Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSD
Код товара 623033Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSD. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS

Характеристики
Характеристика |
Значение |
---|---|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
>25 sccm - 1 slm |
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
Точность |
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
Время отклика |
Нормально открытый |
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
ULB-00-01-5000 Датчик нагрузки
-
-
САРГАЗКОМ
ДИПД-1-10 Индикатор перепада давления
-
-
СТРАУС
S1502 Счетчик импульсов
-
-
-
-
-
-
-
-
KROMSCHRODER
VMO 2 D24 /B Расходомер со сменной вставкой
-
UNI-T
UT-H04 Датчик пассивный
-
-
5622-32-M
FLUKE CALIBRATION5622-32-M Термометр сопротивления платиновый
-
-
5624-20-B
FLUKE CALIBRATION5624-20-B Термометр сопротивления платиновый
-
-
5627A-CLEN-L
FLUKE CALIBRATION5627A-CLEN-L Термометр сопротивления платиновый
-
-
-
МастерФлоуМФ-5 Б 2 Ду300
-
-
МастерФлоуМФ-5.2 В Ду200
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB350-A2A1100R0
-
-
CoriolisMasterFCH330-A2A2025R0
-
-
CoriolisMasterFCH430-F1A2080R1
-
-
CoriolisMasterFCH430-F2Y0080R1
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC2Q4
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-01133031
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-4B112
-
-
AquaMaster4FEW400FEW431.F.0080
-
-
ProcessMaster500FEP515-065
-
-
ProcessMaster600FEP631.S1.D2.0125
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.S2.0125
-
-
ProcessMaster600FEP632.S1.A2.0900
-
-
WaterMasterFEF181.400
-
-
FET632.A2.F2.70.C.0
-
-
TorbarFPD350.T5.E1.106
-
-
TorbarFPD350.T5.E2.106
-
-
SwirlMasterFSS430.B9.C1.F200R0
-
-
SwirlMasterFSS430.F8.R1.F200R0
-
-
VortexMasterFSV430.A9.R1.W025R0
-
-
VortexMasterFSV430.S6.R1.F015R0
-
-
VortexMasterFSV430.Y0.C1.W025R0
-
-
PurgemasterFGM6100-A6142B
-
-
PurgemasterFGM6100-A6144D
-
-
PurgemasterFGM6200-A6291A
-
-
FSIV025T1X0250M
-
-
FSIV050T2M1500
-
-
MC-226
FOTEKMC-226 Счетчик цифровой