Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
FS222-1-4-2-00 Датчик потока жидкости роторный
-
-
-
МФ Ду 50ППБ.754152.012-04(31737)
ПРОМПРИБОРМФ Ду 50 ППБ.754152.012-04 (31737) Прокладка
-
-
KOBOLD
REG-1211D Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB330-A2A2100R0
-
-
CoriolisMasterFCB350-A2A1080R1
-
-
CoriolisMasterFCB350-F2A1025R2
-
-
CoriolisMasterFCB430-A2Y0100R0
-
-
CoriolisMasterFCH330-S1A2050E1
-
-
CoriolisMasterFCH330-Y0A2025R0
-
-
CoriolisMasterFCH450-A2A2050R1
-
-
CoriolisMasterFCH450-F2Y0080R0
-
-
CoriolisMasterFCH450-Y0U1025R0
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC21A1
-
-
SensyMasterFMT250Y0C2A4F1B2M2B
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-4B111
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.R.0450
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.V.2000
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.A.P050
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.A.0150
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.V.0900
-
-
FSM4000-SE21QK01
-
-
ProcessMaster600FEP611.Y0.V1.F.0900
-
-
WaterMasterFEF181.001
-
-
WaterMasterFEV115.250
-
-
WaterMasterFEV185.050
-
-
FET125-1A0Y1Y2A1
-
-
FET321-3A0A1C3C1
-
-
FET412-RY0
-
-
FET525-2B0R1A
-
-
SwirlMasterFSS450.B1.R1.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N2.C1.F020R0
-
-
VortexMasterFSV450.A9.C1.W150R0
-
-
VortexMasterFSV450.B9.R1.F250R0
-
-
VortexMasterFSV450.N9.C1.F300R0
-
-
Purgemaster10A610010A6131MB2J
-
-
VA MasterFAM544B2Y0S1
-
-
VA MasterFAM544B3Y0S2
-
-
FCIV016D0M0001M
-
-
FCIV016T3M0017
-
-
FCIV020D1X0350M
-
-
FSIV075P3X0012M
-
-
FLSF3.00.P.02
-
-
ATC-VN-50-08-RS
-
-
KIC-PP-S
-
-
MC-261
FOTEKMC-261 Счетчик цифровой
-
-
LZS-15C с 1выключателем
-
-
LZDE-50