Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSD
Код товара 623033Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSD. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS

Характеристики
Характеристика |
Значение |
---|---|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
>25 sccm - 1 slm |
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
Точность |
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
Время отклика |
Нормально открытый |
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
5622-16-I
FLUKE CALIBRATION5622-16-I Термометр сопротивления платиновый
-
-
Rosemount405Pрасходомер
ROSEMOUNTRosemount 405P расходомер Расходомер
-
-
FAGOR Переключатель
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB350-A1A2025R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-F1A2150R2
-
-
CoriolisMasterFCB430-F1Y0025E1
-
-
SensyMasterFMT230Y0C2A1F1T1M2B
-
-
SensyMasterFMT230Y0H3A4F1B1M2B
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-1B131
-
-
AquaMaster4FEW400FEW431.F.1950
-
-
AquaProbeFEA100FEA181-500G1S0N2K1A
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.020.P.5
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.015.P.5
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.A1.A2.0
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.F1.A2.0
-
-
ProcessMaster600FEP611.Y0.V2.F.0300
-
-
ProcessMaster600FEP612.Y0.P2.F.0300
-
-
ProcessMaster600FEP632.A1.A2.0065
-
-
ProcessMaster600FEP632.S2.A1.0200
-
-
WaterMasterFEF121.100
-
-
FET321-4C0A1B1B1
-
-
FET525-1B0R1Y
-
-
S4-BGA02120
-
-
S4-BGA03120
-
-
IOMasterFPD510-M2.020.L.6
-
-
PitoMasterFPD550-V1.100.S.C1
-
-
WedgeMasterFPD570-M2.100.G
-
-
SwirlMasterFSS430.A9.C2.F080R0
-
-
SwirlMasterFSS430.F3.C1.F050R0
-
-
SwirlMasterFSS450.B8.C1.F025R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S2.R1.F080R0
-
-
VortexMasterFSV430.F4.R2.F100R0
-
-
VortexMasterFSV450.B8.C2.W050R0
-
-
VortexMasterFSV450.F8.C2.W080R0
-
-
Purgemaster10A610010A6132DB3B
-
-
JZX-22F/2Z-HH52PN-AC220V