-
-
5650-20-B
FLUKE CALIBRATION5650-20-B Термопара
-
-
-
-
SFVZHDFM002
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-A2Y0080E1
-
-
CoriolisMasterFCH450-F1U1025R0
-
-
SensyMasterFMT230Y0C2A1F1B2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P2A3D3T2M2B
-
-
FXE4000(COPA-XE)-DE23F
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.065.P.1
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.100.P.1
-
-
HygienicMasterFEH610FEH611.Y0.V1.F
-
-
MagMasterLoflo MM/GE
-
-
ProcessMaster300FEP321-101
-
-
ProcessMaster600FEP631.A2.D1.0010
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.S2.0010
-
-
FET101-1A0G1D2A1
-
-
FET105-1A0Y1A2M1
-
-
FET321-3A0A1A3C1
-
-
FET412-BY0
-
-
PurgemasterFGM6100-A6153A
-
-
VA MasterFAM541E2F3F1
-
-
FCIV025T1M0350
-
-
FSIV040P1M1600M
-
-
FSIV063T3M4000
-
-
IB5804002
-
-
РМ-1К1Л-RS232-032РЗ
-
-
РМ-1К1Л-RS232-500РЗ