Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF126
Код товара 623037Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF126. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability - одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Высокая скорость потока |
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
55 slm - 300 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Нечувствительность к переходным процессам давления |
Возможность измерения давления на входе |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
HONSBERG
UR3K-020GK Реле потока лопастное
-
-
-
-
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-0208 Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB150-A2Y0025R2
-
-
CoriolisMasterFCB330-F1A1050R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-A1Y0100R2
-
-
CoriolisMasterFCB430-F1A2025R2
-
-
CoriolisMasterFCH450-A2A1080E1
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC23O5
-
-
CoriolisMasterFCM2000ME25
-
-
SensyMasterFMT250Y0P3B1D3B1M2B
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-01221011
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.F.0125
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.F.0125
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.A.2000
-
-
FSM4000-SE21TP15
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.003.P.5
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.008.P.5
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.Y0.P2.0
-
-
ProcessMaster500FEP515-101
-
-
ProcessMaster600FEP612.Y0.P2.F.0750
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
WaterMasterFEW121.065
-
-
FET105-1A0Y1Y2A1
-
-
FET521-4B0R1Y
-
-
FET632.Y0.W1.70.D.2
-
-
PitoMasterFPD550-V1.125.G.S6
-
-
SwirlMasterFSS450.F3.R1.F040R0
-
-
SwirlMasterFSS450.Y0.R1.F020R0
-
-
VortexMasterFSV430.B9.C1.F080R0
-
-
VortexMasterFSV430.Y0.R1.F150R0
-
-
VortexMasterFSV450.B1.C1.F050R0
-
-
VortexMasterFSV450.N3.R1.W040R0
-
-
VortexMasterFSV450.S6.C1.W150R0
-
-
PurgemasterFGM6100-A6164C
-
-
FSIV025P5M0095
-
-
FSIV040P2M1500
-
-
FLSM9.00.09
-
-
ПРЭМ-40 ГСКл. А12/24В Bt
-
-
ПРЭМ-32 ГСКл. B112/24В Bt
-
-
ЭБУНСтаб-3.8ПП-М
-
-
CG-150