Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF101
Код товара 623031Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF101. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
|
|
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
55 slm - 300 slm |
|
Отделка поверхности |
10μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ЭЛЕКТРОН
1101.10.00.004 Шпилька
-
MARTENS ELEKTRONIK
PC22-Ex-01-30-00 Датчик точной нагрузки
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
LINE TECH
MD700M Измеритель расхода газа цифровой
-
-
Rosemount8800 QuadDQ030
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB430-F1U1150R2
-
-
CoriolisMasterFCH150-A1Y0025R0
-
-
SensyMasterFMT430Y0H3A2G2D2
-
-
SensyMasterFMT450Y0H3B3F1
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-2A131
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-4C112
-
-
FSM4000-SE21SP03
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.065.P.1
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.Y0.A2.0
-
-
ProcessMaster600FEP631.A1.D2.0065
-
-
ProcessMaster600FEP631.A1.D2.1100
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.S2.0050
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.A2.0040
-
-
FET105-1A0M1F1G1
-
-
FET321-4C0A1B2B1
-
-
OriMasterFPD500-V10L2
-
-
SwirlMasterFSS430.S9.R1.F032R0
-
-
SwirlMasterFSS450.B1.R2.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F3.C1.F400R0
-
-
VortexMasterFSV430.A4.R1.F100R0
-
-
VortexMasterFSV430.S1.C1.F025R0
-
-
VortexMasterFSV430.S2.C2.F080R0
-
-
VortexMasterFSV450.B9.C2.F200R0
-
-
Purgemaster10A610010A6134CB3J
-
-
VA MasterFAM544B4Y0S1
-
-
VA MasterFGM1190-98D10A11.98.X.A.1
-
-
FSIV032T1M1000M
-
-
FLSF3.00.P.14
-
-
FLSM9.07.P1
-
-
MC-SRL6-0390