Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF101
Код товара 623031Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF101. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS

Характеристики
Характеристика |
Значение |
---|---|
Дифференциатор |
|
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
55 slm - 300 slm |
Отделка поверхности |
10μ inch Ra |
Точность |
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
Время отклика |
Нормально открытый |
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ТЕХПРИБОР
РП-02-1-ЖУЗ Ротаметр пневматический
-
-
-
MPTDMP-U-T4
-
-
-
-
-
-
-
TotalflowNGCPortable
-
-
CoriolisMasterFCB350-A1A1050R1
-
-
CoriolisMasterFCB450-Y0U1150R2
-
-
SensyMasterFMT430Y0P1A2D3S2
-
-
SensyMasterFMT450Y0H3A2F1
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-BE131
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.100.P.5
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.A1.D1.0
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.Y0.A1.0
-
-
ProcessMaster600FEP631.A2.D2.0004
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.D1.0450
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P1.0800
-
-
WaterMasterFEW181.032
-
-
WaterMasterFEW321.600
-
-
WaterMasterFEW325.040
-
-
FET101-1A0P1Y2M1
-
-
FET121-1A0G1F1A1
-
-
FET521-1A0R1C
-
-
TorbarFPD350.H7.E2.001
-
-
StackFlowMasterFPD580FPD583.M1.F4.
-
-
SwirlMasterFSS430.F3.C1.F150R0
-
-
SwirlMasterFSS430.Y0.R1.F040R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F3.C1.F032R0
-
-
VortexMasterFSV430.F4.C2.F200R0
-
-
VortexMasterFSV430.N8.R1.F100R0
-
-
VortexMasterFSV430.S2.R2.F200R0
-
-
VortexMasterFSV450.B1.C1.F015R0
-
-
VortexMasterFSV450.B8.R1.F015R0
-
-
VortexMasterFSV450.N8.C1.F100R0
-
-
VortexMasterFSV450.N9.C2.F200R0
-
-
VA MasterFGM1190-97D10A11.97.X.A.0
-
-
ПРЭМ-50 ГСКл. A112/24В
-
-
ПРЭМ-40 ГСКл. C1L0/-/F
-
-
РМ-1К3Л-RS232-1200РЗ