Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF121
Код товара 623035Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF121. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability - одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
|
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
55 slm - 300 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
BRONKHORST
F-130M Расходомер лабораторный массовый
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
HONSBERG
OMNI-VHS-040 Реле потока винтовой
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB130-Y0Y0100R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-A1U2080R1
-
-
CoriolisMasterFCB430-F2Y0100E1
-
-
CoriolisMasterFCB450-A1A2150R0
-
-
CoriolisMasterFCH350-F1Y0080R0
-
-
CoriolisMasterFCH450-A1A2025E1
-
-
AquaMaster3FER200FER271.375
-
-
FSM4000-SE21VK02
-
-
ProcessMaster600FEP631.A2.S1.0800
-
-
ProcessMaster600FEP631.A2.S2.0020
-
-
WaterMasterFEW181.032
-
-
FET321-4C0A1C4C1
-
-
FET525-3B0L1A
-
-
PitoMasterFPD550-M1.150.L.C1
-
-
TorbarFPD350.T5.E2.407
-
-
FPD150.P3.S1.E3
-
-
SwirlMasterFSS450.N1.C1.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.F4.C2.W150R0
-
-
VortexMasterFSV430.F9.R2.F250R0
-
-
VortexMasterFSV430.S6.C1.F080R0
-
-
VortexMasterFSV450.A4.C2.W080R0
-
-
Purgemaster10A610010A6132MB1L
-
-
Purgemaster10A610010A6134AB4D
-
-
PurgemasterFGM6200-A6254C
-
-
VA MasterFAM541F3Y0T1
-
-
FCIV020T1X0050M
-
-
FSIV032P1X1000
-
-
ODB315
-
-
ПРЭМ-250 ГФ Кл.A1
-
-
ПРЭМ-150 ГФКл. C1L0/T/F