Расходомер массовый с эластомерным уплотнением BROOKS 9861

Серия модель 9861остается оптимальным выбором для критической доставки паров прекурсора и легирующей примеси в производстве полупроводников, MOCVD и оптического волокна. Продукт представляет собой тепловые регуляторы массового расхода и расходомеры, предназначенные для сложной высокотемпературной доставки конденсирующихся прекурсоров и легирующих примесей. Высокочистый металлический проточный тракт с высокой степенью герметичности обеспечивает совместимость со всеми технологическими газами и парами. Запатентованный IsoSensor™ представляет собой высокостабильный датчик расхода, совместимый с повышенными температурами окружающей среды [≤ 150°C (≤ 300°F)], характерными для обогреваемых газопроводов и газовых боксов (системы выпечки). Сверхнизкий дрейф датчика IsoSensor™ снижает потребность в частой повторной установке нуля и повторной калибровке, типичных для высокотемпературных приложений.