F-130M Расходомер лабораторный массовый
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MCCROMETER
McPropeller M0308F Расходомер пропеллерный
-
SPIRAX SARCO
M410 DN100 Расходомер с диафрагменной пластиной
-
-
FLUKE CALIBRATION
5615-12-P Термометр сопротивления платиновый
-
-
SFAB-50U-HQ6-2SV-M12
-
-
SFAM-62-1000L-TG12-2SV-M12
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-F2A2100R2
-
-
CoriolisMasterFCB450-A2A1050E1
-
-
CoriolisMasterFCH430-F2U1025R0
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-01123021
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02111011
-
-
FSM4000-SE21JP20
-
-
FXE4000(MAG-XE)-DE21F
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.065.P.5
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.040.P.1
-
-
ProcessMaster600FEP631.A2.S2.0010
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.S2.2000
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P1.0006
-
-
WaterMasterFEW181.032
-
-
FET101-1A0M1D2G1
-
-
FET321-4C0A1C3B1
-
-
FET325-3A0L1
-
-
FET325-4A0L1
-
-
FPD150.P2.A2.C3
-
-
StackFlowMasterFPD580FPD581.M1.G5.
-
-
SwirlMasterFSS430.A4.C2.F200R0
-
-
VortexMasterFSV430.A4.C1.W025R0
-
-
VortexMasterFSV430.N1.C1.W150R0
-
-
VortexMasterFSV430.N2.C2.F300R0
-
-
VortexMasterFSV450.F8.R2.F200R0
-
-
Purgemaster10A610010A6133AB2H
-
-
PurgemasterFGM6200-A6223D
-
-
VA MasterFGM1190-98D10A11.98.X.A.0
-
-
D50 1 1/2(231 00 9044)
-
-
FSIV025P1M0250
-
-
FSIV025T2M0650M
-
-
FSIV032T5M0130M
-
-
ПРЭМ-150 ГФКл. B112/24В
-
-
РМ-1К2Л-RS232-400РЗ
-
-
РМ-3К1Л-RS232-1400ФЛ