Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSD
Код товара 623033Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSD. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
|
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
>25 sccm - 1 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
TECFLUID
COVOL Счетчик объема жидкости
-
-
-
VALCO
FCM Датчик потока
-
-
-
-
-
PRESSOL
4408 Шланг для отсоса
-
PRESSOL
80415 Шланг для биодизеля
-
-
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-6125 Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB330-A2A2015R0
-
-
CoriolisMasterFCB350-F1A1150R2
-
-
CoriolisMasterFCB430-F1U1100R2
-
-
CoriolisMasterFCB450-F1A2050E1
-
-
CoriolisMasterFCB450-F1A2080R1
-
-
CoriolisMasterFCH330-A1A1050R1
-
-
SensyMasterFMT230Y0C1A3D3T2M2B
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-2E121
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-4E122
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.V.1100
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.V.2400
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.040.P.5
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.050.P.5
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.S2.0040
-
-
ProcessMaster600FEP632.F1.A1.0100
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
FET525-3C0M1C
-
-
SRV500-S2B1C1YOYOYM5
-
-
StackFlowMasterFPD580FPD581.M1.G5.
-
-
FV4000-VT40
-
-
SwirlMasterFSS450.S8.R1.F050R0
-
-
VortexMasterFSV430.F9.C2.F200R0
-
-
VortexMasterFSV450.B1.C1.W025R0
-
-
Purgemaster10A610010A6133DB1B
-
-
VA MasterFAM544E2B1S1
-
-
VA MasterFGM1190-95D10A11.95.X.A.0
-
-
FCIV025T5M0130M
-
-
ПРЭМ-25 ГФКл. DL2/-/F
-
-
ПРЭМ-200 ГФКл. D12/24В Bt