Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120
Код товара 623032Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS

Характеристики
Характеристика |
Значение |
---|---|
Дифференциатор |
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
3 sccm - 55 slm |
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
Точность |
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
Время отклика |
Нормально закрытый 700 мс |
Время отклика |
Нормально открытый <1.5 sec |
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
BURKERT
SE10 Преобразователь расхода
-
-
АБАКАН
7КВИ ДУ 80 Расходомер
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ELETTA
PR1 DN 50 Реле протока
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
BA9624B Индикатор измерительный
-
MARTENS ELEKTRONIK
DF9648-1-2T Датчик расхода роторный
-
-
-
СТРАУС
S1530 Счетчик импульсов
-
-
-
-
5628-20-B
FLUKE CALIBRATION5628-20-B Термометр сопротивления платиновый
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB350-F1A1150E2
-
-
CoriolisMasterFCB350-Y0A1150R0
-
-
CoriolisMasterFCH350-F2A2050R1
-
-
CoriolisMasterFCH350-S2A1025E1
-
-
CoriolisMasterFCH450-Y0A2025E1
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC27N4
-
-
SensyMasterFMT230Y0P1A3G2B2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0H3A4D3B2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P1B3D3T1M2B
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02122031
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-2B131
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-7C111
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-HE111
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.V.0250
-
-
AquaProbeFEA200FEA281-700G1S0N3K1A
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.040.P.5
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.003.P.5
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A2.1500
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
WaterMasterFEW381.050
-
-
FET525-3A0L1C
-
-
FXC4000-55XC4.1.3.0
-
-
FPD160.F2.S1.U2
-
-
SwirlMasterFSS430.F3.R1.F040R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F3.R2.F080R0
-
-
VortexMasterFSV430.S1.R2.F300R0
-
-
VortexMasterFSV450.F8.R2.F100R0
-
-
VortexMasterFSV450.N1.C1.W150R0
-
-
VortexMasterFSV450.N3.C1.W025R0
-
-
Purgemaster10A610010A6133MB2E
-
-
VA MasterFGM1190-98D10A11.98.X.A.0
-
-
65102552
-
-
ПРЭМ-65 ГСКл. C112/24В Bt
-
-
РМ-1К3Л-RS232-1400РЗ