Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF100
Код товара 623030Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF100. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Высокая чистота |
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
3 sccm - 55 slm |
|
Отделка поверхности |
10μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый <1.5 sec |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
| Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ELETTA
TIVG 25R-1 Индикатор потока
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
CoriolisMasterFCH430-F1Y0080E1
-
-
CoriolisMasterFCM2000MC27D2
-
-
SensyMasterFMT250Y0P1B1D3T2M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P3A4F1T2M2B
-
-
SensyMasterFMT430Y0C1A2F1D1
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-6E111
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-7B132
-
-
AquaMaster3FER200FER251.500
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.F.P100
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.R.2400
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.V.1100
-
-
FSM4000-SE21QP32
-
-
ProcessMaster600FEP631.A2.D2.1000
-
-
ProcessMaster600FEP631.F2.D1.0040
-
-
ProcessMaster600FEP631.Y0.S2.0400
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A2.0600
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A2.1100
-
-
FET321-2C0A1A4B1
-
-
FET521-1B0R1C
-
-
FET612.Y0.F1.70.F.2.A6.CWY.K0
-
-
OriMasterFPD500-М10G1
-
-
PitoMasterFPD550-V1.450.G.S6
-
-
TorbarFPD350.H8.E2.701
-
-
TorbarFPD350.L7.E1.801
-
-
FPD160.F1.S1.E1
-
-
StackFlowMasterFPD580FPD583.M1.F5.
-
-
SwirlMasterFSS430.A4.C1.F100R0
-
-
SwirlMasterFSS430.A4.R1.F015R0
-
-
SwirlMasterFSS430.A9.C1.F040R0
-
-
SwirlMasterFSS430.S1.C1.F032R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N8.C2.F050R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S1.C1.F100R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S9.C1.F015R0
-
-
VortexMasterFSV430.Y0.C2.F300R0
-
-
VA MasterFAM546A4A4F1
-
-
FCIV020D1M0200
-
-
FSIV032T5X0330
-
-
AIRHOT Переключатель
AIRHOTПереключатель для rg-5-new