D-6373/BJ-1-2 Регулятор расхода газа
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120
Код товара 623032Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
|
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
3 sccm - 55 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый 700 мс |
|
Время отклика |
Нормально открытый <1.5 sec |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
КОМПЛЕКТСЕРВИС
ДРС.МИ-400-25-Н-1,5 Датчик расхода
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
HONSBERG
UM3K-050GM Реле потока лопастное
-
PRESSOL
19626 Переходник
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-F2Y0025R2
-
-
CoriolisMasterFCB350-A1A2025E1
-
-
CoriolisMasterFCB430-F2A1080R1
-
-
CoriolisMasterFCB450-Y0A1050R1
-
-
CoriolisMasterFCH350-S2Y0050R1
-
-
CoriolisMasterFCH430-A1U1050E1
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.V.0050
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.A.1200
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.V.P050
-
-
FSM4000-SE41FH5H
-
-
HygienicMasterFEH500FEH525.004.P.5
-
-
ProcessMaster300FEP311-065
-
-
ProcessMaster300FEP325-300
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.S1.0700
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A2.0800
-
-
ProcessMaster600FEP632.S1.A1.0200
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
WaterMasterFEF181.600
-
-
WaterMasterFEW385.025
-
-
FET632.A1.F1.70.D.0
-
-
FET632.Y0.W2.70.D.0
-
-
TorbarFPD350.H7.E2.701
-
-
TorbarFPD350.T5.E2.104
-
-
WedgeMasterFPD570-M2.080.S
-
-
FV4000-VT40
-
-
SwirlMasterFSS430.B9.C2.F100R0
-
-
VortexMasterFSV430.S8.R1.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.S9.C1.W150R0
-
-
VortexMasterFSV450.N3.R1.F100R0
-
-
VortexMasterFSV450.N8.C1.F150R0
-
-
VortexMasterFSV450.S2.C1.F150R0
-
-
FLSF6.30.08
-
-
ПРЭМ-80 ГФКл. C1L0/T/F
-
-
РМ-4К1Л-RS232-700ФЛ