Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
AQUAMETRO
VZD 8 ECO Счетчик топлива
-
-
MICRO MOTION
CMF010M Сенсор кориолисовый
-
-
-
-
-
-
-
DELTA OHM
HDMS CCP RI Микрофон измерительный
-
-
-
HONSBERG
BL-015GK Индикатор потока шариковый
-
PRESSOL
23158859 Шланг для биодизеля
-
-
-
-
-
-
МастерФлоуМФ-2.2 Б Ду32
-
-
-
-
KOBOLD
REG-4101D Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB130-A2Y0015R1
-
-
CoriolisMasterFCB130-Y0Y0080R1
-
-
CoriolisMasterFCB330-F1A1050R0
-
-
CoriolisMasterFCB350-F2A1100R2
-
-
CoriolisMasterFCB430-Y0A2015R1
-
-
CoriolisMasterFCB450-F1A2050R0
-
-
CoriolisMasterFCB450-F2U2150R0
-
-
CoriolisMasterFCH450-Y0Y0025R2
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC2E6
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.F.0450
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.A2.A2.0
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.Y0.P2.0
-
-
FET121-1A0P1F2G1
-
-
FET125-1A0P1D1A1
-
-
FET125-1A0Y1A1G1
-
-
FET321-4A0A1C2C1
-
-
FET325-3A0P1
-
-
PitoMasterFPD550-M1.600.S.S6
-
-
SwirlMasterFSS430.A9.R1.F040R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N8.R1.F020R0
-
-
VortexMasterFSV430.B1.R1.W050R0
-
-
VortexMasterFSV430.F9.R1.W100R0
-
-
VortexMasterFSV430.S9.R1.F040R0
-
-
VortexMasterFSV430.S9.R1.F200R0
-
-
Purgemaster10A610010A6134MB2E
-
-
VA MasterFAM541A3A4F1
-
-
VA MasterFGM1190-98D10A11.98.X.A.1
-
-
FCIV032P1X1000M
-
-
FSIV032D1X0400
-
-
FSIV040P1X1600
-
-
ODB315
-
-
SF3405
IFM ELECTRONICSF3405 Датчик потока для жидких сред
-
-
KTC-15-TF-BU-VI-DIN