D-6361A/002BI Регулятор расхода газа
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF121
Код товара 623035Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF121. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability - одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS

Характеристики
Характеристика |
Значение |
---|---|
Дифференциатор |
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
55 slm - 300 slm |
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
Точность |
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
Время отклика |
Нормально открытый |
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
SP200(3439660)
-
-
5627A-CLEN-G
FLUKE CALIBRATION5627A-CLEN-G Термометр сопротивления платиновый
-
-
SFAB-200U-WQ10-2SA-M12
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-A2A1100E1
-
-
CoriolisMasterFCB430-A1U1150R2
-
-
CoriolisMasterFCB430-Y0A2100R2
-
-
CoriolisMasterFCH430-A2A2025E1
-
-
CoriolisMasterFCH450-F2A1080R0
-
-
SensyMasterFMT230Y0C2A3G2B2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P3A4D3T2M2B
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.R.P070
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.R.1500
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.F.0300
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.F.0050
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.100.P.5
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.A2.S1.0
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.F1.D1.0
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.F2.A2.0
-
-
ProcessMaster500FEP511-080
-
-
ProcessMaster600FEP632.S2.A1.0400
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P1.0500
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
FET125-1A0M1A1G1
-
-
FET125-1A0P1F1G1
-
-
FET125-1A0P1Y1A1
-
-
FET321-4C0A1C1B1
-
-
WedgeMasterFPD570-M1.150.L
-
-
SwirlMasterFSS430.N8.C1.F020R0
-
-
VortexMasterFSV430.A4.C1.F080R0
-
-
VortexMasterFSV430.N1.C1.W050R0
-
-
VortexMasterFSV430.N3.C1.F015R0
-
-
VA MasterFAM541D4Y0F1
-
-
ПРЭМ-80 ГСКл. DL2/-/F