Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120
Код товара 623032Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
|
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
3 sccm - 55 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый 700 мс |
|
Время отклика |
Нормально открытый <1.5 sec |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
MICRO MOTION
LFM2M Расходомер малого расхода
-
-
-
-
-
-
SIKA
VH600 Реле уровня
-
-
HONSBERG
TZ1M-040EK Датчик потока лопастной
-
PRESSOL
25672 Шланг раздаточный
-
-
KROMSCHRODER
DE 100Z80-40B Расходомер с электронным отображением
-
-
МастерФлоуМФ-2.2 Б Ду65
-
-
МФ2/МФ10КМЧ без ПУДу 40
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-1211D Регулятор потока
-
KOBOLD
REG-6208 Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB350-Y0A1080R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-A2U2050R0
-
-
CoriolisMasterFCB450-A1Y0050R0
-
-
CoriolisMasterFCB450-A2A1025R2
-
-
CoriolisMasterFCH330-Y0A1025R0
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC21P3
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.F.2200
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.A.1800
-
-
FSM4000-SE41FZ5H
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.015.P.5
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.020.P.5
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.Y0.S1.0
-
-
ProcessMaster600FEP611.Y0.V2.F.0015
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.S2.1100
-
-
ProcessMasterWaferFEM610
-
-
WaterMasterFER121.100
-
-
FET525-1B0P1C
-
-
FET525-1C0R1Y
-
-
FET525-4C0M1Y
-
-
S4-AKA10120
-
-
PitoMasterFPD550-V2.400.L.S6
-
-
SwirlMasterFSS430.N8.R1.F040R0
-
-
VortexMasterFSV430.B9.C1.W100R0
-
-
VortexMasterFSV450.B8.R1.W150R0
-
-
VortexMasterFSV450.F3.C1.F100R0
-
-
VortexMasterFSV450.N2.R1.W080R0
-
-
VortexMasterFSV450.N9.R2.F050R0
-
-
VA MasterFGM1190-95D10A11.95.X.A.1
-
-
FCIV020P5M0002M
-
-
FCIV020T1X0350
-
-
KTC-08-TF-VI-DIN
-
-
ПРЭМ-32 ГСКл. C112/24В (К0)
-
-
924245-5G
ALDRICH924245-5G Деоксазол 5 g ≥95%