F-200CV Регулятор расхода газа
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
-
-
-
-
-
-
MICRO MOTION
CMFS050M Сенсор кориолисовый
-
-
ELETTA
TIVG 25F-3 Индикатор потока
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
SB8-Ex-02-250-01 Датчик нагрузки лучевой
-
SIKA
VKS04 Реле уровня
-
-
HONSBERG
UM3K-025VM Реле потока лопастное
-
PRESSOL
19694 Счетчик масла встраиваемый
-
-
-
-
ПРИБОР-М
РМС-0.25 ГУЗ Ротаметр газовый
-
-
DADE-MVC-420
-
-
-
-
KOBOLD
REG-4103D Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB150-F1Y0025R2
-
-
CoriolisMasterFCB330-A2A2080R1
-
-
CoriolisMasterFCB350-S1A2025E1
-
-
CoriolisMasterFCB430-F2U1080R1
-
-
CoriolisMasterFCH150-A1Y0025R2
-
-
SensyMasterFMT430Y0P1A3G2Y0
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-AA122
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-FE111
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.A.1600
-
-
FSM4000-SE41FF40
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.065.P.5
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.S2.0003
-
-
ProcessMaster600FEP631.Y0.D2.1800
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
FET101-1A0G1A2G1
-
-
PitoMasterFPD550-V2.350.G.C1
-
-
TorbarFPD350.T5.E1.007
-
-
WedgeMasterFPD570-V1.100.L
-
-
FPD190.R1.S1.Y0
-
-
ABB Сопло
-
-
SwirlMasterFSS430.S8.C2.F150R0
-
-
SwirlMasterFSS450.B8.R1.F050R0
-
-
VortexMasterFSV450.A4.C2.W100R0
-
-
VortexMasterFSV450.F9.R1.W050R0
-
-
Purgemaster10A610010A6132AB1H
-
-
D63 2 (23100 744 4)
-
-
FSIV050P5X2500
-
-
FSIV063P5M2500M
-
-
SV5504
IFM ELECTRONICSV5504 Датчик потока для жидких сред
-
-
GR40
-
-
TC-SRL1-1280
-
-
РМ-2К1Л-RS232-015ФЛ