Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSD
Код товара 623033Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSD. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
|
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
>25 sccm - 1 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
АБАКАН
7KTView Программа
-
АБАКАН
7КВИ ДУ 65 Расходомер
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
HONSBERG
UZM3-040GK Датчик потока лопастной
-
PRESSOL
12649 Насадка смазочная
-
-
-
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-5100 Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB150-Y0Y0050R1
-
-
CoriolisMasterFCB330-F1A1150E2
-
-
CoriolisMasterFCB330-Y0A2025E1
-
-
CoriolisMasterFCB350-F2A1050R0
-
-
CoriolisMasterFCB350-F2A2080R1
-
-
CoriolisMasterFCB430-A1A2100R2
-
-
CoriolisMasterFCB430-F1Y0100R0
-
-
SensyMasterFMT250Y0C1A4D3T2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P3A3F1T1M2B
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-CB121
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.080.P.1
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.A1.D2.0
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.A1.D2.0
-
-
ProcessMaster500FEP525-008
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P2.1800
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
FET105-1A0P1F1G1
-
-
FET325-1A0V1
-
-
FXC4000-55XC4.0.2.6
-
-
TorbarFPD350.T5.E1.405
-
-
SwirlMasterFSS430.N1.C1.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F4.R2.F200R0
-
-
VortexMasterFSV450.F9.C1.W050R0
-
-
VortexMasterFSV450.Y0.C1.W100R0
-
-
Purgemaster10A610010A6132EB2H
-
-
PurgemasterFGM6100-A6184A
-
-
FCIV025D1M0350M
-
-
FCIV025P1X0250
-
-
FCIV032D0M0027M
-
-
FCIV032T3M0090
-
-
FSIV032P1M0650
-
-
6232.00010.03
-
-
ПРЭМ-20 ГСКл. B112/24В (К0)
-
-
00-00000273