Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
BURKERT
S077+SE35B Расходомер жидкостей
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
5608-9-L
FLUKE CALIBRATION5608-9-L Термометр сопротивления платиновый
-
-
-
TAP30M-W-HOOK-30М55
-
-
EAPR-S1-S-46-800/840-S
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB130-F2Y0015E1
-
-
CoriolisMasterFCB350-F1A1050R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-Y0U1015E1
-
-
CoriolisMasterFCH350-F1A1025R2
-
-
CoriolisMasterFCH450-F2A2080R0
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC21A1
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC21O2
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC26N1
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-EC112
-
-
AquaMaster3FER200FER271.600
-
-
FSM4000-SE21WK01
-
-
FSM4000-SE41FZ5H
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.Y0.P2.0
-
-
FET121-1A0Y1B2G1
-
-
TorbarFPD350.H8.E2.400
-
-
SwirlMasterFSS430.N8.C2.F200R0
-
-
SwirlMasterFSS430.Y0.C1.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.F9.R2.W050R0
-
-
VortexMasterFSV430.S1.R1.F200R0
-
-
VortexMasterFSV450.B8.C1.W040R0
-
-
VortexMasterFSV450.F1.R1.F300R0
-
-
VortexMasterFSV450.F8.C1.W150R0
-
-
VortexMasterFSV450.N2.R2.W080R0
-
-
VortexMasterFSV450.Y0.R2.W100R0
-
-
Purgemaster10A610010A6131EB1L
-
-
GOLDSDP-1140D
-
-
FCIV020P5X0065
-
-
FSIV063P2M2300
-
-
SI0558
IFM ELECTRONICSI0558 Датчик потока для жидких сред
-
-
РМ-1К4Л-RS232-1800РЗ