Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
CS INSTRUMENTS
VA 500 Standard Датчик-расходомер потока
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
FS222-5-4-1-00 Датчик потока жидкости роторный
-
-
-
ТЕХПРИБОР
РПФ-02-2,5-ЖУЗ Ротаметр пневматический
-
-
-
-
-
-
FLUKE CALIBRATION
5609-15-S Термометр сопротивления платиновый
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB350-A2A2015E1
-
-
CoriolisMasterFCH430-A2A2025R2
-
-
CoriolisMasterFCH430-F2A2080R0
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC23W5
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02112011
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.V.0080
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.V.1350
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.003.P.1
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.080.P.1
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.Y0.A1.0
-
-
OriMasterFPD500-V80S2
-
-
TorbarFPD350.L6.E1.125
-
-
FPD150.P1.S1.E1
-
-
SwirlMasterFSS430.S9.R1.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS450.A4.R1.F020R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N2.C1.F025R0
-
-
VortexMasterFSV430.F3.C1.W025R0
-
-
VortexMasterFSV430.F8.R1.W100R0
-
-
VortexMasterFSV430.N2.R2.W080R0
-
-
VortexMasterFSV430.S8.R1.F025R0
-
-
VortexMasterFSV450.N3.R1.W080R0
-
-
VortexMasterFSV450.N3.R2.F300R0
-
-
VortexMasterFSV450.N9.C1.F080R0
-
-
Purgemaster10A610010A6131NB1H
-
-
Purgemaster10A610010A6132MB2M
-
-
FCIV020T3M0034
-
-
FSIV040T5M0200M
-
-
ACT0H040A0