F-210CI Регулятор расхода газа
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSL
Код товара 623034Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSL. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
4 - 25 sccm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35% |
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
-
-
MICRO MOTION
H100F Сенсор гигиенический
-
-
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
DP4824A Индикатор измерительный
-
MARTENS ELEKTRONIK
ULB-00-04-200 Датчик нагрузки
-
NUOVA FIMA
MGS9/1A0 Диафрагма резьбовая
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-0212 Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB150-F2Y0100R0
-
-
CoriolisMasterFCB350-F2A1100R0
-
-
CoriolisMasterFCB350-Y0A1080R1
-
-
CoriolisMasterFCB450-F2U1080R0
-
-
SensyMasterFMT430Y0C1A4D3D1
-
-
SensyMasterFMT452Y0R1G2A
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-7E131
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.R.0080
-
-
FSM4000-SE21PP10
-
-
FXE4000(COPA-XE)-DE23W
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.080.P.5
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.050.P.5
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.050.P.5
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.Y0.P2.0
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.D1.0300
-
-
IOMasterFPD510-M1.015.G.6
-
-
PitoMasterFPD550-M1.450.L.C1
-
-
SwirlMasterFSS430.N9.C2.F200R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N8.R1.F015R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N8.R2.F200R0
-
-
VortexMasterFSV430.F3.R1.W040R0
-
-
VortexMasterFSV430.N2.R2.F250R0
-
-
VortexMasterFSV430.N9.C2.F080R0
-
-
VA MasterFAM546F3Y0F1
-
-
FSIV032P1M0250
-
-
FSIV050T5X1900M
-
-
FSIV063T3X8500
-
-
AIRHOT Переключатель
AIRHOTПереключатель для pst-30-24
-
-
РМ-4К1Л-RS232-100ФЛ