FS-201CV Регулятор массового расхода
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF101
Код товара 623031Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF101. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
|
|
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
55 slm - 300 slm |
|
Отделка поверхности |
10μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
-
-
-
-
-
MICRO MOTION
CMFHC3M Сенсор кориолисовый
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
HONSBERG
UM3K-040GK Реле потока лопастное
-
PRESSOL
45140950 Вентиль проветривания
-
-
-
ДЕЛОВОЙ СОЮЗ
Узел учета нефти и нефтепродуктов в единицах массы
-
-
-
-
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-3103D Регулятор потока
-
-
TotalflowXFC G4 6414
-
-
CoriolisMasterFCB330-F1A2015R1
-
-
CoriolisMasterFCB350-S1A1150R0
-
-
CoriolisMasterFCB430-F1Y0050R0
-
-
CoriolisMasterFCB450-F2A2080R1
-
-
CoriolisMasterFCH330-S1Y0025R2
-
-
CoriolisMasterFCH450-A2U2080R0
-
-
SensyMasterFMT250Y0C1A1F1T1M2B
-
-
SensyMasterFMT430Y0C1A4D3S2
-
-
AquaMaster3FEV200FEV251.100
-
-
FSM4000-SE21XN02
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.008.P.5
-
-
HygienicMasterFEH300FEH325.003.P.1
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.F1.A2.0
-
-
HygienicMasterFEH630FEH632.Y0.A2.0
-
-
ProcessMaster500FEP521-010
-
-
ProcessMaster600FEP612.Y0.P2.F.0900
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A2.0015
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
WaterMasterFEF185.500
-
-
WaterMasterFEW321.500
-
-
TorbarFPD350.L7.E2.202
-
-
SwirlMasterFSS450.S1.R1.F400R0
-
-
VortexMasterFSV430.N8.R1.W080R0
-
-
VortexMasterFSV430.Y0.C1.W080R0
-
-
VortexMasterFSV450.F4.R2.F200R0
-
-
VA MasterFAM545A2A4F1
-
-
FCIV016P2M0190M
-
-
ПРЭМ-50 ГСКл. C112/24В (К0)
-
-
915653-1G