Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
НПП АМ
Болт компенсаторный
-
-
-
-
VALCO
MR1KV-015 Датчик потока
-
VALCO
ZV-040 Датчик потока
-
-
HONSBERG
UR3K-050GK Реле потока лопастное
-
-
-
-
-
105x2, 5FKM 70красное
KROMSCHRODER105x2, 5 FKM 70 красное Кольцо уплотнительное
-
ПРОМА
LKB-01В Реле потока воды
-
-
МастерФлоуМФ-5.2 Б Ду200
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-4205D Регулятор потока
-
-
SensyMasterFMT250Y0C1B4F1B1M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P2A4F1B2M2B
-
-
SensyMasterFMT450Y0H3B2G2
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-01203031
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-1A132
-
-
AquaMaster3FEF200FEF251.250
-
-
AquaMaster3FEF200FEF251.400
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.F.1650
-
-
FSM4000-SE21VP40
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.015.P.1
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.S2.0150
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.D1.1200
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.S1.0750
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.S2.0600
-
-
ProcessMaster600FEP631.Y0.D1.0500
-
-
ProcessMaster600FEP632.A1.A1.1200
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A1.0600
-
-
ProcessMaster600FEP632.S2.A2.0004
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P2.0900
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
WaterMasterFEV191.040
-
-
WaterMasterFEW111.040
-
-
WaterMasterFEW311.201
-
-
FET321-1B0A1A2C1
-
-
SwirlMasterFSS430.N8.C1.F100R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N2.C2.F400R0
-
-
VortexMasterFSV430.N2.C1.F050R0
-
-
VortexMasterFSV430.Y0.C1.F300R0
-
-
Purgemaster10A610010A6133AB2J
-
-
FCIV032D1X0400
-
-
FSIV032T5M0050
-
-
KTC-100-TF-FG-VI-DIN