Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120
Код товара 623032Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
|
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
3 sccm - 55 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый 700 мс |
|
Время отклика |
Нормально открытый <1.5 sec |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
РУС-1-1-4-25
-
-
-
-
-
-
-
-
HENKE SASS WOLF
DW-R-20 Реле потока
-
-
KROMSCHRODER
DM 100Z80-40 Расходомер с механическим отображением
-
-
EAPR-E12-60
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB350-F1A2015E1
-
-
CoriolisMasterFCB350-F1Y0050R1
-
-
CoriolisMasterFCH350-Y0Y0080R0
-
-
CoriolisMasterFCH450-Y0U1025R2
-
-
SensyMasterFMT250Y0C1A4D3B1M2B
-
-
AquaMaster3FER200FER221.015
-
-
FSM4000-SE41FZ2F
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.065.P.1
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.065.P.5
-
-
HygienicMasterFEH500FEH525.008.P.5
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.D1.0025
-
-
ProcessMaster600FEP631.Y0.D2.1500
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.A2.0020
-
-
WaterMasterFEF125.450
-
-
WaterMasterFEW311.051
-
-
FET321-2B0A1B2B1
-
-
FET325-1C0P1
-
-
FET521-1C0A1B
-
-
TorbarFPD350.T4.E1.701
-
-
StackFlowMasterFPD580FPD583.Y0.G3.
-
-
SwirlMasterFSS450.F1.R1.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N8.C1.F200R0
-
-
VortexMasterFSV430.N2.R1.W040R0
-
-
VortexMasterFSV430.Y0.R2.F250R0
-
-
VortexMasterFSV450.N8.C1.W025R0
-
-
VortexMasterFSV450.S2.C2.F150R0
-
-
Purgemaster10A610010A6133AB1L
-
-
PurgemasterFGM6100-A6192A
-
-
FCIV020D0M0048M
-
-
FCIV032T3M0650M
-
-
FSIV032P1X1600
-
-
FSIV040T1X2500
-
-
FLSM9.20.01
-
-
COOLEQ Датчик
COOLEQДатчик температурный для IF
-
-
ПРЭМ-100 ГФКл. DL2/-/F
-
-
РМ-1К3Л-RS232-100ФЛ