Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
BRONKHORST
L13 Расходомер жидкостный тепловой
-
BRONKHORST
F-202EI Регулятор расхода газа
-
-
-
-
-
-
-
-
TECFLUID
2300 Ротаметр стеклянный
-
-
-
-
-
PRESSOL
36703 Блок питания
-
PRESSOL
72050 Набор прокладок
-
MCCROMETER
Mc SpaceSaver Выпрямитель потока
-
-
ПРИБОР-М
РМС-0.4 ГУЗ Ротаметр газовый
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-S1A1015R0
-
-
CoriolisMasterFCB330-S2Y0015E1
-
-
CoriolisMasterFCB350-A2A1025E1
-
-
CoriolisMasterFCB350-Y0A1150R2
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC23W6
-
-
SensyMasterFMT230Y0C2A3G2T1M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P3A1G2B2M2B
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.V.0900
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.V.0080
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.R.1950
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.Y0.D1.0
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.F2.A1.0
-
-
ProcessMaster500FEP521-250
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.D2.0015
-
-
WaterMasterFEV185.080
-
-
FET321-4A0A1Y1C1
-
-
StackFlowMasterFPD580FPD581.Y0.G5.
-
-
SwirlMasterFSS430.F1.C1.F020R0
-
-
SwirlMasterFSS430.N9.R2.F200R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N8.C1.F040R0
-
-
VortexMasterFSV430.F8.C1.F025R0
-
-
VortexMasterFSV430.F9.R1.F050R0
-
-
VortexMasterFSV430.N2.R2.F150R0
-
-
VortexMasterFSV450.S6.R1.F150R0
-
-
VortexMasterFSV450.S8.C1.F025R0
-
-
Purgemaster10A610010A6133AB1B
-
-
PurgemasterFGM6100-A6193A
-
-
VA MasterFGM1190-97D10A11.97.X.A.1
-
-
FSIV025D0M0025
-
-
FSIV040T1M2500
-
-
FLSF3.05.12
-
-
QBM11200
-
-
MSKD2I
-
-
SL5204
IFM ELECTRONICSL5204 Датчик потока сжатого воздуха
-
-
ПРЭМ-32 ГСКл. B112/24В
-
-
РМ-1К1Л-RS232-700РЗ
-
-
РМ-2К2Л-RS232-200ФЛ