Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
НПП АМ
Фланец прижимной 10х17Н13М2Т
-
-
-
-
-
-
-
-
PRESSOL
23158859 Шланг для биодизеля
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB350-Y0A2050E1
-
-
CoriolisMasterFCB430-F2A1025R0
-
-
CoriolisMasterFCB450-A2A2100E1
-
-
CoriolisMasterFCB450-F2A1080R0
-
-
CoriolisMasterFCH350-A1A1080E1
-
-
CoriolisMasterFCH350-S2A2025R2
-
-
CoriolisMasterFCH450-F1U2080E1
-
-
SensyMasterFMT250Y0C2A3D3B2M2B
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.F.1950
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.V.0150
-
-
AquaProbeFEA100FEA181-300G1S0N3J1A
-
-
AquaProbeFEA200FEA281-700G1S0N1J1A
-
-
FSM4000-SE21EP03
-
-
FSM4000-SE21QN01
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.010.P.1
-
-
HygienicMasterFEH500FEH515.100.G.1
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.Y0.A1.0
-
-
ProcessMaster600FEP612.Y0.P1.F.0008
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
WaterMasterFEF125.150
-
-
FET105-1A0M1D1A1
-
-
FET125-1A0Y1Y2M1
-
-
FET521-1B0A1B
-
-
FPD160.F1.S1.C2
-
-
SwirlMasterFSS430.F1.C1.F015R0
-
-
SwirlMasterFSS430.S8.C1.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.F4.C1.F100R0
-
-
VortexMasterFSV450.B9.R1.W050R0
-
-
VortexMasterFSV450.N1.R1.F300R0
-
-
VortexMasterFSV450.S1.C1.W040R0
-
-
Purgemaster10A610010A6134AB3G
-
-
PurgemasterFGM6200-A6264C
-
-
FCIV020T5M0055
-
-
FSIV025P5X0070
-
-
FSIV040T3X1900M