Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSL
Код товара 623034Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSL. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS

Характеристики
Характеристика |
Значение |
---|---|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
4 - 25 sccm |
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
Точность |
±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35% |
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
Время отклика |
Нормально открытый |
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
BROOKFIELD
LV-C3 Шпиндель измерительный
-
-
-
-
MICRO MOTION
CMFHC2Y Сенсор кориолисовый
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
HENKE SASS WOLF
DW-T-32 Реле потока
-
-
-
-
-
-
-
-
-
SFTE-1U-Q4-B-2.5K
-
-
KOBOLD
DZR-4 Расходомер шестеренный
-
-
CoriolisMasterFCH330-S1A1050E1
-
-
CoriolisMasterFCH350-A2A1025R0
-
-
CoriolisMasterFCH450-F1A1080E1
-
-
SensyMasterFMT250Y0P1B2F1T2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P3B2D3T2M2B
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.F.2100
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.004.P.1
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.080.P.5
-
-
ProcessMaster600FEP631.Y0.S2.0032
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A1.0040
-
-
PitoMasterFPD550-V2.300.G.C1
-
-
FPD150.P1.A2.L1
-
-
FPD212Фланец/сварнойшов
-
-
SwirlMasterFSS430.N8.C1.F400R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F1.C2.F150R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F1.R1.F040R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F4.C1.F400R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F4.R1.F032R0
-
-
VortexMasterFSV430.S9.R1.F250R0
-
-
Purgemaster10A610010A6131MB1J
-
-
PurgemasterFGM6100-A6134B
-
-
VA MasterFAM541C3Y0T1
-
-
VA MasterFGM1190-98D10A11.98.X.A.1
-
-
GOLDSAM-60120D
-
-
FSIV025T2M0420M
-
-
FSIV050P2M1500
-
-
FLSF6.30.05
-
-
00-00001466
-
-
COOLEQ Датчик
COOLEQДатчик для MC-08G -16
-
-
РКТУ-1
ПРИБОРЭНЕРГОРКТУ-1 Реле контроля изоляции (РКИ)
-
-
ПРЭМ-80 ГФКл. C112/24В Bt
-
-
РДЭ-Мастер-К-10-2.2