Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF100
Код товара 623030Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF100. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Высокая чистота |
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
3 sccm - 55 slm |
|
Отделка поверхности |
10μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый <1.5 sec |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
| Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
BRONKHORST
T20 Регулятор расхода газа
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
MCCROMETER
FS108-3 Выпрямитель потока
-
-
-
KOBOLD
DOP-S 10 Дозатор шестеренный
-
-
-
-
SensyMasterFMT250Y0P3A1G2T1M2B
-
-
SensyMasterFMT250Y0P3A2D3T1M2B
-
-
SensyMasterFMT430Y0H3A4D3S1
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-AD112
-
-
AquaMaster4FEW400FEW412.V.0400
-
-
AquaMaster4FEW400FEW438.F.1000
-
-
FSM4000-SE21BP06
-
-
FSM4000-SE21JP25
-
-
HygienicMasterFEH300FEH315.006.P.5
-
-
ProcessMaster300FEP315-004
-
-
ProcessMaster600FEP632.A2.A1.1000
-
-
ProcessMaster600FEP632.S1.A2.0015
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.A1.0025
-
-
FET321-4A0A1B4B1
-
-
TorbarFPD350.T5.E1.507
-
-
SwirlMasterFSS430.F4.C1.F150R0
-
-
SwirlMasterFSS450.B8.C1.F080R0
-
-
VortexMasterFSV430.S9.R1.F300R0
-
-
VortexMasterFSV450.F4.C1.F080R0
-
-
VortexMasterFSV450.S2.C1.F040R0
-
-
VA MasterFAM541A2F4T1
-
-
VA MasterFAM546D3Y0F1
-
-
GOLDSDI-0310D
-
-
FCIV020T1M0150
-
-
FCIV020T5X0036
-
-
FSIV040P1M1600
-
-
FSIV040P1X4000
-
-
AIRHOT Переключатель
AIRHOTПереключатель для rg-5-new
-
-
ПРЭМ-32 ГФКл. D12/24В
-
-
РМ-4К1Л-RS232-600ФЛ