F-206AX Регулятор расхода газа
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
BRONKHORST
F-203AI Регулятор расхода газа
-
BRONKHORST
F-211AI Регулятор расхода газа
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
TECFLUID
6015 Ротаметр стеклянный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ТЕХПРИБОР
Поплавок ротаметра РМА
-
-
КТПТРL120-240
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Flow-X/K
-
-
CoriolisMasterFCB130-Y0Y0150E2
-
-
CoriolisMasterFCB450-A2U2080R0
-
-
CoriolisMasterFCB450-F1U2080R0
-
-
CoriolisMasterFCB450-F2A1050E1
-
-
CoriolisMasterFCH350-Y0A2050E1
-
-
SensyMasterFMT250Y0P3A4G2B1M2B
-
-
SensyMasterFMT450Y0H3A2F1
-
-
AquaProbeFEA200FEA281-500G1S0N3K1A
-
-
FSM4000-SE21WP65
-
-
FSM4000-SE21XP10
-
-
FXM2000(MAG-XM)-DM22F
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.032.P.1
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.100.P.5
-
-
ProcessMaster600FEP631.Y0.S1.0100
-
-
ProcessMaster600FEP632.A1.A1.0010
-
-
ProcessMasterWaferFEM610
-
-
FET101-1A0P1D2G1
-
-
SwirlMasterFSS430.F3.R2.F050R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F4.R1.F150R0
-
-
VortexMasterFSV430.B9.C1.W025R0
-
-
VortexMasterFSV430.F4.R2.W080R0
-
-
VortexMasterFSV450.N3.C2.F200R0
-
-
Purgemaster10A610010A6131AB2D
-
-
PurgemasterFGM6200-A6294B
-
-
FCIV020P3M0170
-
-
FSIV032T2M0370M
-
-
BIFXC050112F