Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF125
Код товара 623036Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF125. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
|
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
3 sccm - 55 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый 300ms - <700ms |
|
Время отклика |
Нормально открытый <1.5 sec |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Нечувствительность к переходным процессам давления |
±5% S.P. до 5 фунтов на квадратный дюйм / сек. спайк |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
MICRO MOTION
F050P Сенсор универсальный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
HENKE SASS WOLF
DW-LM-65 Реле потока жидкости
-
HENKE SASS WOLF
DW-R-15 Реле потока
-
-
-
FLUKE CALIBRATION
5622-05-B Термометр сопротивления платиновый
-
-
SFAH-50U-Q6S-PNLK-PNVBA-M8
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB130-F2Y0050E1
-
-
CoriolisMasterFCB130-F2Y0050R0
-
-
CoriolisMasterFCB450-A2A2150R2
-
-
CoriolisMasterFCH150-A2Y0050R1
-
-
CoriolisMasterFCH330-S2A1050E1
-
-
CoriolisMasterFCH430-A1A2025R2
-
-
SensyMasterFMT230Y0H3A1G2T2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0H3A2D3B1M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0H3A2F1T2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P1A1D3B1M2B
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.F.0450
-
-
FSM4000-SE41FC7H
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.020.P.5
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.F2.A1.0
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.Y0.A1.0
-
-
MagMasterMF-F801
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.S1.0015
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.D1.1600
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
SwirlMasterFSS430.F1.C1.F150R0
-
-
SwirlMasterFSS430.S1.R2.F080R0
-
-
SwirlMasterFSS450.A4.C2.F400R0
-
-
VortexMasterFSV430.B9.C2.F200R0
-
-
VortexMasterFSV430.B9.C2.F250R0
-
-
VortexMasterFSV430.F9.C1.F080R0
-
-
VortexMasterFSV430.N8.C2.F200R0
-
-
VortexMasterFSV450.N1.C1.F080R0
-
-
VortexMasterFSV450.S1.R1.W100R0
-
-
FCIV032T5M0040
-
-
FSIV025D1X0640
-
-
FSIV040P5M0200M
-
-
FSIV050P3M1500
-
-
EPP1518-0002
-
-
ПРЭМ-150 ГФКл. А12/24В
-
-
926132-1G