Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
END-ARMATUREN
AG111021 Кран шаровой двухходовой
-
END-ARMATUREN
MK311007-NE054100 Кран шаровой двухходовой с приводом
-
END-ARMATUREN
TA531107-ED620552 Затвор дисковый с пневмоприводом
-
END-ARMATUREN
TA532614-HE621632 Затвор дисковый с пневмоприводом
-
END-ARMATUREN
TA532916 Затвор дисковый поворотный
-
END-ARMATUREN
WM534612-OE621402 Затвор дисковый с пневмоприводом
-
-
END-ARMATUREN
MGAG2D331341430 Клапан электромагнитный 2/2-ходовой
-
END-ARMATUREN
MGAG2D333443420 Клапан электромагнитный 2/2-ходовой
-
END-ARMATUREN
MPAG2D131235450 Клапан электромагнитный 2/2-ходовой
-
END-ARMATUREN
RK333011 Клапан обратный
-
END-ARMATUREN
VB310028 Клапан обратный
-
END-ARMATUREN
EBKL2D310223050/01FL Клапан управления двигателем
-
END-ARMATUREN
C241014 Соединение поворотное двойное, D10-1/4
-
END-ARMATUREN
R271010 Соединение автоматическое штекерное D10
-
-
-
-
-
-
-
CP6219-0000-0020
-
-
С3350-0020
-
-
C6032-0070
-
-
EL3751-0024
-
-
BX5100
-
-
ET1815
-
-
FB1111-0142
-
-
AM8012-1C20
-
-
AM8042-4F20
-
-
AM8053-2NH1
-
-
AM8062-0LL0
-
-
AM8072-5T11
-
-
AM8073-1NG1
-
-
AM8073-3ULA
-
-
AM8073-4R4C
-
-
AM8074-0R10
-
-
AM8354-1RL0
-
-
AM8373-0TG1
-
-
AM8374-0XN0
-
-
AM8532-4H10
-
-
AM8543-4HI1
-
-
AM8551-5E20
-
-
AM8552-5NGB
-
-
AM8751-0GL0-3
-
-
AM8753-0KL3-2
-
-
ZK7000-0303-1008
-
-
ZK7208-3431-A060
-
-
TF6020-0284
-
-
DK3502
-
-
АИР 80 А2У2 IM 2181
-
-
АИМУР 132М2
-
-
СТР-124/1606
-
-
СП-853/707
-
-
СПС-224/1308Н
-
-
МВО-1,5МСВ-1,4П
-
-
СПС-934/1407Т
-
-
ВВГ-Пнг(А)-LS2х4,0(0,66кВ)
-
-
02.23.011354
-
-
02.23.304459