Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MICRO MOTION
CMFS050P Сенсор кориолисовый
-
MICRO MOTION
R050S Расходомер кориолисовый
-
-
-
-
-
-
-
ELETTA
TIVG 150F-2 Индикатор потока
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
ULB-00-05-500 Датчик нагрузки
-
-
-
СТРАУС
S1310-1 Счетчик импульсов
-
-
-
-
-
-
-
-
-
МастерФлоуМФ-5.2 В Ду200
-
-
-
EAPR-S1-S-46-300/340-S
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB450-F2Y0150R0
-
-
CoriolisMasterFCH350-A2A1050R0
-
-
SensyMasterFMT430Y0H3A4G2S2
-
-
FSM4000-SE41FH65
-
-
FSM4000-SE41FZ3H
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.080.P.1
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.020.P.1
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.Y0.D1.0
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.A1.A2.0
-
-
ProcessMaster300FEP321-500
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.D1.0750
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.D2.2000
-
-
ProcessMaster600FEP632.A1.A2.0020
-
-
ProcessMaster600FEP632.S1.A2.1600
-
-
WaterMasterFEF121.002
-
-
WaterMasterFEW185.125
-
-
FET521-2C0A1B
-
-
FET525-4C0M1A
-
-
TorbarFPD350.T1.F1.020
-
-
SwirlMasterFSS450.N8.C2.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.S2.R1.W040R0
-
-
VortexMasterFSV450.B1.R1.W040R0
-
-
ПРЭМ-40 ГСКл. E12/24В (К0)
-
-
ПРЭМ-150 ГФКл. DL0/T/F