КИ-2.2 Контроллер измерительный
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
ПРОМПРИБОР
-
BRONKHORST
FS-202CV Регулятор массового расхода
-
-
-
-
-
-
-
-
MICRO MOTION
DH150S Сенсор высокого давления
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
HONSBERG
UZP-015GM Датчик потока лопастной
-
-
-
-
-
-
ПРИБОР-М
РМС-А-0.004 ЖУЗ Ротаметр жидкостной
-
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-2212D Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB330-F1A1050E1
-
-
CoriolisMasterFCH350-S2A2080R1
-
-
CoriolisMasterFCH430-Y0A2050R0
-
-
CoriolisMasterFCH430-Y0A2080R0
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-AA122
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.F.0600
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.080.P.5
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.Y0.P2.0
-
-
ProcessMaster300FEP325-101
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.D2.0050
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.D2.1600
-
-
WaterMasterFEW311.020
-
-
FET121-1A0P1B2M1
-
-
FET125-1A0G1F2G1
-
-
VortexMasterFSV430.F3.R1.F200R0
-
-
VortexMasterFSV450.N2.R2.F200R0
-
-
VortexMasterFSV450.S9.C2.F080R0
-
-
Purgemaster10A610010A6131EB2L
-
-
FLSC100.1TC
-
-
QRAM100
-
-
KTF-080-V-O2
-
-
SC-362M
FOTEKSC-362M Счетчик цифровой
-
-
РДЭ-М-4Д-230-7-3
-
-
756741-1G