F-201CM-020 Регулятор расхода газа
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
BRONKHORST
C2I Клапан управления потоком жидкости
-
-
-
-
AQUAMETRO
VZO 25 FL 180/40 Счетчик топлива
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
HONSBERG
UR2-020AM Реле потока лопастное
-
-
-
-
-
-
-
TS515
-
-
SFAB-200U-HQ8-PNLK-PNVBA-M12
-
-
EAPR-E12-60
-
-
-
KOBOLD
REG-5225 Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCH350-A1A2050E1
-
-
CoriolisMasterFCH350-A2A1025R2
-
-
CoriolisMasterFCH350-A2A1080R1
-
-
SensyMasterFMT430Y0P1A1D3D1
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02213031
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-DE122
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.A.0350
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.F.1650
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.V.P050
-
-
AquaProbeFEA100FEA181-001G1S0N3K1A
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.040.P.1
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.008.P.5
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.S1.0700
-
-
FET325-1A0R1
-
-
FET525-4C0M1C
-
-
TorbarFPD350.H7.E1.401
-
-
TorbarFPD350.T4.E2.200
-
-
StackFlowMasterFPD580FPD585.M1.G5.
-
-
SwirlMasterFSS430.Y0.C1.F400R0
-
-
VortexMasterFSV430.N1.C2.F250R0
-
-
VortexMasterFSV450.F4.R2.F080R0
-
-
VortexMasterFSV450.F9.R1.W025R0
-
-
Purgemaster10A610010A6131NB1H
-
-
PurgemasterFGM6200-A6263B
-
-
FSIV025T2M0650M
-
-
FSIV050D1X2500M
-
-
FSIV050T3M1000
-
-
FSIV075T1X0020
-
-
FLSF6.30.06
-
-
ПРЭМ-50 ГФКл. B112/24В
-
-
ПРЭМ-100 ГСКл. А12/24В Bt
-
-
ПРЭМ-40 ГФКл. B112/24В
-
-
6855004146
EXTRA АКВАКОНТРОЛЬ6855004146 Блок реле для РПЖ-24FT/РПЖ-42FT (6 каналов, блок питания 24V)