FG-201CSP Регулятор расхода газа
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSL
Код товара 623034Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSL. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
4 - 25 sccm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35% |
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
VALCO
ZV-040 Датчик потока
-
-
HONSBERG
UR2-025VK Реле потока лопастное
-
-
YOKOGAWA
ROTA RAQN01 Ротаметр пластиковый
-
-
-
-
-
ТЕРМОТРОНИК
Фланец для расходомеров DN25
-
-
-
-
-
-
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-BD132
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-HD111
-
-
AquaMaster4FEW400FEW431.A.1200
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.F.0150
-
-
FSM4000-SE21PN01
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.F1.D2.0
-
-
ProcessMaster600FEP612.Y0.P2.F.0003
-
-
ProcessMaster600FEP631.A1.D1.1000
-
-
ProcessMaster600FEP631.A2.D1.0750
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.S2.0600
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A1.0600
-
-
ProcessMaster600FEP632.S1.A1.0004
-
-
ProcessMasterWaferFEM610
-
-
WaterMasterFEW111.015
-
-
FET321-2B0A1A1B1
-
-
FET412-LS1
-
-
FET521-4C0A1C
-
-
FET525-3B0M1C
-
-
FET632.F1.W2.70.C.2
-
-
IOMasterFPD510-V1.020.G.4
-
-
TorbarFPD350.H8.E1.500
-
-
SwirlMasterFSS430.N2.R2.F080R0
-
-
SwirlMasterFSS430.S2.R1.F032R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N9.R2.F080R0
-
-
VortexMasterFSV430.A4.C1.F015R0
-
-
VortexMasterFSV430.F3.R1.F100R0
-
-
VortexMasterFSV450.F4.R1.W080R0
-
-
VortexMasterFSV450.N2.R1.F050R0
-
-
VortexMasterFSV450.S2.R1.W100R0
-
-
FSIV025T3X0125
-