Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSD
Код товара 623033Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSD. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
|
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
>25 sccm - 1 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
МЕРАПРИБОР
МПРП-100 FS 15 Реле потока калориметрическое
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
SIKA
VTH15 Датчик расхода
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-A2A1025R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-F1A2025E1
-
-
CoriolisMasterFCB450-A2A1025R0
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02243031
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-3A121
-
-
AquaMaster4FEW400FEW431.V.0050
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.F.0100
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.010.P.1
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.040.P.1
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.Y0.S2.9
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A1.0300
-
-
ProcessMaster600FEP632.S2.A1.0020
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.A2.0025
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
WaterMasterFEW321.202
-
-
SwirlMasterFSS430.F8.C1.F032R0
-
-
SwirlMasterFSS430.F8.C1.F040R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F1.R1.F050R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F3.R1.F032R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S1.R1.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.A9.R2.F250R0
-
-
VortexMasterFSV430.S6.C1.F250R0
-
-
VortexMasterFSV450.F4.C1.F100R0
-
-
VortexMasterFSV450.N1.R1.F025R0
-
-
VortexMasterFSV450.N8.C1.F250R0
-
-
VA MasterFAM544E4Y0S2
-
-
FCIV032T5M0110M
-
-
FSIV040D1X1600M
-
-
ПРЭМ-50 ГФКл. DL2/-/F
-
-
ДИД-01-01
ТЕПЛОВИЗОРДИД-01-01 Датчик избыточного давления