Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSD
Код товара 623033Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSD. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
|
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
>25 sccm - 1 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
FS222-6-4-1-00 Датчик потока жидкости роторный
-
-
-
HONSBERG
UR1-040GKA Реле потока лопастное
-
-
-
-
МастерФлоуМФ-5Фланцевый
-
-
YSRW-16-26
-
-
12208018
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-S1Y0025R2
-
-
CoriolisMasterFCB350-Y0Y0050E1
-
-
CoriolisMasterFCB450-F1Y0050E1
-
-
CoriolisMasterFCH330-A1Y0050R0
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-01241021
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02223011
-
-
HygienicMasterFEH500FEH511.004.P.5
-
-
ProcessMaster600FEP611.Y0.V2.F.0080
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.S1.0010
-
-
ProcessMasterWaferFEM610
-
-
WaterMasterFEW125.300
-
-
WaterMasterFEW125.400
-
-
FET101-1A0M1A2M1
-
-
FET121-1A0P1F2A1
-
-
FET321-2B0A1C2B1
-
-
FET321-4C0A1C2B1
-
-
FET325-4B0L1
-
-
FET525-3C0R1B
-
-
FET632.F2.F2.70.E.2
-
-
S4-BGA08120
-
-
PitoMasterFPD550-V1.125.G.C1
-
-
StackFlowMasterFPD580FPD583.M1.G3.
-
-
SwirlMasterFSS450.A9.R1.F200R0
-
-
VortexMasterFSV430.N9.C1.F015R0
-
-
VortexMasterFSV430.Y0.R1.F100R0
-
-
VortexMasterFSV450.A9.C1.F015R0
-
-
VortexMasterFSV450.N3.R2.W080R0
-
-
VA MasterFAM544F1Y0S1
-
-
FSIV025P5X0070
-
-
ПРЭМ-65 ГФКл. D12/24В
-
-
42.00.094
RATIONAL42.00.094 Переключатель
-
-
ТЕРМОТРОНИК Участок
ТЕРМОТРОНИКУчасток присоединительный 40х40