Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
BURKERT
8025T Расходомер жидкостей
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
PRESSOL
25652 Шланг соединительный
-
PRESSOL
72071 Набор прокладок для
-
-
-
KROMSCHRODER
DE 10R25-40B Расходомер с электронным отображением
-
-
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-0106 Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCH130-F1Y0025E1
-
-
SensyMasterFMT250Y0C2A3F1T2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P1A1F1T2M2B
-
-
SensyMasterFMT430Y0C1A4G2S1
-
-
SensyMasterFMT450Y0P1A4F1
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-EA121
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.080.P.1
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.010.P.5
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.A2.S2.0
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.D2.0150
-
-
ProcessMaster600FEP632.F1.A1.0032
-
-
FET521-2B0R1A
-
-
OriMasterFPD500-М30L1
-
-
TorbarFPD350.T4.E2.203
-
-
WedgeMasterFPD570-M1.040.G
-
-
SwirlMasterFSS450.Y0.R2.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.A9.C1.F200R0
-
-
VortexMasterFSV450.F9.R2.F200R0
-
-
Purgemaster10A610010A6131FB1M
-
-
VA MasterFGM1190-97D10A11.97.X.P.0
-
-
FCIV025P2M0140
-
-
FSIV040P3M1700M
-
-
00000002596
-
-
ПРЭМ-80 ГСКл. C112/24В (К0)
-
-
РМ-1К1Л-RS232-500ФЛ