Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF126
Код товара 623037Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF126. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability - одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS

Характеристики
Характеристика |
Значение |
---|---|
Дифференциатор |
Высокая скорость потока |
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
55 slm - 300 slm |
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
Точность |
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
Время отклика |
Нормально открытый |
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
Нечувствительность к переходным процессам давления |
Возможность измерения давления на входе |
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
ТЕРМОТРОНИК
ПИТЕРФЛОУ К20-12-A Расходомер электромагнитный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
DELTA OHM
HDMS CCP RI Микрофон измерительный
-
-
-
-
-
KROMSCHRODER
DE 250Z100-40B Расходомер с электронным отображением
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ТЕРМОТРОНИК
ПИТЕРФЛОУ К20-12-A Расходомер электромагнитный
-
-
-