Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
BRONKHORST
F-106BI Расходомер газа промышленный
-
-
-
-
-
ДАРКОНТ
СИД-2 Счетчик импульсов
-
-
-
-
-
-
-
-
-
LIQUID CONTROLS
MSAA-30 Расходомер механический
-
ЭЛЕКТРОН
1102.10.00.000 Плата индикации
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
МастерФлоуМФ-5 Б 2 Ду32
-
-
ПРОМПРИБОР Выход
-
-
-
-
-
-
WellTell IO
-
-
CoriolisMasterFCB430-F1Y0015R1
-
-
CoriolisMasterFCB450-A1A2150E2
-
-
CoriolisMasterFCB450-A1U2080R1
-
-
CoriolisMasterFCH430-A1U2050R1
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC23U3
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC26D1
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02141031
-
-
FSM4000-SE41FE2H
-
-
FSM4000-SE41FS7H
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.065.P.5
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A2.0300
-
-
ProcessMaster600FEP632.F1.A1.0150
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A1.0800
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
WaterMasterFEW125.050
-
-
FET321-3C0A1Y4C1
-
-
PitoMasterFPD550-V1.150.G.C1
-
-
TorbarFPD350.H7.E1.600
-
-
SwirlMasterFSS430.F3.R1.F015R0
-
-
SwirlMasterFSS430.S8.C1.F200R0
-
-
SwirlMasterFSS450.A9.C1.F020R0
-
-
VortexMasterFSV450.Y0.R1.F080R0
-
-
Purgemaster10A610010A6133EB1L
-
-
COOLEQ Датчик
-
-
ACT1C065F0
-
-
DIS-G, 1-D2-D, W-G