FG-200CV Регулятор расхода газа
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSL
Код товара 623034Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSL. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
4 - 25 sccm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35% |
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
BRONKHORST
F-107Z Расходомер газа тепловой
-
-
-
-
-
-
-
MICRO MOTION
CMFS015H Сенсор кориолисовый
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-1104D Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB430-A1Y0015R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-A1Y0100R2
-
-
CoriolisMasterFCH450-A1A1025E1
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.A.P070
-
-
FSM4000-SE41FZ1Q
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.040.P.1
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.040.P.5
-
-
ProcessMaster500FEP525-601
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A2.0150
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A1.0015
-
-
ProcessMaster600FEP632.S1.A1.0700
-
-
ProcessMasterWaferFEM610
-
-
WaterMasterFER121.100
-
-
FET125-1A0M1A1G1
-
-
PitoMasterFPD550-V2.350.S.S6
-
-
SwirlMasterFSS430.N9.R1.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N3.R1.F400R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S2.C1.F015R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S6.R2.F150R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S8.R1.F200R0
-
-
VortexMasterFSV430.N1.R1.W100R0
-
-
VortexMasterFSV430.S2.C1.F040R0
-
-
VortexMasterFSV430.S8.C2.F300R0
-
-
VortexMasterFSV450.F1.C2.F080R0
-
-
VortexMasterFSV450.N1.C1.W025R0
-
-
VortexMasterFSV450.N2.C1.W050R0
-
-
VortexMasterFSV450.N8.R1.W100R0
-
-
Purgemaster10A610010A6133AB1J
-
-
VA MasterFAM541B2Y0F1
-
-
FCIV032T5M0260M
-
-
FSIV032T5M0260
-
-
FSIV050T2M2000M
-
-
FSIV050T5M0800
-
-
FSIV063T3X8500M
-
-
SL0101
IFM ELECTRONICSL0101 Датчик потока сжатого воздуха