Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120XSD
Код товара 623033Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120XSD. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Доставка газа SDS |
|
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
>25 sccm - 1 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <3 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
КОМПЛЕКТСЕРВИС
ДРС.МИ-100-25-Н-1,5 Датчик расхода
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
МФ5 КМЧ безПУ Ду 32
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB150-A2Y0080R0
-
-
CoriolisMasterFCB330-A1A1100E1
-
-
CoriolisMasterFCB330-Y0Y0080R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-Y0A2050E1
-
-
CoriolisMasterFCH430-F2A1080R1
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC21A6
-
-
SensyMasterFMT250Y0C2A1D3T1M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P2A2D3B2M2B
-
-
SensyMasterFMT450Y0P3B1G2
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-HD122
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.032.P.5
-
-
HygienicMasterFEH500FEH515.025.P.5
-
-
HygienicMasterFEH610FEH612.Y0.P1.F
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.D1.0250
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.D1.0300
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
WaterMasterFEF121.040
-
-
WaterMasterFER181.080
-
-
FET125-1A0Y1D2G1
-
-
FET321-4C0A1Y3C1
-
-
FPD150.P1.A1.S2
-
-
VortexMasterFSV430.F8.R1.W050R0
-
-
VortexMasterFSV430.N1.C1.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.N3.C1.F080R0
-
-
VortexMasterFSV450.S6.R1.W150R0
-
-
PurgemasterFGM6100-A6132B
-
-
FCIV020D0M0002M
-
-
FCIV032P3X0220M
-
-
FSIV040P1M1600
-
-
FSIV040P2M0900
-
-
FSIV050P1X5000
-
-
FSIV063T2M3200M
-
-
FLSULF03.R.2
-
-
ODV025
-
-
00000003884
-
-
AIRHOT Индикатор
-
-
ПРЭМ-200 ГФКл. А12/24В Bt
-
-
РДЭ-М-3Д-24-550-2/3-3