Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF120
Код товара 623032Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF120. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS

Характеристики
Характеристика |
Значение |
---|---|
Дифференциатор |
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
3 sccm - 55 slm |
Отделка поверхности |
5μ inch Ra |
Точность |
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
Время отклика |
Нормально закрытый 700 мс |
Время отклика |
Нормально открытый <1.5 sec |
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
МастерФлоуМФ-5 В Ду20
-
-
-
COMPOSIT Узел
COMPOSITУзел всаса
-
-
-
-
KOBOLD
REG-0130 Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB130-F1Y0080R0
-
-
SensyMasterFMT230Y0H3A1F1B2M2B
-
-
SensyMasterFMT230Y0P1A3D3B2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0C2A3D3T2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0C2B3D3T1M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P1B1D3T2M2B
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.R.P070
-
-
AquaProbeFEA100FEA121-001G1S0N1K1A
-
-
FSM4000-SE21RK1S
-
-
FXE4000(MAG-XE)-DE21E
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.A1.A1.0
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.Y0.A1.0
-
-
ProcessMaster300FEP315-032
-
-
ProcessMaster600FEP632.A1.A2.1100
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
WaterMasterFEW381.015
-
-
FET525-4B0P1C
-
-
S4-AKA08110
-
-
TorbarFPD350.T5.E1.407
-
-
WedgeMasterFPD570-M2.025.L
-
-
SwirlMasterFSS430.B8.R1.F032R0
-
-
VortexMasterFSV430.S8.C1.F250R0
-
-
VortexMasterFSV450.A9.C2.F200R0
-
-
VortexMasterFSV450.B1.C1.F250R0
-
-
VortexMasterFSV450.B9.C2.F150R0
-
-
VortexMasterFSV450.F3.C1.F150R0
-
-
Purgemaster10A610010A6132NB2D
-
-
ПРЭМ-80 ГСКл. А12/24В