Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSL
Код товара 623034Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSL. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
4 - 25 sccm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35% |
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ELETTA
TIVG 80F-4 Индикатор потока
-
-
LIQUID CONTROLS
D-4190 Счетчик расхода механический 5-значный
-
-
-
-
-
PRESSOL
85778 Головка распылителя
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-6112 Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB330-S1A2025E1
-
-
CoriolisMasterFCB350-S2Y0080R1
-
-
CoriolisMasterFCB430-F2A2025E1
-
-
CoriolisMasterFCB430-Y0U1080R1
-
-
CoriolisMasterFCB450-A1A2100R0
-
-
SensyMasterFMT230Y0H3A4G2T1M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0C1B1G2B2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0C2A2F1B1M2B
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-4B111
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-5E131
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.R.1000
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.V.2000
-
-
ProcessMaster600FEP631.S1.D2.0065
-
-
ProcessMaster600FEP632.A1.A2.0900
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A2.0750
-
-
WaterMasterFEW325.600
-
-
TorbarFPD350.L6.E1.125
-
-
SwirlMasterFSS430.S2.C2.F100R0
-
-
SwirlMasterFSS450.A4.C2.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F8.C1.F200R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N2.R1.F015R0
-
-
VortexMasterFSV430.B1.C1.F150R0
-
-
VortexMasterFSV430.B9.R1.W080R0
-
-
VortexMasterFSV430.S6.R2.W150R0
-
-
VortexMasterFSV450.N8.C1.W025R0
-
-
Purgemaster10A610010A6133CB1H
-
-
-
KTC-25-PP-FG-VI-DIN
-
-
KTC-100-PVC-FG-VI-DIN
-
-
РМ-3К1Л-RS232-050РЗ