Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF126
Код товара 623037Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF126. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability - одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Высокая скорость потока |
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
55 slm - 300 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Нечувствительность к переходным процессам давления |
Возможность измерения давления на входе |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
BRONKHORST
F-201CM-40K Регулятор расхода газа
-
-
-
-
-
MICRO MOTION
5700 Преобразователь электронный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
COMPOSIT
Узел всаса
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-F2Y0025R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-Y0U1080E1
-
-
SensyMasterFMT230Y0H3A3F1T2M2B
-
-
SensyMasterFMT230Y0P1A4G2B1M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P1A2G2T2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P2A1D3T2M2B
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-DD121
-
-
SensyflowFMT700-PCompact DN
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.004.P.1
-
-
HygienicMasterFEH500FEH525.004.P.1
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.A2.D2.0
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.F2.A2.9
-
-
ProcessMaster600FEP631.A2.S1.0750
-
-
ProcessMaster600FEP631.Y0.D2.0750
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A1.0010
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
FET101-1A0Y1Y1G1
-
-
FET521-2A0R1Y
-
-
TorbarFPD350.L7.E1.001
-
-
FPD190.R5.A2.Y0
-
-
VortexMasterFSV430.N8.C1.F200R0
-
-
VortexMasterFSV430.S8.R2.W080R0
-
-
VortexMasterFSV450.B1.C1.F080R0
-
-
VortexMasterFSV450.F4.R2.W050R0
-
-
VortexMasterFSV450.S8.R1.F015R0
-
-
Purgemaster10A610010A6131NB2D
-
-
PurgemasterFGM6100-A6123C
-
-
PurgemasterFGM6200-A6292B
-
-
FSIV075T1X0050
-
-
KTC-15-ST-BSTF-VI-DIN
-
-
SK-3D
FOTEKSK-3D Счетчик цифровой