Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSD
Код товара 623033Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSD. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
|
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
>25 sccm - 1 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
BRONKHORST
MV-392-HE Ротаметр газовый электронный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
МастерФлоуМФ-2.2 В Ду50
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB350-A1A1080R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-A2U1080R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-F2Y0050E1
-
-
CoriolisMasterFCH450-Y0U2050R1
-
-
CoriolisMasterFCM2000MS21O1
-
-
SensyMasterFMT250Y0C1A4G2B1M2B
-
-
AquaMaster3FER200FER271.450
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.F.P100
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.F.0300
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.R.1650
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.F.1350
-
-
FXM2000(COPA-XM)-DM23E
-
-
WaterMasterFEW125.015
-
-
WaterMasterFEW181.125
-
-
FET632.A2.W1.70.E.2
-
-
FET632.Y0.F2.70.E.2
-
-
SwirlMasterFSS430.N3.C1.F080R0
-
-
VortexMasterFSV430.N1.C1.F080R0
-
-
VortexMasterFSV430.N8.R1.F050R0
-
-
VortexMasterFSV450.F3.C1.W150R0
-
-
VortexMasterFSV450.N8.C1.F250R0
-
-
VortexMasterFSV450.N9.R1.F040R0
-
-
Purgemaster10A610010A6131AB2J
-
-
VA MasterFAM545F2F3F1
-
-
FCIV016T5X0055M
-
-
FCIV032P1M0200
-
-
FSIV075P3X0012
-
-
KTC-010-TF-FG-VI-DIN
-
-
ACT0H025A0