8010 Расходомер жидкостей
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BURKERT
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
LIQUID CONTROLS
LCMAG HMS600 Расходомер электромагнитный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB150-A1Y0050R0
-
-
CoriolisMasterFCB150-A1Y0100E1
-
-
CoriolisMasterFCB350-S2A1100R0
-
-
CoriolisMasterFCB450-A1Y0025E1
-
-
CoriolisMasterFCB450-F2A2025E1
-
-
CoriolisMasterFCH150-F2Y0080R1
-
-
CoriolisMasterFCH330-F1Y0080R1
-
-
CoriolisMasterFCH350-S1A1080R0
-
-
CoriolisMasterFCH430-Y0A1080R1
-
-
SensyMasterFMT430Y0H3A4F1S2
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-DA132
-
-
AquaMaster4FEW400FEW431.R.1950
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.032.P.5
-
-
ProcessMaster300FEP311-020
-
-
ProcessMaster600FEP612.Y0.P2.F.1200
-
-
ProcessMaster600FEP631.A2.D1.1500
-
-
ProcessMaster600FEP631.A2.D2.0300
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.S2.0450
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A1.0900
-
-
ProcessMaster600FEP632.S2.A1.0020
-
-
FET321-2A0A1A1C1
-
-
FPD160.F2.A1.E3
-
-
SwirlMasterFSS430.F8.R1.F200R0
-
-
FSIV025T1M0150
-
-
FSIV032T2M0230
-
-
SA5014
IFM ELECTRONICSA5014 Датчик потока для жидких сред
-
-
ПРЭМ-80 ГФКл. E12/24В (К0)
-
-
MC-SRL3-0340
-
-
MC-SRL6-0640
-
-
EASYPROTECTRadio
-
-
РМ-2К2Л-RS232-400РЗ
-
-
ТЕРМОТРОНИК Участок
ТЕРМОТРОНИКУчасток присоединительный 65х20
-
-
MagFlow1100