Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
KROMSCHRODER
DM 40R40-40 Расходомер с механическим отображением
-
-
-
-
-
5622-16-B
FLUKE CALIBRATION5622-16-B Термометр сопротивления платиновый
-
-
МастерФлоуМФ-2 Р Б Ду20
-
-
-
MHT-5U-O
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB430-A1U1150E2
-
-
CoriolisMasterFCH450-A2A1025R0
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC2E5
-
-
SensyMasterFMT250Y0C2B2F1T2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P1A3F1T1M2B
-
-
SensyMasterFMT432Y0W1G2B
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.R.0500
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.A.2400
-
-
FSM4000-SE21XP50
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.040.P.1
-
-
ProcessMaster600FEP612.Y0.P1.F.0003
-
-
WaterMasterFEF185.450
-
-
WaterMasterFEW325.999
-
-
TorbarFPD350.H8.E2.502
-
-
FPD150.P2.A2.C1
-
-
StackFlowMasterFPD580FPD583.M1.G5.
-
-
SwirlMasterFSS450.B8.R1.F032R0
-
-
SwirlMasterFSS450.Y0.C2.F080R0
-
-
VortexMasterFSV430.B8.R1.F200R0
-
-
SBY032
IFM ELECTRONICSBY032 Датчик потока магнитно-индуктивный
-
-
ПРЭМ-40 ГСКл. E12/24В