Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF101
Код товара 623031Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF101. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
|
|
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
55 slm - 300 slm |
|
Отделка поверхности |
10μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
LIQUID CONTROLS
MA-7+ Расходомер механический
-
-
-
-
-
MARTENS ELEKTRONIK
PC22-Ex-02-30-00 Датчик точной нагрузки
-
-
-
HENKE SASS WOLF
DW-T-25 Реле потока
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB350-S1Y0150R2
-
-
CoriolisMasterFCB430-A1A2015R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-F2Y0015R1
-
-
CoriolisMasterFCH330-F1A1080R0
-
-
CoriolisMasterFCH450-A1A1050R1
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC23P4
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC27T5
-
-
SensyMasterFMT250Y0H3A4G2B1M2B
-
-
SensyflowFMT400-VTCSV14222-1601401
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02231011
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.A.0750
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.V.0450
-
-
AquaMaster4FEW400FEW431.A.1650
-
-
AquaMaster4FEW400FEW431.F.0150
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.008.P.1
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.010.P.1
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.020.P.1
-
-
HygienicMasterFEH500FEH511.032.P.5
-
-
ProcessMaster600FEP612.Y0.P2.F.2000
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.S2.0250
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A2.0200
-
-
ProcessMaster600FEP632.S2.A2.1050
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P1.0250
-
-
WaterMasterFEW111.600
-
-
PitoMasterFPD550-V1.600.S.S6
-
-
SwirlMasterFSS450.F3.R1.F032R0
-
-
VortexMasterFSV430.N1.C1.F015R0
-
-
VortexMasterFSV430.S9.C1.F100R0
-
-
Purgemaster10A610010A6131EB2H
-
-
Purgemaster10A610010A6134EB1J
-
-
PurgemasterFGM6200-A6262D
-
-
VA MasterFAM544D1A4S2
-
-
FSIV032P5X0145
-
-
FLSF3.00.H.17
-
-
ПРЭМ-100 ГСКл. C1L0/-/F
-
-
РДЭ-М-3Д-230-0-3
-
-
РМ-4К1Л-RS232-050РЗ