Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
LIQUID CONTROLS
D-4160 Счетчик расхода механический 4-значный
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
RC3-Ex-04-7,5 Датчик нагрузки большой мощности
-
-
-
-
-
-
СТРАУС
S1013 Счетчик импульсов
-
-
SAMPI
MS75 Расходомер
-
-
-
-
-
СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ
МЕРАДАТ М10С4/1В/1Р Счетчик импульсов одноканальный
-
-
5615-SLEN-M
FLUKE CALIBRATION5615-SLEN-M Термометр сопротивления платиновый
-
-
5640-S
FLUKE CALIBRATION5640-S Термистор
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB450-A1A2150R0
-
-
CoriolisMasterFCB450-Y0U1015R1
-
-
CoriolisMasterFCH330-A1A1050E1
-
-
CoriolisMasterFCH450-A1U1025R2
-
-
SensyMasterFMT450Y0P3B2D3
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02212031
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-BB132
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.V.1200
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.F.0600
-
-
FSM4000-SE41FF32
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.025.P.5
-
-
MagMasterMF-E250
-
-
ProcessMaster300FEP321-065
-
-
ProcessMaster600FEP632.S2.A1.0025
-
-
ProcessMasterWaferFEM300
-
-
WaterMasterFEW385.900
-
-
SwirlMasterFSS430.F8.R1.F200R0
-
-
SwirlMasterFSS430.F9.R2.F050R0
-
-
SwirlMasterFSS430.N8.C2.F050R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S9.R2.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.B9.R1.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.F3.R1.F200R0
-
-
VortexMasterFSV430.F4.C1.F050R0
-
-
VortexMasterFSV430.N1.R1.F250R0
-
-
VortexMasterFSV430.N8.R2.F150R0
-
-
PurgemasterFGM6100-A6124C