Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSD
Код товара 623033Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSD. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
|
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
>25 sccm - 1 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
MICRO MOTION
2200S Преобразователь электронный компактный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-F1A2080E1
-
-
CoriolisMasterFCB350-Y0A1050R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-Y0A2025E1
-
-
CoriolisMasterFCB430-Y0Y0150R2
-
-
CoriolisMasterFCB450-A1A2050R1
-
-
CoriolisMasterFCH130-Y0Y0025R2
-
-
SensyMasterFMT250Y0C2B3F1T2M2B
-
-
SensyMasterFMT430Y0H3A1D3S1
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-1A132
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.F.0065
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.F.1200
-
-
AquaProbeFEA200FEA281-300G1S0N3J1A
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.A1.A1.0
-
-
ProcessMaster600FEP631.A2.S1.1050
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.S2.0450
-
-
WaterMasterFEW125.015
-
-
WaterMasterFEW185.040
-
-
FET321-1C0A1Y3C1
-
-
FET521-3A0R1A
-
-
FET525-2A0M1C
-
-
FET632.A1.W1.70.D.0
-
-
TorbarFPD350.L6.E1.080
-
-
SwirlMasterFSS450.S2.C2.F100R0
-
-
VortexMasterFSV430.F3.C1.F080R0
-
-
VortexMasterFSV450.F4.C1.F015R0
-
-
VortexMasterFSV450.N3.R2.F050R0
-
-
PurgemasterFGM6200-A6281A
-
-
VA MasterFGM1190-97D10A11.97.X.P.0
-
-
FCIV020T2M0140
-
-
FSIV040T1X2500M
-
-
QRC040
-
-
BIRXC025034F
-
-
ATF-AP-300-RS
-
-
KTC-50-ST-FNPT-VI-DIN
-
-
ПРЭМ-300 ГФ Кл.A1
-
-
ПРЭМ-40 ГСКл. B1L0/-/F
-
-
CG-100