Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF100
Код товара 623030Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF100. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS

Характеристики
Характеристика |
Значение |
---|---|
Дифференциатор |
Высокая чистота |
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
3 sccm - 55 slm |
Отделка поверхности |
10μ inch Ra |
Точность |
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
Время отклика |
Нормально открытый <1.5 sec |
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
LIQUID CONTROLS
LCMAG HML4-F1 Расходомер электромагнитный
-
LIQUID CONTROLS
D-4150 Счетчик расхода механический 4-значный
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
KROMSCHRODER
DM 16TN25-120 Расходомер с механическим отображением
-
SPIRAX SARCO
M410 DN450 Расходомер с диафрагменной пластиной
-
-
5627A-12-D
FLUKE CALIBRATION5627A-12-D Термометр сопротивления платиновый
-
-
МастерФлоуМФ-5Фланцевый
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCB130-F2Y0150E2
-
-
CoriolisMasterFCB330-A1A2150R0
-
-
CoriolisMasterFCB350-Y0Y0080R1
-
-
CoriolisMasterFCH150-F1Y0025R2
-
-
CoriolisMasterFCH450-A2U2080E1
-
-
SensyMasterFMT250Y0P3B4F1B1M2B
-
-
AquaMaster4FEW400FEW411.R.1000
-
-
AquaMaster4FEW400FEW418.V.1200
-
-
FXP4000(PARTI-MAGII) DP46F
-
-
HygienicMasterFEH300FEH311.100.P.1
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.Y0.S2.0
-
-
ProcessMaster300FEP311-125
-
-
ProcessMaster500FEP521-010
-
-
ProcessMaster500FEP525-065
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.S1.0015
-
-
ProcessMaster600FEP631.S2.D1.0350
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
WaterMasterFEF181.250
-
-
FET105-1A0P1D2M1
-
-
FPD160.F2.A2.E3
-
-
VortexMasterFSV450.S2.R2.F050R0
-
-
PurgemasterFGM6200-A6233D
-
-
ПРЭМ-80 ГФКл. A112/24В Bt
-
-
ПРЭМ-40 ГФКл. DL0/-/F
-
-
ПРЭМ-80 ГФКл. C1L0/-/F
-
-
РМ-1К4Л-RS232-1400СВ