Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120
Код товара 623032Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
|
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
3 sccm - 55 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый 700 мс |
|
Время отклика |
Нормально открытый <1.5 sec |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
АБАКАН
7КВ ДУ 32 Расходомер
-
-
-
-
-
-
-
M+W INSTRUMENTS
MASS-STREAM D-6383 Регулятор массового расхода газа цифровой
-
-
-
-
VALCO
VO.V4 Датчик потока
-
HONSBERG
UR2-015AP Реле потока лопастное
-
-
KROMSCHRODER
DM 40R40-40 Расходомер с механическим отображением
-
-
ТЕХНО-АС
Лебедь КР-06 Расходомер жидкости
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB430-A1A1050R1
-
-
CoriolisMasterFCB430-A2U2150R0
-
-
CoriolisMasterFCB450-F2U2150E2
-
-
CoriolisMasterFCH150-A1Y0050R1
-
-
CoriolisMasterFCH330-F2A2080R1
-
-
CoriolisMasterFCH350-S1Y0050E1
-
-
CoriolisMasterFCH350-Y0Y0025E1
-
-
SensyMasterFMT250Y0C1B1F1B1M2B
-
-
SensyMasterFMT450Y0H3B2D3
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-01122021
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02243031
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.F.1400
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.006.P.1
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.A1.D1.0
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.F1.A1.0
-
-
ProcessMaster500FEP525-200
-
-
ProcessMaster600FEP631.S1.D1.0250
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A2.0500
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P1.0010
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
FET125-1A0M1Y1M1
-
-
FXC4000-55XC4.1.0.6
-
-
TorbarFPD350.H8.E2.900
-
-
SwirlMasterFSS430.F3.C1.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS430.S2.R2.F050R0
-
-
SwirlMasterFSS450.A4.C1.F025R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F4.C2.F200R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S2.C1.F020R0
-
-
VortexMasterFSV430.N1.C2.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.N2.C1.F150R0
-
-
VortexMasterFSV430.S8.C2.W050R0
-
-
Purgemaster10A610010A6133MB1H
-
-
FCIV020D1X0100
-
-
FCIV032T2M0185
-
-
A553 0165
-
-
KTC-08-PP-BU-VI-DIN
-
-
KTC-50-TF-BU-VI-DIN
-
-
РМ-2К1Л-RS232-015ФЛ
-
-
379670-250G