Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSD
Код товара 623033Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSD. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
|
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
>25 sccm - 1 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
TECFLUID
6013 Ротаметр стеклянный
-
-
-
-
-
PRESSOL
20132 Переходник, под ключ
-
PRESSOL
23226 Арматура соединительная
-
-
-
YOKOGAWA
ROTA RAQN02 Ротаметр пластиковый
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-F2A2050E1
-
-
CoriolisMasterFCB330-Y0Y0050R0
-
-
CoriolisMasterFCB350-F1A2100R2
-
-
CoriolisMasterFCB430-A1U1015R1
-
-
CoriolisMasterFCB430-F2U2080E1
-
-
CoriolisMasterFCB430-Y0A2150E2
-
-
CoriolisMasterFCB450-F2Y0150E2
-
-
CoriolisMasterFCB450-Y0A1150R2
-
-
SensyMasterFMT230Y0C1A2F1T1M2B
-
-
SensyMasterFMT430Y0P1A1D3D2
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-HB112
-
-
FSM4000-SE21XP06
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.004.P.5
-
-
HygienicMasterFEH500FEH511.080.P.1
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
FET101-1A0Y1D1A1
-
-
FET321-3A0A1Y3C1
-
-
TorbarFPD350.T3.E1.080
-
-
FPD160.F1.A1.E1
-
-
VortexMasterFSV430.S2.R2.F080R0
-
-
VortexMasterFSV430.S9.C1.F025R0
-
-
VortexMasterFSV450.B8.C1.F100R0
-
-
VortexMasterFSV450.F9.R2.W150R0
-
-
VA MasterFAM544E1A9S2
-
-
FCIV032D0M0027M
-
-
FSIV063T0M0100M
-
-
BIROM025034E
-
-
BIRXC032100E
-
-
MSE2N
-
-
AIRHOT Переключатель
AIRHOTПереключатель для pst-30-24
-
-
ПРЭМ-40 ГСКл. B112/24В Bt
-
-
LORA7201491