T22 Регулятор расхода газа
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF101
Код товара 623031Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF101. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
|
|
Ряд подачи (полная емкость маштаба) |
55 slm - 300 slm |
|
Отделка поверхности |
10μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
|
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
HONSBERG
VM-065EK300 Реле потока лопастное
-
-
-
UNI-T
UT-H01 Датчик пассивный
-
-
-
-
МастерФлоуМФ-2.2 В Ду150
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB330-S2A2025E1
-
-
CoriolisMasterFCB430-F1U1025R2
-
-
CoriolisMasterFCB430-Y0U2080R1
-
-
CoriolisMasterFCB450-F2U2050E1
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC21A2
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-01241011
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02231021
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-2A122
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-HD132
-
-
AquaMaster3FEV200FEV281.080
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.R.1200
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.R.2200
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.010.P.5
-
-
ProcessMaster300FEP311-450
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A2.1200
-
-
FET321-2C0A1B1C1
-
-
FET525-4A0M1A
-
-
S4-BKA04120
-
-
SwirlMasterFSS430.N8.R1.F032R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F1.C1.F020R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F1.R1.F080R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N1.R2.F200R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N3.C1.F025R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N3.C1.F050R0
-
-
VortexMasterFSV430.F1.R1.F050R0
-
-
VortexMasterFSV430.S8.C2.F050R0
-
-
Purgemaster10A610010A6134AB3H
-
-
VA MasterFAM541A4Y0T1
-
-
FSIV040P1M2500
-
-
FLSF3.00.C.09
-
-
FLSF6.30.02
-
-
S211
-
-
РМ-1К1Л-RS232-500СВ