Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF100
Код товара 623030Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF100. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS

Характеристики
Характеристика |
Значение |
---|---|
Дифференциатор |
Высокая чистота |
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
3 sccm - 55 slm |
Отделка поверхности |
10μ inch Ra |
Точность |
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
Время отклика |
Нормально открытый <1.5 sec |
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Sekee EM
-
-
EAPR-S1-S-46-600/640-S
-
-
B330
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB450-F2A2015R1
-
-
CoriolisMasterFCH450-A1Y0080R0
-
-
CoriolisMasterFCH450-A2A2025R2
-
-
CoriolisMasterFCH450-A2U2080E1
-
-
SensyMasterFMT230Y0C1A2F1B1M2B
-
-
SensyMasterFMT230Y0P1A1D3B2M2B
-
-
SensyMasterFMT230Y0P1A1G2T1M2B
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-BB131
-
-
AquaMaster3FEV200FEV221.125
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.R.1350
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.R.0040
-
-
FSM4000-SE41FE65
-
-
FSM4000-SE41FT2F
-
-
HygienicMasterFEH300FEH321.015.P.5
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.Y0.D1.0
-
-
ProcessMaster600FEP632.F1.A2.0025
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A1.1050
-
-
ProcessMaster600FEP632.S2.A1.0010
-
-
FET632.F2.F2.70.E.0
-
-
SwirlMasterFSS430.N9.R1.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS430.Y0.C1.F040R0
-
-
SwirlMasterFSS450.F3.C1.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.B8.C2.F300R0
-
-
VortexMasterFSV430.S8.C1.W100R0
-
-
Purgemaster10A610010A6134NB4H
-
-
VA MasterFAM546A2F4F1
-
-
0020151845