D-6211 Регулятор расхода газа
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF100
Код товара 623030Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF100. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Высокая чистота |
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
3 sccm - 55 slm |
|
Отделка поверхности |
10μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый <1.5 sec |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
| Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
BRONKHORST
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ГК ЗАПЧАСТИ КПО
Г62-21М Реле давления к прессам КВ, КГ, КД
-
SPIRAX SARCO
M410 DN500 Расходомер с диафрагменной пластиной
-
FLUKE CALIBRATION
5627A-12-L Термометр сопротивления платиновый
-
-
-
МастерФлоуМФ-10Резьбовой
-
-
-
KOBOLD
REG-0140 Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB350-F2A1025E1
-
-
CoriolisMasterFCH430-Y0A1025R2
-
-
SensyMasterFMT430Y0C2A3G2S2
-
-
SensyflowFMT400-VTCSV14222-1800402
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.V.1500
-
-
AquaProbeFEA200FEA221-500G1S0N1J1A
-
-
HygienicMasterFEH500FEH515.025.P.5
-
-
WaterMasterFEW121.025
-
-
WaterMasterFEW385.400
-
-
SwirlMasterFSS430.A9.C2.F050R0
-
-
SwirlMasterFSS450.A4.R1.F300R0
-
-
SwirlMasterFSS450.Y0.R1.F050R0
-
-
VortexMasterFSV430.F1.R1.W150R0
-
-
VortexMasterFSV430.F9.C2.W050R0
-
-
VortexMasterFSV450.S9.R2.F200R0
-
-
Purgemaster10A610010A6133AB1L
-
-
FCIV025P3X0135M
-
-
FSIV032T3M0395
-
-
FSIV040P5M0200M
-
-
ПРЭМ-25 ГФКл. A112/24В (К0)
-
-
ПРЭМ-40 ГФКл. B112/24В (К0)
-
-
ПРЭМ-100 ГСКл. C112/24В Bt
-
-
923486-500MG