Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF125
Код товара 623036Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF125. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
|
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
3 sccm - 55 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый 300ms - <700ms |
|
Время отклика |
Нормально открытый <1.5 sec |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Нечувствительность к переходным процессам давления |
±5% S.P. до 5 фунтов на квадратный дюйм / сек. спайк |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
МФ Ду 32ППБ.754152.012-02(31735)
ПРОМПРИБОРМФ Ду 32 ППБ.754152.012-02 (31735) Прокладка
-
-
SFAB-600U-HQ10-2SA-M12
-
-
-
CoriolisMasterFCB130-F1Y0080R0
-
-
CoriolisMasterFCB150-A2Y0050E1
-
-
CoriolisMasterFCB350-Y0A1080R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-A1A1150R2
-
-
CoriolisMasterFCB430-Y0Y0050R1
-
-
CoriolisMasterFCB450-F2U2150E2
-
-
CoriolisMasterFCH350-A1Y0080R0
-
-
CoriolisMasterFCH350-S1A1025R2
-
-
CoriolisMasterFCH430-F2U1050R1
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC26B1
-
-
SensyMasterFMT430Y0C1A4F1S1
-
-
SensyMasterFMT450Y0C2A2G2
-
-
AquaMaster3FEV200FEV271.125
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.V.1800
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.F.0150
-
-
AquaProbeFEA200FEA281-700G1S0N1K1A
-
-
FSM4000-SE21RP32
-
-
FSM4000-SE21SP06
-
-
FXF2000(COPA-XF)DF23X
-
-
HygienicMasterFEH500FEH515.032.P.5
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.A2.D1.0
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
FET325-3A0M1
-
-
FET525-4A0L1B
-
-
SRV500-H0A1C1YOYOYM5
-
-
IOMasterFPD510-M2.040.G.4
-
-
IOMasterFPD510-V1.020.G.6
-
-
TorbarFPD350.H8.E2.701
-
-
TorbarFPD350.T5.E1.106
-
-
SwirlMasterFSS430.F1.C2.F150R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N8.C2.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S8.R1.F015R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S8.R1.F032R0
-
-
VortexMasterFSV430.A9.C1.W080R0
-
-
VortexMasterFSV450.F4.C1.W050R0
-
-
VortexMasterFSV450.N9.C1.F015R0
-
-
VortexMasterFSV450.S6.C1.F080R0
-
-
Purgemaster10A610010A6134EB1E
-
-
FSIV025D1X0400M
-
-
FSIV063D1X6000
-
-
HC-51P
FOTEKHC-51P Счетчик цифровой