Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением BROOKS GF100
Код товара 623030Задать вопрос
Написать отзыв
Делитесь опытом
Расходомер массовый тепловой с металлическим уплотнением GF100. Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0.15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность уставки и снижает требования к техническому обслуживанию. Заново увеличенная нечувствительность давления переходная уменьшает чувствительность перекрестных помех для последовательной доставки массового расхода.
- Долгосрочная нулевая стабильность <±0.15% полной шкалы в год
- Время осаждения: 300 мс - <1 секунда
- Полномасштабные скорости потока до 300 slpm
- Цельнометаллический путь потока уплотнения: опция для 5μ или 10μ inch Ra surface finish
- Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах
- MultiFloTM gas and range programmability —одно устройство, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без удаления MFC из газовой линии или ущерба для точности
- Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт помогают установке, мониторингу и устранению неполадок
- GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный регулятор массового расхода низкого перепада давления Brooks для доставки субатмосферных газов safe delivery system (SDS), используемых в процессах имплантации и травления
BROOKS
Характеристики
|
Характеристика |
Значение |
|---|---|
|
Дифференциатор |
Высокая чистота |
|
Ряд подачи (полная емкость масштаба) |
3 sccm - 55 slm |
|
Отделка поверхности |
10μ inch Ra |
|
Точность |
|
|
Повторяемость |
< ±0.15% S.P. |
|
Время отклика |
Нормально закрытый <1 сек |
|
Время отклика |
Нормально открытый <1.5 sec |
|
Конфигурируемость Multi-Gas & Range |
Стандарт MultiFlo™ |
|
Диагностическая возможность |
Индикаторы состояния и сигналы тревоги |
| Цифровая связь |
EtherCAT |
Отзывы и вопросы о товаре
-
5
0%
-
4
0%
-
3
0%
-
2
0%
-
1
0%
Рекомендуем также
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
HONSBERG
UZ-015GK Датчик потока лопастной
-
-
-
-
-
-
-
KOBOLD
REG-2125D Регулятор потока
-
-
CoriolisMasterFCB350-S1A2025R0
-
-
CoriolisMasterFCH450-A2U2050E1
-
-
SensyMasterFMT250Y0P3B4D3T2M2B
-
-
SensyflowFMT400-VTSV14222-02231031
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-BA131
-
-
SensyflowFMT500-IGV14224-CA132
-
-
AquaMaster3FER200FER221.100
-
-
FSM4000-SE41FE5H
-
-
ProcessMaster600FEP632.F2.A2.0080
-
-
ProcessMaster600FEP632.S2.A1.0080
-
-
ProcessMaster600FEP632.S2.A2.0015
-
-
ProcessMaster600FEP632.Y0.P2.2000
-
-
WaterMasterFEW315.900
-
-
FET105-1A0Y1B1A1
-
-
FET321-4A0A1B4B1
-
-
TorbarFPD350.L7.E2.125
-
-
SwirlMasterFSS430.F4.R1.F200R0
-
-
SwirlMasterFSS430.F4.R2.F200R0
-
-
SwirlMasterFSS430.N2.R2.F400R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S2.R2.F050R0
-
-
SwirlMasterFSS450.S6.R1.F200R0
-
-
VortexMasterFSV430.F8.R2.W050R0
-
-
VortexMasterFSV430.N3.R1.F025R0
-
-
VortexMasterFSV450.F3.R1.F050R0
-
-
VortexMasterFSV450.N1.R2.F250R0
-
-
VortexMasterFSV450.N9.C1.F100R0
-
-
VortexMasterFSV450.S8.R1.W100R0
-
-
Purgemaster10A610010A6132MB1M
-
-
PurgemasterFGM6200-A6262B
-
-
FCIV016P5M0275
-
-
FSIV050T1X2500