Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
ELETTA
TIVG 65F-1 Индикатор потока
-
-
-
-
-
-
-
HONSBERG
VM-050EM300 Реле потока лопастное
-
-
-
-
-
-
-
СТ222.3708800
-
-
ВАРГ-35
-
-
-
-
-
KOBOLD
DVH-X Расходомер вихревой
-
-
CoriolisMasterFCB330-F2A2100E1
-
-
CoriolisMasterFCB430-A1A2150E2
-
-
CoriolisMasterFCB430-F2A1025R2
-
-
CoriolisMasterFCB450-F1A2015R1
-
-
SensyMasterFMT430Y0C2A2F1Y0
-
-
SensyMasterFMT430Y0H3A3D3D2
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.032.P.1
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.003.P.1
-
-
ProcessMaster600FEP612.Y0.P1.F.0050
-
-
ProcessMaster600FEP631.Y0.D1.0800
-
-
WaterMasterFEW311.040
-
-
FET121-1A0M1B2M1
-
-
FET321-1A0A1B3B1
-
-
WedgeMasterFPD570-M2.080.G
-
-
FPD160.F2.A2.C1
-
-
SwirlMasterFSS430.N2.C1.F032R0
-
-
SwirlMasterFSS450.A4.C1.F080R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F3.C1.F400R0
-
-
VortexMasterFSV430.B8.C1.F200R0
-
-
VortexMasterFSV430.N2.C1.F015R0
-
-
VortexMasterFSV430.S1.C2.W080R0
-
-
VortexMasterFSV450.A9.C1.W050R0
-
-
VortexMasterFSV450.B9.R1.F040R0
-
-
VortexMasterFSV450.F4.R1.F300R0
-
-
Purgemaster10A610010A6131MB1L
-
-
HM-308
-
-
FCIV020D1M0150
-
-
FCIV020P3M0125
-
-
FSIV063T2M4600M
-
-
AIRHOT Переключатель
AIRHOTПереключатель для rg-7 16
-
-
GASTROMIX Переключатель
GASTROMIXПереключатель MG-22B
-
-
S430
-
-
ПРЭМ-32 ГСКл. B112/24В (К0)
-
-
РМ-1К3Л-RS232-100ФЛ
-
-
РМ-1К3Л-RS232-700СВ