Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF200
Код товара 623038Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Серия GF200 - это первый полностью нечувствительный к давлению регулятор массового расхода на основе давления (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в полупроводниковом производстве.
GF200 Series P-MFC имеет запатентованную архитектуру, которая преодолевает ограничения обычных P-MFCS для обеспечения наиболее точной доставки технологического газа даже при доставке технологических газов с низким давлением пара. Он включает в себя несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик перепада давления в сочетании с нижестоящей архитектурой клапана, позволяющей наиболее точную подачу технологического газа в широком диапазоне условий эксплуатации в отрасли.
Поскольку серия GF200 поддерживает такой широкий диапазон условий процесса, ее можно использовать в качестве замены и обновления для многих традиционных P-MFCs и термальных MFCS. Это снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и датчики.
BROOKS

Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
АНАЛИТПРИБОР
ПР-7К Побудитель расхода
-
-
-
-
-
-
-
-
-
5615-SLEN-G
FLUKE CALIBRATION5615-SLEN-G Термометр сопротивления платиновый
-
-
-
KOBOLD
REG-1211D Регулятор потока
-
KOBOLD
REG-5102 Регулятор потока
-
KOBOLD
REG-5108 Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB330-A1Y0050R1
-
-
CoriolisMasterFCB330-F1A1150R0
-
-
CoriolisMasterFCB330-S1Y0050R0
-
-
CoriolisMasterFCB350-Y0A2025R0
-
-
SensyMasterFMT230Y0C1A1D3T2M2B
-
-
AquaMaster4FEW400FEW431.A.0050
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.V.9999
-
-
FSM4000-SE41FC9H
-
-
HygienicMasterFEH500FEH521.003.P.1
-
-
ProcessMaster500FEP511-003
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P1.0700
-
-
FET321-1A0A1A1B1
-
-
FET521-4B0R1Y
-
-
FET632.A2.W2.70.A.2
-
-
FPD150.P1.A2.E1
-
-
SwirlMasterFSS430.B8.R2.F050R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F3.R1.F015R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F8.C1.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.F8.C1.W080R0
-
-
VortexMasterFSV450.F3.C1.F040R0
-
-
VA MasterFAM541F1A9T1
-
-
65100432
ARISTON65100432 Трубка подачи газа
-
-
ПРЭМ-65 ГФКл. D12/24В