Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MICRO MOTION
CNG050S Сенсор кориолисовый
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
VLM20 VTP
SPIRAX SARCOVLM20 VTP Расходомер вихревой полнопроходной
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-A2A2100E1
-
-
CoriolisMasterFCB330-F1A1080R0
-
-
CoriolisMasterFCB330-S2Y0150E2
-
-
CoriolisMasterFCH330-F2A1080R0
-
-
CoriolisMasterFCH450-Y0A2050E1
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC2E6
-
-
SensyMasterFMT230Y0H3A3G2B2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0H3A2F1T1M2B
-
-
SensyMasterFMT430Y0C2A3F1S2
-
-
SensyMasterFMT430Y0C2A4D3S1
-
-
SensyMasterFMT450Y0C1B3F1
-
-
SensyMasterFMT450Y0P3A1D3
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-BC112
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.F.2000
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.R.1500
-
-
FSM4000-SE41FT3F
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.032.P.5
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.100.P.5
-
-
ProcessMaster300FEP321-010
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A2.0010
-
-
WaterMasterFEW381.001
-
-
FET521-4C0R1A
-
-
FET632.A1.F2.70.C.2
-
-
PitoMasterFPD550-V2.250.L.S6
-
-
FPD150.P1.A2.S2
-
-
StackFlowMasterFPD580FPD581.M1.F5.
-
-
SwirlMasterFSS430.Y0.C2.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F4.C1.F400R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S6.C1.F080R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S8.C2.F400R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S9.C1.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.S1.R2.W150R0
-
-
VortexMasterFSV450.B9.C1.F015R0
-
-
FAM5400-AM54173
-
-
Purgemaster10A610010A6133AB1B
-
-
ПРЭМ-50 ГСКл. А12/24В Bt