Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF100
Код товара 623030Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF100. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS

Характеристики
Характеристика |
Значение |
---|---|
Дифференциатор |
Высокая чистота |
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
3 sccm - 55 slm |
Отделка поверхности |
10μ inch Ra |
Точность |
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
Время отклика |
Нормально открытый <1.5 sec |
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
-
4
-
3
-
2
-
1
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
KOBOLD
DZR-1 Расходомер шестеренный
-
KOBOLD
REG-4103D Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB330-S1A2150R2
-
-
CoriolisMasterFCB430-F2A2025E1
-
-
CoriolisMasterFCB430-Y0U1100R0
-
-
CoriolisMasterFCH430-Y0Y0025R0
-
-
CoriolisMasterFCH450-A2Y0025E1
-
-
SensyMasterFMT250Y0P2B3F1B2M2B
-
-
AquaMaster4FEW400FEW432.R.P070
-
-
FSM4000-SE21RP15
-
-
HygienicMasterFEH630FEH631.F2.D2.0
-
-
ProcessMaster300FEP325-008
-
-
ProcessMaster300FEP325-032
-
-
ProcessMaster600FEP631.A1.D1.0300
-
-
ProcessMaster600FEP632.A1.A2.0020
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A2.0025
-
-
ProcessMaster600FEP632.S2.A1.0750
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.A2.0010
-
-
ProcessMasterWaferFEM630
-
-
FET521-2B0R1Y
-
-
SwirlMasterFSS430.N2.R1.F050R0
-
-
SwirlMasterFSS450.N3.C1.F400R0
-
-
VortexMasterFSV430.S6.C1.F015R0
-
-
VortexMasterFSV450.S6.R2.W150R0
-
-
Purgemaster10A610010A6134FB2B
-
-
PurgemasterFGM6100-A6173D
-
-
VA MasterFGM1190-97D10A11.97.X.A.1
-
-
VA MasterFGM1190-97D10A11.97.X.P.0
-
-
GASTROMIX Переключатель
GASTROMIXПереключатель для HSD20 6 NEW
-
-
SDG202
IFM ELECTRONICSDG202 Датчик потока сжатого воздуха
-
-
SL5102
IFM ELECTRONICSL5102 Датчик потока сжатого воздуха
-
-
ПРЭМ-65 ГФКл. A112/24В (К0)
-
-
ПРЭМ-20 ГСКл. DL2/-/F