Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSD
Код товара 623033Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSD. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
|
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
>25 sccm - 1 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
AQUAMETRO
VZO 25 FL 130/25-IN0,1 Счетчик топлива
-
AQUAMETRO
VZOA 15 FL 130/25-RV0,1 Счетчик топлива
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
PRESSOL
20026 Соединение быстроразъемое
-
BROOKS
S122 Манометр механический
-
-
-
-
-
-
-
ROSEMOUNT
Rosemount 405P диафрагма Диафрагма
-
-
SFAM
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-2210D Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB130-Y0Y0015R0
-
-
CoriolisMasterFCB150-A2Y0100E1
-
-
CoriolisMasterFCB350-F2Y0050E1
-
-
CoriolisMasterFCB450-Y0A1150R2
-
-
CoriolisMasterFCH330-A2A1025R2
-
-
CoriolisMasterFCH350-A2A1025R2
-
-
CoriolisMasterFCH450-A2A1025R0
-
-
SensyMasterFMT432Y0W2G2B
-
-
SensyMasterFMT452Y0R2G0A
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02142031
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.004.P.1
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.006.P.5
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.080.P.1
-
-
ProcessMaster600FEP631.A1.D2.0150
-
-
ProcessMaster600FEP631.S1.D1.0450
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
WaterMasterFEW311.065
-
-
FET525-3A0R1A
-
-
OriMasterFPD500-М80S1
-
-
TorbarFPD350.L7.E2.602
-
-
VortexMasterFSV430.F3.R1.F300R0
-
-
VortexMasterFSV450.A4.C2.F150R0
-
-
FCIV025P2M0325M
-
-
839E-DA1BA1A2D4
-
-
DIS-G-P,CCA-X-X,W-G