Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120
Код товара 623032Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
|
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
3 sccm - 55 slm |
|
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый 700 мс |
|
Время отклика |
Нормально открытый <1.5 sec |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
KS-02-100 kg Датчик высокой нагрузки
-
-
-
-
-
ТЕХПРИБОР
Пара ротаметрическая к РМА
-
-
-
5609-500-B
FLUKE CALIBRATION5609-500-B Термометр сопротивления платиновый
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-F1A2025E1
-
-
CoriolisMasterFCB330-F2A1080R0
-
-
CoriolisMasterFCB350-F1Y0015R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-A2A2100R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-Y0U1080E1
-
-
CoriolisMasterFCB450-A1A1025R2
-
-
CoriolisMasterFCH450-F2A1050E1
-
-
SensyMasterFMT250Y0C2A2D3T2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P2B3G2B2M2B
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-CE112
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.F.0900
-
-
AquaProbeFEA100FEA121-001G1S0N2K1A
-
-
FXM2000(MAG-XM)-DM42F
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A2.1400
-
-
ProcessMasterWaferFEM610
-
-
WaterMasterFEW321.400
-
-
FET105-1A0Y1B1M1
-
-
FET125-1A0G1B2A1
-
-
FET321-1A0A1C3B1
-
-
FET325-4A0U1
-
-
FET632.F2.F2.70.D.0
-
-
TorbarFPD350.L7.E2.601
-
-
SwirlMasterFSS430.S6.C2.F080R0
-
-
VortexMasterFSV450.B9.C2.W100R0
-
-
VortexMasterFSV450.F1.R2.F150R0
-
-
VortexMasterFSV450.F3.C2.W150R0
-
-
Purgemaster10A610010A6134AB2M
-
-
VA MasterFAM541A1B1T1
-
-
VA MasterFGM1190-97D10A11.97.X.A.0
-
-
GOLDSDM-40150D
-
-
FCIV032T5M0110
-
-
00-00005222
-
-
S011
-
-
ПРЭМ-50 ГСКл. E12/24В (К0)
-
-
ПРЭМ-80 ГСКл. D12/24В Bt
-
-
РМ-1К3Л-RS232-150ФЛ
-
-
РМ-1К4Л-RS232-200СВ
-
-
MS-15