Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
BRONKHORST
F-141MI Расходомер газа промышленный
-
-
-
-
-
-
ЭЛЬСТЕР ГАЗЭЛЕКТРОНИКА
СГ75МТ-2500-Р-2 Счетчик газа турбинный
-
ЭЛЬСТЕР ГАЗЭЛЕКТРОНИКА
RVG G250 У Счетчик газа ротационный
-
ЭЛЬСТЕР ГАЗЭЛЕКТРОНИКА
Q.Sonic max DN 450 Расходомер газа ультразвуковой
-
-
-
-
-
-
-
HONSBERG
UR1-032HK Реле потока лопастное
-
HONSBERG
UZM3-032GM Датчик потока лопастной
-
-
-
-
-
-
-
-
PG001-PB
CAMOZZIPG001-PB Индикатор цифровой
-
-
МастерФлоуМФ-10Межфланцевый
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-S1Y0080R1
-
-
CoriolisMasterFCB430-A2A1025E1
-
-
CoriolisMasterFCH430-Y0A1050E1
-
-
SensyMasterFMT230Y0P1A4F1B1M2B
-
-
SensyMasterFMT450Y0C2A3D3
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-01143031
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-01223031
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-3B112
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.R.1800
-
-
AquaMaster4FEW400FEW431.F.1800
-
-
FSM4000-SE21BP20
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.D2.0004
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
WaterMasterFEF121.375
-
-
WaterMasterFEW125.015
-
-
FET321-4C0A1B3B1
-
-
FET525-2B0P1C
-
-
FET525-2B0P1Y
-
-
PitoMasterFPD550-M1.200.G.S6
-
-
FPD150.P1.A2.C1
-
-
SwirlMasterFSS430.N8.R1.F020R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F3.C1.F020R0
-
-
VortexMasterFSV430.N3.R1.F150R0
-
-
VortexMasterFSV430.S6.C1.F025R0
-
-
VortexMasterFSV450.B1.C2.F080R0
-
-
VortexMasterFSV450.N3.C2.W100R0
-
-
VortexMasterFSV450.N8.R2.F080R0
-
-
FSIV040P1M1000M
-
-
FLSF111.C.02
-
-
SI6600
IFM ELECTRONICSI6600 Датчик потока для жидких сред
-
-
KTC-25-TF-FG-VI-DIN