8010 Расходомер жидкостей
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BURKERT
-
-
-
AQUAMETRO
VZF II 25 RC 130/16 Счетчик топлива
-
-
-
-
-
-
ELETTA
TIVG 65F-4 Индикатор потока
-
-
-
-
-
-
PRESSOL
88851 Переходник
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-3205D Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB330-S1A2080E1
-
-
CoriolisMasterFCH330-S1A1025E1
-
-
CoriolisMasterFCH450-Y0U1025R2
-
-
SensyMasterFMT250Y0P1B1D3T2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P2A2F1B2M2B
-
-
SensyMasterFMT450Y0P2A2G2
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-01131011
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-GD132
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.A.1050
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.R.0100
-
-
FSM4000-SE41FC3H
-
-
FXE4000(MAG-XE)-DE21R
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.003.P.5
-
-
ProcessMaster600FEP632.S1.A1.0900
-
-
FET301-1A0A9Z4C0
-
-
FET525-1B0L1C
-
-
SRV500-S0B1C1YOYOYM5
-
-
WedgeMasterFPD570-M1.025.G
-
-
SwirlMasterFSS450.S8.R1.F200R0
-
-
VortexMasterFSV430.A4.C2.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.N2.R1.F100R0
-
-
VortexMasterFSV430.N9.C1.F200R0
-
-
VortexMasterFSV450.F1.C2.F200R0
-
-
Purgemaster10A610010A6133CB1H
-
-
FCIV025P5M0130M
-
-
FCIV032P2M0900M
-
-
FSIV032T5M0020
-
-
FSIV040T1X1600
-
-
COOLEQ Датчик
-
-
SQ0500
IFM ELECTRONICSQ0500 Датчик потока для жидких сред
-
-
ПРЭМ-20 ГСКл. A112/24В Bt
-
-
ПРЭМ-32 ГСКл. D12/24В
-
-
ТЕРМОТРОНИК Участок
ТЕРМОТРОНИКУчасток присоединительный 40х40
-
-
ТЕРМОТРОНИК Участок
ТЕРМОТРОНИКУчасток присоединительный 100х40