Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSD
Код товара 623033Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSD. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
|
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
>25 sccm - 1 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
ULB-00-05-5000 Датчик нагрузки
-
-
-
-
-
-
-
HENKE SASS WOLF
DW-T-20 Реле потока
-
-
SFAM-62-5000L-TG12-2SV-M12
-
-
-
-
KOBOLD
REG-0203 Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB330-F2Y0015R0
-
-
CoriolisMasterFCB450-A2A2015R1
-
-
CoriolisMasterFCH350-F1Y0025R0
-
-
CoriolisMasterFCH350-S2A2025R2
-
-
CoriolisMasterFCH350-Y0A2050E1
-
-
SensyMasterFMT250Y0C2A1D3B2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P1B3D3T1M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P2B3D3B2M2B
-
-
SensyMasterFMT430Y0C1A2F1D2
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.F.0400
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.R.0700
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.F.0500
-
-
AquaProbeFEA100FEA181-500G1S0N2J1A
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.008.P.1
-
-
ProcessMaster600FEP611.Y0.V2.F.0020
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.S1.0750
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.S1.1050
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A2.0025
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P1.1050
-
-
FET321-2B0A1B2B1
-
-
FET321-2C0A1A4C1
-
-
TorbarFPD350.T1.T1.050
-
-
SwirlMasterFSS430.N9.R2.F400R0
-
-
Purgemaster10A610010A6133CB1L
-
-
VA MasterFAM544F1A4S1
-
-
VA MasterFAM546A4Y0F1
-
-
FCIV016D1X0200
-
-
FCIV032D1X1000M
-
-
FCIV032P5M0015
-
-
FSIV050T2M1500M
-
-
FLSF3.01.C.01
-
-
FLSF3.01.H.02
-
-
FLSM9.02.W1
-
-
JAU Механизм